Покрытие SiC/Покрытая графитовая подложка/Лоток для полупроводников

Краткое описание:

Графитовый токоприемник VET Energy с покрытием SiC для эпитаксиального роста — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой, эрозионной стойкостью, что делает его идеальным решением для приложений обработки пластин.

Напишите нам письмо Загрузить как PDF

Подробности продукта

Теги продукта

Покрытие SiC/покрытие графитового токоприемника для полупроводников

TheГрафитовая подложка с покрытием SiCэто очень прочное и эффективное решение, разработанное для удовлетворения жестких требований полупроводниковой промышленности. Со слоем высокочистогопокрытие из карбида кремния (SiC)Этот субстрат обеспечивает исключительную термическую стабильность, стойкость к окислению и длительный срок службы, что делает его идеальным для применения в процессах MOCVD, держателях графитовых пластин и других высокотемпературных средах.

Функции:
· Отличная стойкость к тепловому удару
· Отличная устойчивость к физическим ударам
· Отличная химическая стойкость
· Сверхвысокая чистота
· Доступность в сложной форме
·Можно использовать в окислительной атмосфере

Приложение:

Особенности и преимущества продукта:

1. Превосходная термостойкость:С высокой степенью чистотыПокрытие SiCПодложка выдерживает экстремальные температуры, обеспечивая стабильную производительность в сложных условиях, таких как эпитаксия и производство полупроводников.

2. Повышенная прочность:Графитовые компоненты с покрытием SiC устойчивы к химической коррозии и окислению, что увеличивает срок службы подложки по сравнению со стандартными графитовыми подложками.

3. Графит со стекловидным покрытием:Уникальная стекловидная структураПокрытие SiCобеспечивает отличную твердость поверхности, сводя к минимуму износ при высокотемпературной обработке.

4. Высокочистое покрытие SiC:Наша подложка обеспечивает минимальное загрязнение в чувствительных процессах производства полупроводников, предлагая надежность для отраслей, требующих строгой чистоты материалов.

5. Широкое применение на рынке:TheГрафитовый токоприемник с покрытием SiCрынок продолжает расти, поскольку увеличивается спрос на современные изделия с покрытием SiC в производстве полупроводников, что позиционирует эту подложку как ключевого игрока как на рынке графитовых носителей пластин, так и на рынке графитовых лотков с покрытием из карбида кремния.

Типичные свойства базового графитового материала:

Кажущаяся плотность:	1,85 г/см3
Удельное электрическое сопротивление:	11 мкОм
Прочность на изгиб:	49 МПа (500 кгс/см2)
Твёрдость по Шору:	58
Пепел:	<5 частей на миллион
Теплопроводность:	116 Вт/мК (100 ккал/мч-℃)

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Недвижимость	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β-фаза 多晶,主要为(111)取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2~10мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа RT 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 ГПа 4-точечный изгиб, 1300℃
导热系数 / Теплопроводность	300Вт·м^-1·К^-1
Тепловое расширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Компания VET Energy является реальным производителем индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с различными покрытиями, такими как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д., а также может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.

Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для производства более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее подверженной отслоению.

Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!