SiC premaz/prevlečen grafitni substrat/pladenj za polprevodnike

SiC prevleka/prevlečen grafitni substrat/pladenj za polprevodnike Izpostavljena slika

Kratek opis:

Grafitni susceptor VET Energy s prevleko SiC za epitaksialno rast je visokozmogljiv izdelek, zasnovan za zagotavljanje doslednega in zanesljivega delovanja v daljšem časovnem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost in odpornost proti eroziji, zaradi česar je idealna rešitev za obdelavo rezin.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

SiC prevleka/prevleka grafitnega susceptorja za polprevodnike

TheGrafitna podlaga s prevleko SiCje zelo trpežna in učinkovita rešitev, zasnovana za izpolnjevanje strogih zahtev industrije predelave polprevodnikov. Z visoko čistostjoprevleka iz silicijevega karbida (SiC)Ta substrat zagotavlja izjemno toplotno stabilnost, odpornost proti oksidaciji in podaljšano življenjsko dobo, zaradi česar je idealen za uporabo v postopkih MOCVD, nosilcih grafitnih rezin in drugih visokotemperaturnih okoljih.

Značilnosti:
· Odlična odpornost na toplotne udarce
· Odlična odpornost na fizične udarce
· Odlična kemična odpornost
· Super visoka čistost
· Razpoložljivost v kompleksni obliki
· Uporabno v oksidativni atmosferi

Uporaba:

Značilnosti in prednosti izdelka:

1. Vrhunska toplotna odpornost:Z visoko čistostjoSiC prevlekaPodlaga prenese ekstremne temperature, kar zagotavlja dosledno delovanje v zahtevnih okoljih, kot sta epitaksija in izdelava polprevodnikov.

2. Izboljšana vzdržljivost:Grafitne komponente s prevleko SiC so zasnovane tako, da so odporne na kemično korozijo in oksidacijo, kar podaljša življenjsko dobo substrata v primerjavi s standardnimi grafitnimi substrati.

3. Grafit s stekleno prevleko:Edinstvena steklasta strukturaSiC prevlekazagotavlja odlično površinsko trdoto, kar zmanjšuje obrabo med obdelavo pri visokih temperaturah.

4. Visoko čista prevleka SiC:Naš substrat zagotavlja minimalno kontaminacijo v občutljivih polprevodniških procesih in ponuja zanesljivost za panoge, ki zahtevajo strogo čistost materiala.

5. Široka uporaba na trgu:TheGrafitni susceptor s prevleko iz SiCTrg še naprej raste, saj se povpraševanje po naprednih izdelkih s prevleko SiC v proizvodnji polprevodnikov povečuje, zaradi česar je ta substrat ključni akter tako na trgu nosilcev grafitnih rezin kot na trgu grafitnih pladnjev, prevlečenih s silicijevim karbidom.

Tipične lastnosti osnovnega grafitnega materiala:

Navidezna gostota:	1,85 g/cm3
Električna upornost:	11 μΩm
Upogibna trdnost:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Trdota po Shoreu:	58
Pepel:	<5 ppm
Toplotna prevodnost:	116 W/mK (100 kcal/mhr℃)

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremaz
性质 / lastnina	典型数值 / Tipična vrednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza 多晶，主要为（111）取向
密度 / Gostota	3,21 g/cm³
硬度 / Trdota	2500 维氏硬度（500g obremenitev）
晶粒大小 / Velikost zrna	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistost	99,99995 %
热容 / Toplotna kapaciteta	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovni
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa, 4pt upogib, 1300℃
导热系数 / Toplotna prevodnost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je pravi proizvajalec izdelkov iz grafita in silicijevega karbida po meri z različnimi prevlekami, kot so SiC prevleka, TaC prevleka, prevleka iz steklenega ogljika, pirolizna ogljikova prevleka itd., in lahko dobavlja različne dele po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo.

Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov in vam lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.

Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov in smo razvili ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki omogoča tesnejšo vez med premazom in podlago ter manjšo nagnjenost k odstopanju.

Vljudno vas vabimo, da obiščete našo tovarno, da se pogovorimo še naprej!