SiC Coating/Coated Graphite Substrate/Tray para sa Semiconductor

Mubo nga Deskripsyon:

Ang VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor para sa Epitaxial Growth usa ka taas nga performance nga produkto nga gidisenyo aron makahatag og makanunayon ug kasaligan nga performance sa taas nga panahon. Kini adunay maayo kaayong heat resistance ug thermal uniformity, taas nga purity, ug erosion resistance, nga naghimo niini nga hingpit nga solusyon para sa mga aplikasyon sa wafer processing.


Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

SiC coating/coated sa Graphite susceptor para sa Semiconductor
 
AngSiC Coated Graphite Substrateusa ka lig-on ug episyente nga solusyon nga gidisenyo aron matubag ang estrikto nga mga panginahanglan sa industriya sa pagproseso sa semiconductor. Nagpakita sa usa ka layer sa taas nga kaputlisilicon carbide (SiC) nga taklap, kini nga substrate naghatag ug talagsaong thermal stability, oxidation resistance, ug taas nga service life, nga naghimo niini nga sulundon alang sa mga aplikasyon sa mga proseso sa MOCVD, mga graphite wafer carrier, ug uban pang mga palibot nga taas ang temperatura.

 Mga Kinaiya: 
· Maayo kaayong resistensya sa thermal shock
· Maayo kaayong Pagsukol sa Pisikal nga Kakurat
· Maayo kaayong resistensya sa kemikal
· Super Taas nga Kaputli
· Anaa sa Komplikadong Porma
·Magamit ubos sa Oxidizing Atmosphere

Aplikasyon:

3

Mga Kinaiya ug Bentaha sa Produkto:

1. Labaw nga Pagsukol sa Init:Uban sa taas nga kaputliSiC nga patong, ang substrate makasugakod sa grabeng temperatura, nga nagsiguro sa makanunayong performance sa lisud nga mga palibot sama sa epitaxy ug semiconductor fabrication.

2. Gipalambo nga Kalig-on:Ang mga sangkap sa graphite nga gisapinan og SiC gidisenyo aron makasukol sa kemikal nga kaagnasan ug oksihenasyon, nga nagdugang sa kinabuhi sa substrate kon itandi sa standard nga mga substrate sa graphite.

3. Grapita nga Giputos sa Vitreous:Ang talagsaon nga istruktura sa vitreous saSiC nga patongnagahatag ug maayo kaayong katig-a sa nawong, nga nagpamenos sa pagkaguba ug pagkagisi atol sa pagproseso sa taas nga temperatura.

4. Taas nga Kaputli nga SiC Coating:Ang among substrate nagsiguro sa gamay nga kontaminasyon sa sensitibo nga mga proseso sa semiconductor, nga nagtanyag kasaligan alang sa mga industriya nga nanginahanglan estrikto nga kaputli sa materyal.

5. Halapad nga Aplikasyon sa Merkado:AngSusceptor nga grapayt nga giputos sa SiCAng merkado nagpadayon sa pagtubo samtang nagkataas ang panginahanglan alang sa mga advanced SiC coated nga produkto sa semiconductor manufacturing, nga nagposisyon niini nga substrate isip usa ka importanteng magdudula sa merkado sa graphite wafer carrier ug sa merkado sa silicon carbide coated graphite trays.

Kasagarang mga Kabtangan sa Materyal nga Base Graphite:

Dayag nga Densidad: 1.85 g/cm3
Resistensya sa Elektrisidad: 11 μΩm
Kusog sa Pagbaluktot: 49 MPa (500kgf/cm2)
Katig-a sa Baybayon: 58
Abo: <5ppm
Konduktibidad sa Init: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Mga batakang pisikal nga kabtangan sa CVD SiCpatong

性质 / Property

典型数值 / Tipikal nga Bili

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Densidad

3.21 g/cm³

硬度 / Katig-a

2500 维氏硬度(500g load)

晶粒大小 / Grain SiZe

2~10μm

纯度 / Pagkaputli sa Kemikal

99.99995%

热容 / Kapasidad sa Kainit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimation Temperatura

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punto

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt nga liko, 1300℃

导热系数 / Thermal Conductivity

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

Ang VET Energy mao ang tinuod nga tiggama sa gipahaom nga mga produkto sa graphite ug silicon carbide nga adunay lain-laing mga coatings sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa, ug makahatag og lain-laing gipahaom nga mga piyesa para sa industriya sa semiconductor ug photovoltaic.

Ang among teknikal nga grupo gikan sa mga nanguna nga institusyon sa panukiduki sa nasud, makahatag ug mas propesyonal nga mga solusyon sa materyal para kanimo.

Padayon kami nga nagpalambo sa mga abanteng proseso aron makahatag og mas abante nga mga materyales, ug nakahimo og eksklusibong patentadong teknolohiya, nga makapahugot sa pagbugkos tali sa coating ug sa substrate ug makapamenos sa posibilidad nga matangtang.

Mainiton nga gidawat ka namo sa pagbisita sa among pabrika, atong hisgutan pa!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Miagi:
  • Sunod:

  • Pakig-chat sa WhatsApp Online!