सेमीकंडक्टर के लिए SiC कोटिंग/कोटेड ग्रेफाइट सब्सट्रेट/ट्रे

संक्षिप्त वर्णन:

एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए VET एनर्जी SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर एक उच्च-प्रदर्शन उत्पाद है जिसे लंबे समय तक लगातार और विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसमें बहुत अच्छा ताप प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोध है, जो इसे वेफर प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही समाधान बनाता है।


उत्पाद विवरण

उत्पाद टैग

सेमीकंडक्टर के लिए ग्रेफाइट ससेप्टर का SiC लेपन/लेपन
 
SiC लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेटसेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग उद्योग की कठोर मांगों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया एक अत्यधिक टिकाऊ और कुशल समाधान है। उच्च शुद्धता की एक परत की विशेषतासिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंगयह सब्सट्रेट असाधारण तापीय स्थिरता, ऑक्सीकरण प्रतिरोध और लंबी सेवा जीवन प्रदान करता है, जो इसे MOCVD प्रक्रियाओं, ग्रेफाइट वेफर वाहक और अन्य उच्च तापमान वातावरण में अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाता है।

 विशेषताएँ: 
· उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध
· उत्कृष्ट शारीरिक आघात प्रतिरोध
· उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध
· अति उच्च शुद्धता
· जटिल आकार में उपलब्धता
·ऑक्सीकरण वातावरण में उपयोग योग्य

आवेदन पत्र:

3

उत्पाद विशेषताएँ और लाभ:

1. बेहतर थर्मल प्रतिरोध:उच्च शुद्धता के साथSiC कोटिंगसब्सट्रेट अत्यधिक तापमान को सहन कर लेता है, जिससे एपिटैक्सी और सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन जैसे मांग वाले वातावरण में लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित होता है।

2. बढ़ी हुई स्थायित्व:SiC लेपित ग्रेफाइट घटकों को रासायनिक संक्षारण और ऑक्सीकरण का प्रतिरोध करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, जिससे मानक ग्रेफाइट सब्सट्रेट की तुलना में सब्सट्रेट का जीवनकाल बढ़ जाता है।

3. विट्रीयस कोटेड ग्रेफाइट:इसकी अद्वितीय कांचनुमा संरचनाSiC कोटिंगउत्कृष्ट सतह कठोरता प्रदान करता है, उच्च तापमान प्रसंस्करण के दौरान टूट-फूट को न्यूनतम करता है।

4. उच्च शुद्धता SiC कोटिंग:हमारा सब्सट्रेट संवेदनशील अर्धचालक प्रक्रियाओं में न्यूनतम संदूषण सुनिश्चित करता है, तथा उन उद्योगों के लिए विश्वसनीयता प्रदान करता है, जिन्हें कठोर सामग्री शुद्धता की आवश्यकता होती है।

5. व्यापक बाजार अनुप्रयोग:SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरसेमीकंडक्टर विनिर्माण में उन्नत SiC लेपित उत्पादों की मांग बढ़ने के कारण बाजार में वृद्धि जारी है, जिससे यह सब्सट्रेट ग्रेफाइट वेफर वाहक बाजार और सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ट्रे बाजार दोनों में एक प्रमुख खिलाड़ी के रूप में स्थापित हो गया है।

बेस ग्रेफाइट सामग्री के विशिष्ट गुण:

स्पष्ट घनत्व: 1.85 ग्राम/सेमी3
विद्युत प्रतिरोधकता: 11 माइक्रोन
फ्लेक्सुरल ताकत: 49 एमपीए (500किग्रा/सेमी2)
किनारों का कड़ापन: 58
राख: <5पीपीएम
ऊष्मीय चालकता: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

सीवीडी SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC के मूल भौतिक गुणकलई करना

性质 / संपत्ति

典型数值 / विशिष्ट मूल्य

晶体结构/क्रिस्टल संरचना

एफसीसी β चरण चरण 111

密度 / घनत्व

3.21 ग्राम/सेमी³

कठोरता / कठोरता

2500 ग्राम वजन (500 ग्राम लोड)

晶粒大小/अनाज आकार

2~10μm

纯度/रासायनिक शुद्धता

99.99995%

热容 / ताप क्षमता

640 जूल·किग्रा-1·के-1

升华温度 / ऊर्ध्वपातन तापमान

2700℃

抗弯强度 / लचीली ताकत

415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट

杨氏模量/यंग का मापांक

430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃

导热系数/थर्मल कंडक्टिविटी

300W·मी-1·के-1

थर्मल विस्तार (सीटीई)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

वीईटी एनर्जी विभिन्न कोटिंग्स जैसे कि SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग आदि के साथ अनुकूलित ग्रेफाइट और सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादों का वास्तविक निर्माता है, जो सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक उद्योग के लिए विभिन्न अनुकूलित भागों की आपूर्ति कर सकता है।

हमारी तकनीकी टीम शीर्ष घरेलू अनुसंधान संस्थानों से आती है, जो आपके लिए अधिक पेशेवर सामग्री समाधान प्रदान कर सकती है।

हम अधिक उन्नत सामग्री उपलब्ध कराने के लिए निरंतर उन्नत प्रक्रियाओं का विकास करते रहते हैं, तथा एक विशिष्ट पेटेंट प्रौद्योगिकी पर काम किया है, जो कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच के संबंध को अधिक सुदृढ़ बना सकती है तथा इसके अलग होने की संभावना को कम कर सकती है।

गरमी से हमारे कारखाने का दौरा करने के लिए आपका स्वागत है, चलो आगे चर्चा!

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