Хагас дамжуулагчийн SiC бүрхүүл/бүрсэн графит суурь/тавиур

Товч тайлбар:

Эпитаксиал өсөлтөд зориулсан VET Energy SiC бүрсэн графит сусцептор нь удаан хугацааны турш тогтвортой, найдвартай ажиллагааг хангах зорилготой өндөр хүчин чадалтай бүтээгдэхүүн юм. Энэ нь маш сайн халуунд тэсвэртэй, дулааны жигд байдал, өндөр цэвэршилт, элэгдэлд тэсвэртэй тул вафли боловсруулах хэрэглээнд төгс шийдэл болгодог.

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

Хагас дамжуулагчийн хувьд графит сусцептороор бүрсэн SiC бүрхүүл/бүрхүүл

ньSiC бүрсэн графит суурьнь хагас дамжуулагч боловсруулах үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг хангахаар бүтээгдсэн маш бат бөх, үр ашигтай шийдэл юм. Өндөр цэвэршилттэй давхаргатайцахиурын карбид (SiC) бүрхүүл, энэхүү суурь нь онцгой дулааны тогтвортой байдал, исэлдэлтэд тэсвэртэй байдал, удаан эдэлгээтэй ашиглалтын хугацааг хангадаг тул MOCVD процесс, бал чулуун хавтангийн тээвэрлэгч болон бусад өндөр температурт орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой.

Онцлог шинж чанарууд:
· Дулааны цохилтод маш сайн тэсвэртэй
· Маш сайн физик цохилтын эсэргүүцэл
· Химийн маш сайн эсэргүүцэлтэй
· Хэт өндөр цэвэршилт
· Нарийн төвөгтэй хэлбэртэй байх боломжтой
· Исэлдүүлэгч агаар мандалд ашиглах боломжтой

Хэрэглээ:

Бүтээгдэхүүний онцлог ба давуу талууд:

1. Дээд зэргийн дулааны эсэргүүцэл:Өндөр цэвэршилттэйSiC бүрхүүл, суурь нь хэт өндөр температурт тэсвэртэй тул эпитакси болон хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл зэрэг хүнд нөхцөлд тогтвортой ажиллагааг хангадаг.

2. Бат бөх чанарыг сайжруулсан:SiC бүрсэн бал чулуун эд ангиуд нь химийн зэврэлт болон исэлдэлтийг эсэргүүцэх зориулалттай бөгөөд стандарт бал чулуун суурьтай харьцуулахад суурь чулуун эдэлгээний хугацааг уртасгадаг.

3. Шилэн бүрхүүлтэй бал чулуу:Өвөрмөц шилэнцэр бүтэцSiC бүрхүүлөндөр температурт боловсруулалтын үед элэгдэл, урагдалтыг багасгаж, гадаргуугийн маш сайн хатуулгийг хангадаг.

4. Өндөр цэвэршилттэй SiC бүрхүүл:Манай суурь нь мэдрэмтгий хагас дамжуулагч процесст бохирдлыг хамгийн бага байлгаж, хатуу материалын цэвэр байдал шаарддаг салбаруудад найдвартай байдлыг санал болгодог.

5. Өргөн зах зээлийн хэрэглээ:ньSiC бүрсэн бал чулуун сусцепторХагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд дэвшилтэт SiC бүрсэн бүтээгдэхүүний эрэлт хэрэгцээ нэмэгдэхийн хэрээр зах зээл өсөн нэмэгдэж байгаа бөгөөд энэ нь энэхүү субстратыг бал чулуун вафли зөөгч зах зээл болон цахиурын карбид бүрсэн бал чулуун тавиурын зах зээлд гол тоглогч болгож байна.

Суурь графит материалын ердийн шинж чанарууд:

Харагдах нягтрал:	1.85 г/см3
Цахилгаан эсэргүүцэл:	11 μΩм
Гулзайлтын хүч:	49 МПа (500кгф/см2)
Эргийн хатуулаг:	58
Үнс:	<5ppm
Дулаан дамжуулалт:	116 Вт/мК (100 ккал/мц-℃)

Зүрх судасны өвчин SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх
性质 / Үл хөдлөх хөрөнгө	典型数值 / Ердийн утга
晶体结构 / Кристал бүтэц	FCC β үе шат 多晶，主要为（111）取向
密度 / Нягт	3.21 г/см³
硬度 / Хатуулаг	2500 维氏硬度（500г ачаалал）
晶粒大小 / Grain Size	2~10μm
纯度 / Химийн цэвэр байдал	99.99995%
热容 / Дулааны багтаамж	640 Ж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Сублимацийн температур	2700℃
抗弯强度 / Гулзайлтын бат бэх	415 МПа RT 4 цэг
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃
导热系数 / Дулаан дамжуулалт	300Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Дулааны өргөтгөл(CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy нь SiC бүрхүүл, TaC бүрхүүл, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл, пиролитик нүүрстөрөгчийн бүрхүүл гэх мэт янз бүрийн бүрхүүлтэй захиалгат бал чулуу болон цахиурын карбидын бүтээгдэхүүний жинхэнэ үйлдвэрлэгч бөгөөд хагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрт зориулсан төрөл бүрийн захиалгат эд ангиудыг нийлүүлж чаддаг.

Манай техникийн баг нь дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас гаралтай бөгөөд танд илүү мэргэжлийн материалын шийдлийг санал болгож чадна.

Бид илүү дэвшилтэт материалыг гаргахын тулд дэвшилтэт процессуудыг тасралтгүй хөгжүүлж, бүрхүүл болон суурь материалын хоорондох холбоог илүү нягтруулж, салгах магадлалыг бууруулдаг онцгой патентлагдсан технологийг боловсруулсан.

Манай үйлдвэрт зочлохыг урьж байна, цаашид ярилцъя!