SiC Beschichtung/Beschichtete Grafitsubstrat/Schacht fir Hallefleiter

Kuerz Beschreiwung:

De VET Energy SiC beschichtete Grafitsusceptor fir epitaxial Wuesstem ass en héichperformant Produkt, dat entwéckelt gouf fir eng konsequent a zouverlässeg Leeschtung iwwer eng länger Zäit ze bidden. En huet eng super gutt Hëtztbeständegkeet an thermesch Uniformitéit, eng héich Rengheet an eng Erosiounsbeständegkeet, wat en zur perfekter Léisung fir Waferveraarbechtungsapplikatioune mécht.


Produktdetailer

Produkt Tags

SiC-Beschichtung/Beschichtung vu Grafit-Susceptor fir Hallefleiter
 
DenSiC beschichtete Grafitsubstratass eng héich haltbar an effizient Léisung, déi entwéckelt gouf fir den héijen Ufuerderungen vun der Hallefleederveraarbechtungsindustrie gerecht ze ginn. Mat enger Schicht vun héichreiner QualitéitSiliziumkarbid (SiC) Beschichtung, bitt dëst Substrat aussergewéinlech thermesch Stabilitéit, Oxidatiounsbeständegkeet a verlängert Liewensdauer, wouduerch et ideal fir Uwendungen a MOCVD-Prozesser, Graphit-Wafer-Dréier an aner Héichtemperaturumgebungen ass.

 Fonctiounen: 
· Excellent Widderstandsfäegkeet géint thermesch Schock
· Excellent kierperlech Schockbeständegkeet
· Excellent chemesch Resistenz
· Super héich Rengheet
· Verfügbarkeet a komplexer Form
· Benotzbar ënner oxidéierender Atmosphär

Applikatioun:

3

Produktmerkmale a Virdeeler:

1. Iwwerleeën thermesch Resistenz:Mat enger héijer RengheetSiC-Beschichtung, hält de Substrat extremen Temperaturen stand a garantéiert eng konsequent Leeschtung an usprochsvollen Ëmfeld wéi Epitaxie a Hallefleederfabrikatioun.

2. Verbessert Haltbarkeet:Déi mat SiC beschichtete Graphitkomponenten sinn entwéckelt fir chemesch Korrosioun an Oxidatioun widderstoen ze kënnen, wouduerch d'Liewensdauer vum Substrat am Verglach mat Standard-Graphitsubstrater erhéicht gëtt.

3. Glaskierperbeschichtete Grafit:Déi eenzegaarteg GlasfaserstrukturSiC-Beschichtungbitt exzellent Uewerflächenhärte, miniméiert Verschleiung bei Héichtemperaturveraarbechtung.

4. Héichreine SiC-Beschichtung:Eis Substrat garantéiert minimal Kontaminatioun a sensiblen Hallefleiterprozesser a bitt Zouverlässegkeet fir Industrien, déi eng streng Materialreinheet erfuerderen.

5. Breet Maartapplikatioun:DenSiC-beschichtete Graphit-SusceptorDe Maart wiisst weider, well d'Nofro fir fortgeschratt SiC-beschichtete Produkter an der Hallefleederproduktioun eropgeet, wouduerch dëst Substrat e Schlësselspiller souwuel um Maart fir Graphit-Wafer-Carrier wéi och um Maart fir Siliziumcarbid-beschichtete Graphit-Trays positionéiert gëtt.

Typesch Eegeschafte vu Basisgrafitmaterial:

Scheinbar Dicht: 1,85 g/cm3
Elektresch Widderstand: 11 μΩm
Biegekraaft: 49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore-Häert: 58
Äsch: <5ppm
Wärmeleitfäegkeet: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basis physikalesch Eegeschafte vu CVD SiCBeschichtung

性质 / Property

典型数值 / Typesch Wäert

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β Phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Dicht

3,21 g/cm³

硬度 / Hardness

2500 维氏硬度(500g Belaaschtung)

晶粒大小 / Grain Gréisst

2~10μm

纯度 / Chemesch Puritéit

99,99995%

热容 / Hëtzt Kapazitéit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimatiounstemperatur

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-Punkt

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt Bieg, 1300℃

导热系数 / Wärmeleitung

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy ass den eigentleche Produzent vu personaliséierte Graphit- a Siliziumcarbidprodukter mat verschiddene Beschichtungen wéi SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, glasartiger Kuelestoffbeschichtung, pyrolytesch Kuelestoffbeschichtung, etc., a kann verschidden personaliséiert Deeler fir d'Hallefleeder- a Photovoltaikindustrie liwweren.

Eis technesch Equipe kënnt vun den Top-Fuerschungsinstituter aus dem Inland a kann Iech méi professionell Materialléisungen ubidden.

Mir entwéckelen kontinuéierlech fortgeschratt Prozesser fir méi fortgeschratt Materialien ze liwweren, an hunn eng exklusiv patentéiert Technologie entwéckelt, déi d'Verbindung tëscht der Beschichtung an dem Substrat méi enk a manner ufälleg fir Ofléisen mécht.

Mir wëllkomm Iech häerzlech wëllkomm fir eis Fabréck ze besichen, loosst eis weider diskutéieren!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Virdrun:
  • Weider:

  • WhatsApp Online Chat!