SiC premaz/obloženi grafitni supstrat/pladanj za poluvodiče

SiC premaz/obložena grafitna podloga/pladanj za poluvodiče Istaknuta slika

Kratki opis:

VET Energy SiC obloženi grafitni susceptor za epitaksijalni rast je visokoučinkovit proizvod dizajniran za pružanje dosljednih i pouzdanih performansi tijekom duljeg razdoblja. Ima izvrsnu otpornost na toplinu i toplinsku ujednačenost, visoku čistoću i otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjenu u obradi pločica.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

SiC premaz/premaz od grafitnog susceptora za poluvodiče

TheGrafitna podloga obložena SiC-omje vrlo izdržljivo i učinkovito rješenje dizajnirano da zadovolji stroge zahtjeve industrije obrade poluvodiča. Sadrži sloj visoke čistoćepremaz silicijevog karbida (SiC), ovaj supstrat pruža iznimnu toplinsku stabilnost, otpornost na oksidaciju i produljeni vijek trajanja, što ga čini idealnim za primjenu u MOCVD procesima, nosačima grafitnih pločica i drugim okruženjima s visokim temperaturama.

Značajke:
· Izvrsna otpornost na toplinske udare
· Izvrsna otpornost na fizičke udarce
· Izvrsna kemijska otpornost
· Super visoka čistoća
· Dostupnost u složenom obliku
· Može se koristiti u oksidirajućoj atmosferi

Primjena：

Karakteristike i prednosti proizvoda:

1. Vrhunska toplinska otpornost:S visokom čistoćomSiC premaz, podloga podnosi ekstremne temperature, osiguravajući konzistentne performanse u zahtjevnim okruženjima kao što su epitaksija i izrada poluvodiča.

2. Poboljšana izdržljivost:Grafitne komponente obložene SiC-om dizajnirane su da budu otporne na kemijsku koroziju i oksidaciju, što povećava vijek trajanja podloge u usporedbi sa standardnim grafitnim podlogama.

3. Grafit obložen staklastim slojem:Jedinstvena staklasta strukturaSiC premazpruža izvrsnu površinsku tvrdoću, minimizirajući habanje tijekom obrade na visokim temperaturama.

4. Premaz od SiC visoke čistoće:Naš supstrat osigurava minimalnu kontaminaciju u osjetljivim poluvodičkim procesima, nudeći pouzdanost za industrije koje zahtijevaju strogu čistoću materijala.

5. Široka tržišna primjena:TheGrafitni susceptor obložen SiC-omTržište nastavlja rasti kako se povećava potražnja za naprednim proizvodima s SiC premazom u proizvodnji poluvodiča, pozicionirajući ovu podlogu kao ključnog igrača i na tržištu nosača grafitnih pločica i na tržištu grafitnih pladnjeva s premazom od silicij-karbida.

Tipična svojstva osnovnog grafitnog materijala:

Prividna gustoća:	1,85 g/cm3
Električni otpor:	11 μΩm
Fleksibilna čvrstoća:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdoća po Shoreu:	58
Pepeo:	<5 ppm
Toplinska vodljivost:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizikalna svojstva CVD SiC-apremazivanje
性质 / Vlasništvo	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza 多晶，主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度（500g opterećenja）
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10μm
纯度 / Kemijska čistoća	99,99995%
热容 / toplinski kapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4-točkovni
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa savijanje od 4 pt, 1300℃
导热系数 / Toplinska vodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / toplinska ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je pravi proizvođač prilagođenih grafitnih i silicij-karbidnih proizvoda s različitim premazima poput SiC premaza, TaC premaza, premaza od staklastog ugljika, pirolitičkog ugljičnog premaza itd., te može isporučiti razne prilagođene dijelove za poluvodičku i fotonaponsku industriju.

Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Neprestano razvijamo napredne procese kako bismo osigurali naprednije materijale te smo razvili ekskluzivnu patentiranu tehnologiju koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Srdačno vas pozdravljamo u posjeti našoj tvornici, pa ćemo dalje razgovarati!