Покрытие из карбида кремния/покрытая графитовая подложка/лоток для полупроводниковых устройств

Изображение подложки/подложки из карбида кремния (SiC)/покрытого графита для полупроводниковых устройств.

Краткое описание:

Графитовый подложечный электрод VET Energy с покрытием из карбида кремния для эпитаксиального роста — это высокоэффективный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Он обладает превосходной термостойкостью и равномерностью распределения тепла, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки кремниевых пластин.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Подробная информация о товаре

Метки товаров

Покрытие из карбида кремния/покрытие из графита на подложке для полупроводниковых устройств

ОнГрафитовая подложка, покрытая карбидом кремнияЭто высоконадежное и эффективное решение, разработанное для удовлетворения жестких требований полупроводниковой промышленности. Оно имеет слой высокочистого материала.покрытие из карбида кремния (SiC)Эта подложка обеспечивает исключительную термическую стабильность, стойкость к окислению и длительный срок службы, что делает ее идеальной для применения в процессах MOCVD, в качестве носителя для графитовых пластин и в других высокотемпературных средах.

Функции:
• Превосходная устойчивость к термическим ударам
• Превосходная ударопрочность
• Отличная химическая стойкость
• Сверхвысокая чистота
• Доступность в сложных формах
• Пригоден для использования в окислительной атмосфере

Приложение:

Характеристики и преимущества продукта:

1. Превосходная термостойкость:Обладающий высокой степенью чистоты.Покрытие из карбида кремнияПодложка выдерживает экстремальные температуры, обеспечивая стабильную работу в сложных условиях, таких как эпитаксия и производство полупроводников.

2. Повышенная долговечность:Компоненты из графита с покрытием из карбида кремния (SiC) разработаны для защиты от химической коррозии и окисления, что увеличивает срок службы подложки по сравнению со стандартными графитовыми подложками.

3. Графит с стекловидным покрытием:Уникальная стекловидная структураПокрытие из карбида кремнияОбеспечивает превосходную твердость поверхности, минимизируя износ при высокотемпературной обработке.

4. Покрытие из карбида кремния высокой чистоты:Наша подложка обеспечивает минимальное загрязнение в чувствительных полупроводниковых процессах, предлагая надежность для отраслей, требующих строгой чистоты материалов.

5. Широкое рыночное применение:ОнГрафитовый сусцептор с покрытием из карбида кремнияРынок продолжает расти по мере увеличения спроса на передовые изделия с покрытием из карбида кремния в полупроводниковом производстве, что позиционирует этот тип подложки как ключевого игрока как на рынке графитовых подложек для пластин, так и на рынке графитовых лотков с покрытием из карбида кремния.

Типичные свойства основного графитового материала:

Кажущаяся плотность:	1,85 г/см³
Электрическое сопротивление:	11 мкОм
Прочность на сгибания:	49 МПа (500 кгс/см²)
Твердость по Шору:	58
Пепел:	<5 ppm
Теплопроводность:	116 Вт/мК (100 ккал/мч-℃)

ССВ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Недвижимость	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β-фаза 多晶,主要为(111)取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2–10 мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа RT 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃
导热系数 / Теплопроводность	300 Вт·м^-1·К^-1
Тепловое расширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Компания VET Energy является производителем изделий из графита и карбида кремния с различными покрытиями, такими как SiC, TaC, стеклоуглерод, пиролитический углерод и др., и может поставлять различные детали на заказ для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.

Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно совершенствуем технологические процессы для получения более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать сцепление между покрытием и подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.

Мы будем рады видеть вас на нашем заводе, давайте обсудим все подробности!