సెమీకండక్టర్ కోసం SiC కోటింగ్/కోటెడ్ గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్/ట్రే

చిన్న వివరణ:

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం VET ఎనర్జీ SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అనేది చాలా కాలం పాటు స్థిరమైన మరియు నమ్మదగిన పనితీరును అందించడానికి రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల ఉత్పత్తి. ఇది సూపర్ మంచి ఉష్ణ నిరోధకత మరియు ఉష్ణ ఏకరూపత, అధిక స్వచ్ఛత, కోత నిరోధకతను కలిగి ఉంది, ఇది వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ అప్లికేషన్‌లకు సరైన పరిష్కారంగా మారుతుంది.


ఉత్పత్తి వివరాలు

ఉత్పత్తి ట్యాగ్‌లు

సెమీకండక్టర్ కోసం గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క SiC పూత/పూత
 
దిSiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ పరిశ్రమ యొక్క కఠినమైన డిమాండ్లను తీర్చడానికి రూపొందించబడిన అత్యంత మన్నికైన మరియు సమర్థవంతమైన పరిష్కారం. అధిక స్వచ్ఛత పొరను కలిగి ఉంటుంది.సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూత, ఈ సబ్‌స్ట్రేట్ అసాధారణమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని అందిస్తుంది, ఇది MOCVD ప్రక్రియలు, గ్రాఫైట్ వేఫర్ క్యారియర్‌లు మరియు ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలలో అనువర్తనాలకు అనువైనదిగా చేస్తుంది.

 లక్షణాలు: 
· అద్భుతమైన థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్
· అద్భుతమైన శారీరక షాక్ నిరోధకత
· అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకత
· సూపర్ హై ప్యూరిటీ
· సంక్లిష్ట ఆకారంలో లభ్యత
· ఆక్సీకరణ వాతావరణంలో ఉపయోగించబడుతుంది

అప్లికేషన్:

3

ఉత్పత్తి లక్షణాలు మరియు ప్రయోజనాలు:

1. సుపీరియర్ థర్మల్ రెసిస్టెన్స్:అధిక స్వచ్ఛతతోSiC పూత, ఈ ఉపరితలం తీవ్ర ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకుంటుంది, ఎపిటాక్సీ మరియు సెమీకండక్టర్ ఫ్యాబ్రికేషన్ వంటి డిమాండ్ ఉన్న వాతావరణాలలో స్థిరమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.

2. మెరుగైన మన్నిక:SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలు రసాయన తుప్పు మరియు ఆక్సీకరణను నిరోధించడానికి రూపొందించబడ్డాయి, ప్రామాణిక గ్రాఫైట్ ఉపరితలాలతో పోలిస్తే ఉపరితల జీవితకాలం పెరుగుతుంది.

3. విట్రియస్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్:యొక్క ప్రత్యేకమైన విట్రియస్ నిర్మాణంSiC పూతఅధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ సమయంలో అరిగిపోవడాన్ని తగ్గించడం ద్వారా అద్భుతమైన ఉపరితల కాఠిన్యాన్ని అందిస్తుంది.

4. అధిక స్వచ్ఛత SiC పూత:మా ఉపరితలం సున్నితమైన సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో కనిష్ట కాలుష్యాన్ని నిర్ధారిస్తుంది, కఠినమైన పదార్థ స్వచ్ఛత అవసరమయ్యే పరిశ్రమలకు విశ్వసనీయతను అందిస్తుంది.

5. విస్తృత మార్కెట్ అప్లికేషన్:దిSiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ ససెప్టర్సెమీకండక్టర్ తయారీలో అధునాతన SiC పూతతో కూడిన ఉత్పత్తులకు డిమాండ్ పెరిగేకొద్దీ మార్కెట్ పెరుగుతూనే ఉంది, గ్రాఫైట్ వేఫర్ క్యారియర్ మార్కెట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ ట్రేల మార్కెట్ రెండింటిలోనూ ఈ సబ్‌స్ట్రేట్ కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.

గ్రాఫైట్ బేస్ మెటీరియల్ యొక్క సాధారణ లక్షణాలు:

స్పష్టమైన సాంద్రత: 1.85 గ్రా/సెం.మీ3
విద్యుత్ నిరోధకత: 11 μΩm
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్: 49 MPa (500kgf/cm2)
తీర కాఠిన్యం: 58
బూడిద: <5 పిపిఎం
ఉష్ణ వాహకత: 116 W/mK (100 కిలో కేలరీలు/mhr-℃)

 

సివిడి SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలుపూత

性质 / ఆస్తి

典型数值 / సాధారణ విలువ

晶体结构 / క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్

FCC β దశ 多晶,主要为(111)取向

密度 / సాంద్రత

3.21 గ్రా/సెం.మీ³

硬度 / కాఠిన్యం

2500 维氏硬度 (500g లోడ్)

晶粒大小 / ధాన్యం పరిమాణం

2~10μm

纯度 / రసాయన స్వచ్ఛత

99.99995%

热容 / హీట్ కెపాసిటీ

640 జ·కిలోలు-1·కె-1

升华温度 / సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత

2700℃ ఉష్ణోగ్రత

抗弯强度 / ఫ్లెక్చురల్ స్ట్రెంత్

415 MPa RT 4-పాయింట్

杨氏模量 / యంగ్స్ మాడ్యులస్

430 Gpa 4pt వంపు, 1300℃

导热系数 / ఉష్ణ వాహకత

300W·m-1·కె-1

热膨胀系数 / థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్(CTE)

4.5×10-6K-1

1. 1.

2

 

 

VET ఎనర్జీ అనేది SiC పూత, TaC పూత, గ్లాసీ కార్బన్ పూత, పైరోలైటిక్ కార్బన్ పూత మొదలైన విభిన్న పూతలతో అనుకూలీకరించిన గ్రాఫైట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ ఉత్పత్తుల యొక్క నిజమైన తయారీదారు, సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమ కోసం వివిధ అనుకూలీకరించిన భాగాలను సరఫరా చేయగలదు.

మా సాంకేతిక బృందం అగ్రశ్రేణి దేశీయ పరిశోధనా సంస్థల నుండి వచ్చింది, మీ కోసం మరింత ప్రొఫెషనల్ మెటీరియల్ పరిష్కారాలను అందించగలదు.

మేము మరింత అధునాతన పదార్థాలను అందించడానికి నిరంతరం అధునాతన ప్రక్రియలను అభివృద్ధి చేస్తాము మరియు పూత మరియు ఉపరితలం మధ్య బంధాన్ని మరింత బిగుతుగా మరియు నిర్లిప్తతకు తక్కువ అవకాశం కల్పించే ప్రత్యేకమైన పేటెంట్ పొందిన సాంకేతికతను అభివృద్ధి చేసాము.

మా ఫ్యాక్టరీని సందర్శించడానికి మిమ్మల్ని హృదయపూర్వకంగా స్వాగతిస్తున్నాము, మరింత చర్చిద్దాం!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • మునుపటి:
  • తరువాత:

  • WhatsApp ఆన్‌లైన్ చాట్!