Functies:
• Uitstekende thermische schokbestendigheid
• Uitstekende fysieke schokbestendigheid
• Uitstekende chemische bestendigheid
• Superhoge zuiverheid
• Beschikbaar in complexe vormen
• Bruikbaar in een oxiderende atmosfeer
Sollicitatie:
Productkenmerken en -voordelen:
1. Superieure thermische weerstand:Met een hoge zuiverheidSiC-coatingHet substraat is bestand tegen extreme temperaturen, waardoor consistente prestaties gegarandeerd zijn in veeleisende omgevingen zoals epitaxie en halfgeleiderproductie.
2. Verbeterde duurzaamheid:De met SiC gecoate grafietcomponenten zijn ontworpen om chemische corrosie en oxidatie te weerstaan, waardoor de levensduur van het substraat wordt verlengd in vergelijking met standaard grafietsubstraten.
3. Glasachtig gecoat grafiet:De unieke glasachtige structuur van deSiC-coatingBiedt een uitstekende oppervlaktehardheid, waardoor slijtage tijdens verwerking bij hoge temperaturen tot een minimum wordt beperkt.
4. Hoogzuivere SiC-coating:Ons substraat garandeert minimale verontreiniging in gevoelige halfgeleiderprocessen en biedt betrouwbaarheid voor industrieën die strenge eisen stellen aan de zuiverheid van materialen.
5. Brede markttoepassing:DeSiC-gecoate grafiet-susceptorDe markt blijft groeien naarmate de vraag naar geavanceerde SiC-gecoate producten in de halfgeleiderindustrie toeneemt, waardoor dit substraat een belangrijke rol speelt in zowel de markt voor grafietwafeldragers als de markt voor met siliciumcarbide gecoate grafiettrays.
Typische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:
| Schijnbare dichtheid: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrische weerstand: | 11 μΩm |
| Buigsterkte: | 49 MPa (500 kgf/cm²) |
| Shore-hardheid: | 58 |
| As: | <5 ppm |
| Thermische geleidbaarheid: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| Hart- en vaatziekten SiC薄膜基本物理性能 Basis fysische eigenschappen van CVD SiCcoating | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typische waarde |
| 晶体结构 / Kristalstructuur | FCC β-fase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Dichtheid | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度(500g belasting) |
| 晶粒大小 / Korrelgrootte | 2~10 μm |
| 纯度 / Chemische zuiverheid | 99,99995% |
| Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatietemperatuur | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 GPA 4-punts buiging, 1300℃ |
| Thermische geleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
| Warmte-expansie (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy is een echte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz., en kan diverse op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie.
Ons technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u professionelere materiaaloplossingen bieden.
We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om steeds betere materialen te leveren en hebben een exclusieve, gepatenteerde technologie ontwikkeld die de hechting tussen de coating en het substraat sterker maakt en de kans op loslaten verkleint.
Wij heten u van harte welkom in onze fabriek. Laten we de mogelijkheden bespreken!
