Mbështetëse për pllaka grafiti PECVD

Imazh i Sugjeruar për Mbështetjen e PECVD Graphite Wafer

Përshkrim i shkurtër:

I projektuar për precizion dhe performancë, Mbështetësja e Pllakave prej Grafiti e VET Energy është materiali ideal për përdorim në përpunimin e avancuar të pllakave, ku stabiliteti i lartë termik dhe performanca konsistente janë kritike. Pavarësisht nëse punoni me pllaka gjysmëpërçuese ose me substrate të tjera delikate, kjo mbështetëse grafiti me cilësi të lartë do të rrisë besueshmërinë e procesit tuaj dhe cilësinë e produktit, duke e bërë atë një komponent të domosdoshëm për prodhimin modern.

Na dërgoni email Shkarko si PDF

Detajet e produktit

Etiketat e produkteve

Mbështetësja e pllakave grafiti të procesit VET Energy PECVD është një material harxhues me bërthamë i projektuar për procesin PECVD (depozitim kimik i avullit të përmirësuar me plazmë). Ky produkt është bërë nga material grafiti me pastërti të lartë dhe dendësi të lartë, me rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturave të larta, rezistencë ndaj korrozionit, stabilitet dimensional dhe karakteristika të tjera, mund të ofrojë një platformë të qëndrueshme mbështetëse për procesin PECVD, për të siguruar uniformitetin dhe sheshtësinë e depozitimit të filmit.

Dizajni "mbështetës grafiti" i mbështetëses së pllakës së grafitit VET Energy jo vetëm që mund ta mbështesë në mënyrë efektive pllakëzën, por gjithashtu të sigurojë stabilitet termik në mjedisin PECVD me temperaturë dhe presion të lartë për të siguruar stabilitetin e procesit.

Mbështetësja e pllakës së grafitit të procesit VET Energy PECVD ka karakteristikat e mëposhtme:

▪Pastërti e lartë:përmbajtje jashtëzakonisht e ulët e papastërtive, për të shmangur ndotjen e filmit, për të siguruar cilësinë e filmit.

▪Dendësi e lartë:dendësi e lartë, forcë e lartë mekanike, mund t'i rezistojë temperaturës së lartë dhe presionit të lartë të mjedisit PECVD.

▪Stabilitet i mirë dimensional:ndryshime të vogla dimensionale në temperaturë të lartë për të siguruar stabilitetin e procesit.

▪Përçueshmëri e shkëlqyer termike:transferon në mënyrë efektive nxehtësinë për të parandaluar mbinxehjen e pllakës së paketimit.

▪Rezistencë e fortë ndaj korrozionit:I aftë t’i rezistojë erozionit nga gazra të ndryshëm gërryes dhe plazma.

▪Shërbim i personalizuar:Tavolinat mbështetëse prej grafiti me madhësi dhe forma të ndryshme mund të personalizohen sipas nevojave të klientit.

Material grafiti nga SGL:

Parametri tipik: R6510
Indeksi	Standardi i testimit	Vlerë	Njësia
Madhësia mesatare e kokrrizave	ISO 13320	10	μm
Dendësia e vëllimit	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porozitet i hapur	DIN66133	10	%
Madhësi mesatare e poreve	DIN66133	1.8	μm
Përshkueshmëria	DIN 51935	0.06	cm²/s
Fortësia e Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistenca elektrike specifike	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forca në përkulje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistenca ndaj shtypjes	DIN 51910	130	MPa
Moduli i Youngut	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Zgjerimi termik (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Përçueshmëria termike (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Është projektuar posaçërisht për prodhimin e qelizave diellore me efikasitet të lartë, duke mbështetur përpunimin e pllakave të mëdha G12. Dizajni i optimizuar i bartësit rrit ndjeshëm rendimentin, duke mundësuar norma më të larta rendimenti dhe kosto më të ulëta prodhimi.

Artikull	Lloji	Numri i bartësit të pllakës së pllakës
Varkë PEVCD Grephite - Seria 156	varkë grefiti 156-13	144
	varkë grefiti 156-19	216
	varkë grefiti 156-21	240
	156-23 varkë grafiti	308
Varkë PEVCD Grephite - Seria 125	Varkë grefiti 125-15	196
	Varkë grefiti 125-19	252
	Varkë grafiti 125-21	280