د سیمیکمډکټر لپاره د SiC کوټینګ/لیپټ شوی ګرافایټ سبسټریټ/ټری

لنډ معلومات:

د ایپیټیکسیل ودې لپاره د VET انرژي SiC پوښل شوی ګرافایټ سوسیپټر یو لوړ فعالیت لرونکی محصول دی چې د اوږدې مودې لپاره دوامداره او باوري فعالیت چمتو کولو لپاره ډیزاین شوی. دا خورا ښه تودوخې مقاومت او د تودوخې یوشانوالی، لوړ پاکوالی، د تخریب مقاومت لري، چې دا د ویفر پروسس کولو غوښتنلیکونو لپاره مناسب حل جوړوي.


د محصول تفصیل

د محصول ټګونه

د سیمیکمډکټر لپاره د ګرافایټ سسپټر SiC کوټینګ/لیپټ شوی
 
دد سي سي پوښل شوی ګرافایټ سبسټریټیو ډیر دوامدار او موثر حل دی چې د سیمیکمډکټر پروسس صنعت سختو غوښتنو پوره کولو لپاره ډیزاین شوی. د لوړ پاکوالي پرت سرهد سیلیکون کاربایډ (SiC) کوټینګ، دا سبسټریټ استثنایی حرارتي ثبات، د اکسیډیشن مقاومت، او اوږد خدمت ژوند وړاندې کوي، چې دا د MOCVD پروسو، ګرافایټ ویفر کیریرونو، او نورو لوړ تودوخې چاپیریالونو کې د غوښتنلیکونو لپاره مثالی کوي.

 ځانګړتیاوې: 
· د تودوخې شاک غوره مقاومت
· غوره فزیکي شاک مقاومت
· غوره کیمیاوي مقاومت
· ډېر لوړ پاکوالی
· په پیچلي شکل کې شتون
· د اکسیډیز کولو اتموسفیر لاندې د کارولو وړ

غوښتنلیک:

۳

د محصول ځانګړتیاوې او ګټې:

۱. غوره حرارتي مقاومت:د لوړ پاکوالي سرهد سي سي کوټینګ، سبسټریټ د سختې تودوخې سره مقاومت کوي، د ایپیټیکسي او سیمیکمډکټر جوړونې په څیر په سختو چاپیریالونو کې دوامداره فعالیت ډاډمن کوي.

۲. د دوام زیاتوالی:د SiC پوښل شوي ګرافایټ اجزا د کیمیاوي زنګ او اکسیډیشن په وړاندې مقاومت کولو لپاره ډیزاین شوي، د معیاري ګرافایټ سبسټریټ په پرتله د سبسټریټ عمر زیاتوي.

۳. د شیشې پوښل شوی ګرافیت:د دې ځانګړی شیشه يي جوړښتد سي سي کوټینګد سطحې غوره سختۍ چمتو کوي، د لوړې تودوخې پروسس کولو پرمهال د اغوستلو او اوښکو کمولو سره.

4. د لوړ پاکوالي SiC کوټینګ:زموږ سبسټریټ په حساس سیمیکمډکټر پروسو کې لږترلږه ککړتیا تضمینوي، د هغو صنعتونو لپاره اعتبار وړاندې کوي چې د موادو سخت پاکوالي ته اړتیا لري.

۵. د بازار پراخه غوښتنلیک:دد SiC پوښل شوی ګرافایټ سسپټرد سیمیکمډکټر تولید کې د پرمختللي SiC لیپت شوي محصولاتو غوښتنه زیاتیدو سره، بازار وده کوي، دا سبسټریټ د ګرافایټ ویفر کیریر بازار او د سیلیکون کاربایډ لیپت شوي ګرافایټ ټری بازار دواړو کې د کلیدي لوبغاړي په توګه موقعیت لري.

د اساس ګرافیت موادو معمولي ځانګړتیاوې:

ظاهري کثافت: ۱.۸۵ ګرامه/سانتي متره
برقي مقاومت: ۱۱ مایکروهام
انعطاف منونکی قوت: ۴۹ MPa (۵۰۰kgf/cm2)
د ساحل سختوالی: 58
ايره: <۵ppm
د تودوخې چلښت: ۱۱۶ واټ/میک کیلو (۱۰۰ کیلوکالوری/میک ساعت-℃)

 

سي وي ډي SiC薄膜基本物理性能

د CVD SiC اساسي فزیکي ځانګړتیاوېپوښل

性质 / ملکیت

典型数值 / عادي ارزښت

晶体结构 / کرسټال جوړښت

FCC β مرحله 多晶،主要为(111)取向

密度 / کثافت

۳.۲۱ ګرامه/سانتي متره

硬度 / سختۍ

2500 维氏硬度 (500g بار)

晶粒大小 / د غلو اندازه

۲~۱۰μm

纯度 / کیمیاوي پاکوالی

۹۹.۹۹۹۹۵٪

热容 / د تودوخې ظرفیت

۶۴۰ جور کیلوګرامه-1· ک-1

升华温度 / Sublimation حرارت

۲۷۰۰ ℃

抗弯强度 / د انعطاف وړ ځواک

۴۱۵ MPa RT ۴-نقطه

杨氏模量 / د ځوان ماډل

۴۳۰ جي پي اې ۴ پونډه کږوالی، ۱۳۰۰ ℃

导热系数 / د تودوخې چلښت

۳۰۰ واټه · متر-1· ک-1

热膨胀系数 / د تودوخې پراخول (CTE)

۴.۵×۱۰-6K-1

۱

۲

 

 

VET انرژي د دودیز شوي ګرافایټ او سیلیکون کاربایډ محصولاتو اصلي تولید کونکی دی چې مختلف کوټینګونه لري لکه SiC کوټینګ، TaC کوټینګ، شیشې کاربن کوټینګ، پیرولیټیک کاربن کوټینګ، او داسې نور، کولی شي د سیمیکمډکټر او فوتوولټیک صنعت لپاره مختلف دودیز شوي برخې چمتو کړي.

زموږ تخنیکي ټیم د لوړ پوړو کورنیو څیړنیزو ادارو څخه راځي، کولی شي ستاسو لپاره ډیر مسلکي مادي حلونه چمتو کړي.

موږ په دوامداره توګه پرمختللي پروسې رامینځته کوو ترڅو ډیر پرمختللي توکي چمتو کړو، او یو ځانګړی پیټینټ شوی ټیکنالوژي مو رامینځته کړې، کوم چې کولی شي د کوټینګ او سبسټریټ ترمنځ اړیکه ټینګه کړي او د جلا کیدو خطر یې کم کړي.

زموږ د فابریکې څخه د لیدو لپاره په تود هرکلي سره، راځئ چې نور بحث وکړو!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • مخکینی:
  • بل:

  • د WhatsApp آنلاین چیٹ!