Drag:
· Utmärkt motståndskraft mot termisk chock
· Utmärkt fysisk stötdämpning
· Utmärkt kemisk resistens
· Superhög renhet
· Tillgänglighet i komplex form
· Användbar i oxiderande atmosfär
Ansökan:
Produktegenskaper och fördelar:
1. Överlägsen värmebeständighet:Med hög renhetSiC-beläggning, substratet tål extrema temperaturer, vilket säkerställer konsekvent prestanda i krävande miljöer som epitaxi och halvledartillverkning.
2. Förbättrad hållbarhet:De SiC-belagda grafitkomponenterna är konstruerade för att motstå kemisk korrosion och oxidation, vilket ökar substratets livslängd jämfört med vanliga grafitsubstrat.
3. Glaskroppsbelagd grafit:Den unika glaskroppsstrukturen hosSiC-beläggningger utmärkt ythårdhet, vilket minimerar slitage vid högtemperaturbearbetning.
4. Högren SiC-beläggning:Vårt substrat säkerställer minimal kontaminering i känsliga halvledarprocesser, vilket erbjuder tillförlitlighet för industrier som kräver strikt materialrenhet.
5. Bred marknadstillämpning:DeSiC-belagd grafitmottagareMarknaden fortsätter att växa i takt med att efterfrågan på avancerade SiC-belagda produkter inom halvledartillverkning ökar, vilket positionerar detta substrat som en nyckelaktör på både marknaden för grafitskivorbärare och marknaden för kiselkarbidbelagda grafitbrickor.
Typiska egenskaper hos basgrafitmaterial:
| Skenbar densitet: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrisk resistivitet: | 11 μΩm |
| Böjstyrka: | 49 MPa (500 kgf/cm²) |
| Shore-hårdhet: | 58 |
| Aska: | <5 ppm |
| Värmeledningsförmåga: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
| 性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
| 晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β phase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度（500g last） |
| 晶粒大小 / kornstorlek | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃ |
| 导热系数 / Värmeledningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy är den verkliga tillverkaren av kundanpassade grafit- och kiselkarbidprodukter med olika beläggningar som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning etc., och kan leverera en mängd olika kundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin.
Vårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda dig mer professionella materiallösningar.
Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material och har utarbetat en exklusiv patenterad teknik som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera det vidare!
