Ýarymgeçirijiler üçin SiC örtügi/örtükli grafit substraty/tagta

Gysgaça düşündiriş:

Epitaksial ösüş üçin VET Energy SiC örtükli grafit sakseptory uzak wagtlap yzygiderli we ygtybarly işlemegi üpjün etmek üçin döredilen ýokary öndürijilikli önümdir. Ol örän gowy ýylylyga we termal deňlige, ýokary arassalyga, eroziýa garşylygyna eýedir, bu bolsa ony wafer gaýtadan işlemek üçin ajaýyp çözgüt edýär.

Bize e-poçta iberiň PDF görnüşinde göçürip alyň

Önümiň jikme-jiklikleri

Önümiň tegleri

Ýarymgeçirijiler üçin grafit susseptory bilen örtülen SiC örtügi/gaplany

TheSiC bilen örtülen grafit substratyýarymgeçirijileri gaýtadan işleýän senagatyň berk talaplaryny kanagatlandyrmak üçin döredilen ýokary derejede çydamly we netijeli çözgütdir. Ýokary arassalyk gatlagyny öz içine alýarkremniý karbidi (SiC) örtügi, bu substrat ajaýyp termal durnuklylygy, oksidlenme garşylygyny we uzak hyzmat ömrüni üpjün edýär, bu bolsa ony MOCVD proseslerinde, grafit wafer daşaýjylarynda we beýleki ýokary temperaturaly gurşawlarda ulanmak üçin ideal edýär.

Aýratynlyklar:
· Termal şoka ajaýyp garşylyk
· Ajaýyp fiziki şoka garşylyk
· Ajaýyp himiki garşylyk
· Super Ýokary Arassalyk
· Çylşyrymly görnüşde elýeterlilik
·Oksidleýji atmosferada ulanylyp bilner

Ulanyş:

Önümiň aýratynlyklary we artykmaçlyklary:

1. Ýokary derejeli termal garşylyk:Ýokary arassalyk bilenSiC örtügi, substrat ekstremal temperatura çydap, epitaksiýa we ýarymgeçiriji önümçilik ýaly kyn şertlerde yzygiderli işlemegi üpjün edýär.

2. Güýçlendirilen çydamlylyk:SiC bilen örtülen grafit bölekleri himiki korroziýa we oksidlenmä garşy durmak üçin niýetlenendir, bu bolsa standart grafit substratlary bilen deňeşdirilende substratyň ömrüni uzaldýar.

3. Aýna örtükli grafit:Onuň özboluşly aýna şekilli gurluşySiC örtügiýokary temperaturada işlenilende aşynmagy we ýyrtylmagy iň pes derejä düşürip, ajaýyp ýüz berkligini üpjün edýär.

4. Ýokary arassalykly SiC örtügi:Biziň substratymyz duýgur ýarymgeçiriji proseslerde iň az hapalanmagy üpjün edýär we berk material arassalygyny talap edýän pudaklar üçin ygtybarlylygy üpjün edýär.

5. Giň bazar ulanylyşy:TheSiC örtülen grafit susseptoryÝarymgeçirijiler önümçiliginde ösen SiC örtükli önümlere bolan isleg artýandygy sebäpli bazar ösýär, bu bolsa bu substraty grafit wafer daşaýjy bazarynda we kremniý karbid örtükli grafit tabaklary bazarynda esasy oýunçy hökmünde görkezýär.

Esasy grafit materialynyň tipik häsiýetleri:

Görünýän dykyzlyk:	1.85 g/sm3
Elektrik garşylygy:	11 μΩm
Bükülme güýji:	49 MPa (500kgf/sm2)
Kenaryň berkligi:	58
Kül:	<5ppm
Ýylylyk geçirijiligi:	116 W/mK (100 kkal/mhr-℃)

Ýürek-damar keselleri SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-niň esasy fiziki häsiýetleriörtük
性质 / emläk	典型数值 / Adaty baha
晶体结构 / Kristal gurluş	FCC β faza 多晶，主要为（ 111 ）取向
密度 / Dykyzlygy	3.21 g/sm³
硬度 / Gatylyk	2500 维氏硬度（ 500g ýük）
晶粒大小 / Galla SiZe	2~10μm
Chemical / Himiki arassalygy	99.99995%
热容 / atylylyk kuwwaty	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimasiýa temperaturasy	2700℃
抗弯强度 / Fleksural güýç	415 MPa RT 4-nokat
杨氏模量 / Youngaş modul	430 Gpa 4pt bükülme, 1300℃
导热系数 / malylylyk geçirijiligi	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / malylylyk giňelişi (CTE)	4.5×10^-6K^-1

"VET Energy" kompaniýasy SiC örtügi, TaC örtügi, aýna ýaly uglerod örtügi, pirolitik uglerod örtügi ýaly dürli örtükleri bolan grafit we kremniý karbid önümleriniň hakyky öndürijisidir we ýarymgeçiriji we fotowoltaik senagat üçin dürli ýöriteleşdirilen bölekleri üpjün edip bilýär.

Biziň tehniki toparymyz ýerli ylmy-barlag edaralaryndan gelip çykýar, size has professional material çözgütlerini hödürläp biler.

Biz has ösen materiallary üpjün etmek üçin yzygiderli ösen prosesleri işläp düzýäris we örtük bilen substratyň arasyndaky baglanyşygy has berk we aýrylmagy has az mümkin edýän eksklýuziw patentlenen tehnologiýany işläp düzdik.

Sizi fabrikamyza baryp görmäge mähirli garşylaýarys, geliň, has giňişleýin gürrüň edeliň!