Substrat/Dulang Grafit Bersalut/Salutan SiC untuk Semikonduktor

Penerangan Ringkas:

Susceptor Grafit Bersalut SiC VET Energy untuk Pertumbuhan Epitaksi ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan andal dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba dan keseragaman haba yang sangat baik, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.


Butiran Produk

Tag Produk

Salutan/bersalut SiC daripada susceptor grafit untuk Semikonduktor
 
YangSubstrat Grafit Bersalut SiCmerupakan penyelesaian yang sangat tahan lama dan cekap yang direka untuk memenuhi permintaan ketat industri pemprosesan semikonduktor. Menampilkan lapisan ketulenan tinggisalutan silikon karbida (SiC), substrat ini memberikan kestabilan terma yang luar biasa, rintangan pengoksidaan dan jangka hayat yang berpanjangan, menjadikannya sesuai untuk aplikasi dalam proses MOCVD, pembawa wafer grafit dan persekitaran suhu tinggi yang lain.

 Ciri-ciri: 
· Rintangan Kejutan Terma yang Cemerlang
· Rintangan Kejutan Fizikal yang Cemerlang
· Rintangan Kimia yang Cemerlang
· Ketulenan Super Tinggi
· Ketersediaan dalam Bentuk Kompleks
·Boleh digunakan di bawah Atmosfera Pengoksidaan

Permohonan:

3

Ciri-ciri dan Kelebihan Produk:

1. Rintangan Terma Superior:Dengan ketulenan yang tinggiSalutan SiC, substrat ini tahan suhu ekstrem, memastikan prestasi yang konsisten dalam persekitaran yang mencabar seperti epitaksi dan fabrikasi semikonduktor.

2. Ketahanan yang Dipertingkatkan:Komponen grafit bersalut SiC direka bentuk untuk menahan kakisan dan pengoksidaan kimia, sekali gus meningkatkan jangka hayat substrat berbanding substrat grafit standard.

3. Grafit Bersalut Vitreous:Struktur vitreus yang unik bagiSalutan SiCmemberikan kekerasan permukaan yang sangat baik, meminimumkan haus dan lusuh semasa pemprosesan suhu tinggi.

4. Salutan SiC Ketulenan Tinggi:Substrat kami memastikan pencemaran minimum dalam proses semikonduktor sensitif, menawarkan kebolehpercayaan untuk industri yang memerlukan ketulenan bahan yang ketat.

5. Aplikasi Pasaran Luas:YangSusceptor grafit bersalut SiCPasaran terus berkembang apabila permintaan untuk produk bersalut SiC termaju dalam pembuatan semikonduktor meningkat, meletakkan substrat ini sebagai pemain utama dalam pasaran pembawa wafer grafit dan pasaran dulang grafit bersalut silikon karbida.

Sifat-sifat Khas Bahan Grafit Asas:

Ketumpatan Rupa: 1.85 g/cm3
Kerintangan Elektrik: 11 μΩm
Kekuatan Fleksibel: 49 MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan Pantai: 58
Abu: <5ppm
Kekonduksian Terma: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Biasa

晶体结构 / Struktur Kristal

Fasa β FCC 多晶,主要为(111)取向

密度 / Ketumpatan

3.21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Saiz Bijirin

2~10μm

纯度 / Ketulenan Kimia

99.99995%

热容 / Kapasiti Haba

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus Muda

430 Gpa 4pt selekoh, 1300℃

导热系数 / Kekonduksian Terma

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy ialah pengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan pelbagai lapisan seperti lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon berkaca, lapisan karbon pirolitik, dan sebagainya, yang boleh membekalkan pelbagai bahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Pasukan teknikal kami datang dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Kami sentiasa membangunkan proses canggih untuk menyediakan bahan yang lebih canggih, dan telah menghasilkan teknologi berpaten eksklusif yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada keterlepasan.

Mesra mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari kita berbincang lebih lanjut!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Sembang Dalam Talian WhatsApp!