Functies:
· Uitstekende thermische schokbestendigheid
· Uitstekende fysieke schokbestendigheid
· Uitstekende chemische bestendigheid
· Superhoge zuiverheid
· Beschikbaarheid in complexe vorm
· Bruikbaar onder oxiderende atmosfeer
Sollicitatie:
Producteigenschappen en voordelen:
1. Superieure thermische weerstand:Met een hoge zuiverheidSiC-coatingHet substraat is bestand tegen extreme temperaturen en garandeert consistente prestaties in veeleisende omgevingen zoals epitaxie en halfgeleiderfabricage.
2. Verbeterde duurzaamheid:De SiC-gecoate grafietcomponenten zijn ontworpen om chemische corrosie en oxidatie te weerstaan, waardoor de levensduur van het substraat wordt verlengd in vergelijking met standaard grafietsubstraten.
3. Glasachtig gecoat grafiet:De unieke glasachtige structuur van deSiC-coatingBiedt een uitstekende oppervlaktehardheid, waardoor slijtage tijdens verwerking bij hoge temperaturen tot een minimum wordt beperkt.
4. SiC-coating met hoge zuiverheid:Ons substraat zorgt voor minimale verontreiniging in gevoelige halfgeleiderprocessen en biedt betrouwbaarheid voor industrieën waar strenge eisen worden gesteld aan de zuiverheid van het materiaal.
5. Brede markttoepassing:DeSiC-gecoate grafietsusceptorDe markt blijft groeien naarmate de vraag naar geavanceerde SiC-gecoate producten in de halfgeleiderproductie toeneemt. Hierdoor is dit substraat een belangrijke speler op de markt voor zowel grafietwaferdragers als met siliciumcarbide gecoate grafiettrays.
Typische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:
| Schijnbare dichtheid: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrische weerstand: | 11 μΩm |
| Buigsterkte: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Shore-hardheid: | 58 |
| As: | <5 ppm |
| Thermische geleidbaarheid: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Basisfysische eigenschappen van CVD SiCcoating | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typische waarde |
| 晶体结构 / Kristalstructuur | FCC β-fase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Dichtheid | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度(500g belasting) |
| 晶粒大小 / Korrelgrootte | 2~10μm |
| 纯度 / Chemische zuiverheid | 99,99995% |
| Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatietemperatuur | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃ |
| Thermische geleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
| Warmte-expansie (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy is de echte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings, zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz. en kan diverse op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie.
Ons technische team is afkomstig van toonaangevende binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u voorzien van professionelere materiële oplossingen.
Wij ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om steeds geavanceerdere materialen te kunnen leveren. Ook hebben we een exclusieve, gepatenteerde technologie ontwikkeld waarmee de hechting tussen de coating en de ondergrond sterker wordt en er minder snel onthechting optreedt.
Wij nodigen u van harte uit om onze fabriek te bezoeken. Laten we eens nader met elkaar praten!
