Vlastnosti:
· Vynikajúca odolnosť voči tepelným šokom
· Vynikajúca odolnosť voči fyzickým nárazom
· Vynikajúca chemická odolnosť
· Super vysoká čistota
· Dostupnosť v zložitom tvare
· Použiteľné v oxidačnej atmosfére
Aplikácia：
Vlastnosti a výhody produktu:
1. Vynikajúca tepelná odolnosť:S vysokou čistotouSiC povlakSubstrát odoláva extrémnym teplotám, čím zaisťuje konzistentný výkon v náročných prostrediach, ako je epitaxia a výroba polovodičov.
2. Zvýšená odolnosť:Grafitové komponenty s povlakom SiC sú navrhnuté tak, aby odolávali chemickej korózii a oxidácii, čím sa predlžuje životnosť substrátu v porovnaní so štandardnými grafitovými substrátmi.
3. Grafit s povrchovou úpravou sklovitým vláknom:Unikátna sklovitá štruktúraSiC povlakposkytuje vynikajúcu tvrdosť povrchu, minimalizuje opotrebovanie počas spracovania pri vysokých teplotách.
4. Vysoko čistý SiC povlak:Náš substrát zaisťuje minimálnu kontamináciu v citlivých polovodičových procesoch a ponúka spoľahlivosť pre odvetvia, ktoré vyžadujú prísnu čistotu materiálu.
5. Široké uplatnenie na trhu:Ten/Tá/ToGrafitový susceptor s povlakom SiCTrh naďalej rastie s rastúcim dopytom po pokročilých produktoch s povlakom SiC v oblasti výroby polovodičov, čo stavia tento substrát do pozície kľúčového hráča na trhu s nosičmi grafitových doštičiek aj na trhu s grafitovými podložkami s povlakom z karbidu kremíka.
Typické vlastnosti základného grafitového materiálu:
| Zdanlivá hustota: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrický odpor: | 11 μΩm |
| Pevnosť v ohybe: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Tvrdosť podľa Shorea: | 58 |
| Popol: | <5 ppm |
| Tepelná vodivosť: | 116 W/mK (100 kcal/mh℃) |
| Kardiovaskulárne ochorenie (KVO) SiC薄膜基本物理性能 Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter | |
| 性质 / Nehnuteľnosť | 典型数值 / Typická hodnota |
| 晶体结构 / Kryštálová štruktúra | FCC β fáza 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Hustota | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Tvrdosť | 2500 维氏硬度（500g náplň） |
| 晶粒大小 / Veľkosť zrna | 2~10μm |
| 纯度 / Chemická čistota | 99,99995 % |
| 热容 / Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Teplota sublimácie | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Pevnosť v ohybe | 415 MPa RT 4-bodový |
| 杨氏模量 / Youngov modul | 430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / Tepelná vodivosť | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Tepelná expanzia (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
Spoločnosť VET Energy je skutočným výrobcom zákazkových grafitových a karbidových produktov s rôznymi povlakmi, ako je SiC povlak, TaC povlak, sklovitý uhlíkový povlak, pyrolytický uhlíkový povlak atď., a môže dodávať rôzne zákazkové diely pre polovodičový a fotovoltaický priemysel.
Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.
Neustále vyvíjame pokročilé procesy, aby sme poskytovali ešte zdokonalenejšie materiály, a vyvinuli sme exkluzívnu patentovanú technológiu, ktorá dokáže pevnejšie spojiť náter a podklad a znížiť jeho náchylnosť na oddeľovanie.
Srdečne vás vítame na návšteve našej továrne, poďme sa ďalej porozprávať!
