సెమీకండక్టర్ కోసం SiC పూత/పూత పూసిన గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్/ట్రే

సంక్షిప్త వివరణ:

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం ఉద్దేశించిన VET ఎనర్జీ SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అనేది, సుదీర్ఘ కాలం పాటు స్థిరమైన మరియు విశ్వసనీయమైన పనితీరును అందించడానికి రూపొందించబడిన ఒక అత్యుత్తమ పనితీరు గల ఉత్పత్తి. దీనికి అద్భుతమైన ఉష్ణ నిరోధకత, ఉష్ణ ఏకరూపత, అధిక స్వచ్ఛత మరియు కోత నిరోధకత ఉన్నాయి. అందువల్ల ఇది వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ అనువర్తనాలకు సరైన పరిష్కారం.


ఉత్పత్తి వివరాలు

ఉత్పత్తి ట్యాగ్‌లు

సెమీకండక్టర్ కోసం SiC పూత/గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ పూత
 
దిSiC పూత పూసిన గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ పరిశ్రమ యొక్క కఠినమైన అవసరాలను తీర్చడానికి రూపొందించబడిన అత్యంత మన్నికైన మరియు సమర్థవంతమైన పరిష్కారం. అధిక-స్వచ్ఛత పొరను కలిగి ఉంటుంది.సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతఈ సబ్‌స్ట్రేట్ అసాధారణమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని అందిస్తుంది, అందువల్ల ఇది MOCVD ప్రక్రియలు, గ్రాఫైట్ వేఫర్ క్యారియర్‌లు మరియు ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలలో అనువర్తనాలకు ఆదర్శంగా ఉంటుంది.

 లక్షణాలు: 
· అద్భుతమైన ఉష్ణ షాక్ నిరోధకత
· అద్భుతమైన భౌతిక షాక్ నిరోధకత
· అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకత
· అత్యంత అధిక స్వచ్ఛత
· సంక్లిష్ట ఆకారంలో లభ్యత
· ఆక్సీకరణ వాతావరణంలో ఉపయోగించవచ్చు

అప్లికేషన్:

3

ఉత్పత్తి లక్షణాలు మరియు ప్రయోజనాలు:

1. ఉన్నతమైన ఉష్ణ నిరోధకత:అధిక స్వచ్ఛతతోSiC పూతఈ సబ్‌స్ట్రేట్ తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకుంటుంది, తద్వారా ఎపిటాక్సీ మరియు సెమీకండక్టర్ ఫ్యాబ్రికేషన్ వంటి క్లిష్టమైన వాతావరణాలలో స్థిరమైన పనితీరును అందిస్తుంది.

2. మెరుగైన మన్నిక:SiC పూత పూసిన గ్రాఫైట్ భాగాలు రసాయన తుప్పు మరియు ఆక్సీకరణను నిరోధించేలా రూపొందించబడ్డాయి, ఇవి ప్రామాణిక గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లతో పోలిస్తే సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క జీవితకాలాన్ని పెంచుతాయి.

3. విట్రియస్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్:ప్రత్యేకమైన గాజు నిర్మాణంSiC పూతఅద్భుతమైన ఉపరితల దృఢత్వాన్ని అందిస్తుంది, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద ప్రాసెసింగ్ సమయంలో అరుగుదలను తగ్గిస్తుంది.

4. అధిక స్వచ్ఛత SiC పూత:మా సబ్‌స్ట్రేట్ సున్నితమైన సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో కనీస కాలుష్యాన్ని నిర్ధారిస్తుంది, కఠినమైన పదార్థ స్వచ్ఛత అవసరమయ్యే పరిశ్రమలకు విశ్వసనీయతను అందిస్తుంది.

5. విస్తృత మార్కెట్ అప్లికేషన్:దిSiC పూత పూసిన గ్రాఫైట్ ససెప్టర్సెమీకండక్టర్ తయారీలో అధునాతన SiC కోటెడ్ ఉత్పత్తులకు డిమాండ్ పెరగడంతో మార్కెట్ వృద్ధి చెందుతూనే ఉంది, ఇది ఈ సబ్‌స్ట్రేట్‌ను గ్రాఫైట్ వేఫర్ క్యారియర్ మార్కెట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ట్రేస్ మార్కెట్ రెండింటిలోనూ కీలక పాత్రధారిగా నిలుపుతోంది.

బేస్ గ్రాఫైట్ మెటీరియల్ యొక్క సాధారణ లక్షణాలు:

దృశ్య సాంద్రత: 1.85 గ్రా/సెం.మీ³
విద్యుత్ నిరోధకత: 11 μΩm
వంగుదల బలం: 49 MPa (500kgf/cm2)
తీరపు గట్టిదనం: 58
యాష్: <5ppm
ఉష్ణ వాహకత: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

సివిడి SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలుపూత

性质 / ఆస్తి

典型数值 / సాధారణ విలువ

晶体结构 / క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్

FCC β దశ 多晶,主要为(111)取向

密度 / సాంద్రత

3.21 గ్రా/సెంమీ³

硬度 / కాఠిన్యం

2500 维氏硬度 (500g లోడ్)

晶粒大小 / ధాన్యం పరిమాణం

2~10μm

纯度 / రసాయన స్వచ్ఛత

99.99995%

热容 / హీట్ కెపాసిటీ

640 J·kg-1·కె-1

升华温度 / సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత

2700℃

抗弯强度 / ఫ్లెక్చురల్ స్ట్రెంత్

415 MPa RT 4-పాయింట్

杨氏模量 / యంగ్స్ మాడ్యులస్

430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃

导热系数 / ఉష్ణ వాహకత

300W·m-1·కె-1

热膨胀系数 / థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET ఎనర్జీ అనేది SiC కోటింగ్, TaC కోటింగ్, గ్లాసీ కార్బన్ కోటింగ్, పైరోలిటిక్ కార్బన్ కోటింగ్ మొదలైన విభిన్న కోటింగ్‌లతో కూడిన అనుకూలీకరించిన గ్రాఫైట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ ఉత్పత్తుల యొక్క నిజమైన తయారీదారు, మరియు సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమలకు వివిధ అనుకూలీకరించిన భాగాలను సరఫరా చేయగలదు.

మా సాంకేతిక బృందం దేశంలోని అగ్రశ్రేణి పరిశోధనా సంస్థల నుండి వచ్చింది, మీకు మరింత వృత్తిపరమైన మెటీరియల్ పరిష్కారాలను అందించగలదు.

మేము మరింత అధునాతన పదార్థాలను అందించడానికి అధునాతన ప్రక్రియలను నిరంతరం అభివృద్ధి చేస్తాము మరియు కోటింగ్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య బంధాన్ని మరింత దృఢంగా, విడిపోవడానికి తక్కువ అవకాశం ఉండేలా చేయగల ఒక ప్రత్యేకమైన పేటెంట్ టెక్నాలజీని రూపొందించాము.

మా ఫ్యాక్టరీని సందర్శించవలసిందిగా మీకు సాదరంగా స్వాగతం, మనం మరింత చర్చించుకుందాం!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • మునుపటి:
  • తరువాత:

  • వాట్సాప్ ఆన్‌లైన్ చాట్ !