Substrat/Baki Grafit Lapisan SiC/Dilapis pikeun Semikonduktor

Pedaran Singkat:

Susceptor Grafit Dilapisi SiC VET Energy pikeun Pertumbuhan Epitaksial mangrupikeun produk kinerja tinggi anu dirancang pikeun nyayogikeun kinerja anu konsisten sareng tiasa dipercaya salami waktos anu lami. Éta ngagaduhan résistansi panas sareng keseragaman termal anu super saé, kamurnian anu luhur, résistansi erosi, jantenkeun solusi anu sampurna pikeun aplikasi pamrosésan wafer.


Rincian Produk

Tag Produk

Lapisan SiC/dilapis ku susceptor grafit pikeun Semikonduktor
 
TheSubstrat Grafit Dilapisi SiCmangrupikeun solusi anu awét pisan sareng efisien anu dirancang pikeun minuhan paménta anu ketat tina industri pamrosésan semikonduktor. Nampilkeun lapisan kamurnian anu luhurlapisan silikon karbida (SiC), substrat ieu ngahasilkeun stabilitas termal anu luar biasa, résistansi oksidasi, sareng umur layanan anu langkung lami, jantenkeun idéal pikeun aplikasi dina prosés MOCVD, pamawa wafer grafit, sareng lingkungan suhu luhur anu sanésna.

 Fitur: 
· Résistansi Kejutan Termal anu Saé
· Résistansi Kejutan Fisik Anu Saé
· Résistansi Kimia Anu Saé
· Kamurnian Super Luhur
· Kasadiaan dina Wangun Kompleks
· Tiasa dianggo dina Atmosfir Oksidasi

Aplikasi:

3

Fitur sareng Kaunggulan Produk:

1. Résistansi Termal Anu Unggul:Kalayan kamurnian anu luhurLapisan SiC, substrat ieu tahan kana suhu anu ekstrim, mastikeun kinerja anu konsisten dina lingkungan anu nungtut sapertos epitaksi sareng fabrikasi semikonduktor.

2. Daya Tahan Anu Ditingkatkeun:Komponen grafit anu dilapis SiC dirancang pikeun tahan korosi sareng oksidasi kimia, ningkatkeun umur substrat dibandingkeun sareng substrat grafit standar.

3. Grafit Dilapis Vitreous:Struktur vitreous anu unik tinaLapisan SiCnyadiakeun karasana permukaan anu saé pisan, ngaminimalkeun karusakan nalika pamrosésan suhu luhur.

4. Lapisan SiC Kamurnian Tinggi:Substrat kami mastikeun kontaminasi minimal dina prosés semikonduktor sénsitip, nawiskeun reliabilitas pikeun industri anu meryogikeun kamurnian bahan anu ketat.

5. Aplikasi Pasar Anu Lega:TheSusceptor grafit dilapis SiCPasar terus ningkat sabab paménta pikeun produk anu dilapis SiC canggih dina manufaktur semikonduktor ningkat, nempatkeun substrat ieu salaku pamaén konci dina pasar pembawa wafer grafit sareng pasar baki grafit anu dilapis silikon karbida.

Sipat Khas Bahan Grafit Dasar:

Kapadetan Katempo: 1,85 g/cm3
Résistansi Listrik: 11 μΩm
Kakuatan Fléksibel: 49 MPa (500kgf/cm2)
Karasa basisir: 58
Lebu: <5ppm
Konduktivitas Termal: 116 W/mK (100 kkal/mhr-℃)

 

CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung) SiC薄膜基本物理性能

Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Biasa

晶体结构 / Struktur Kristal

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadetan

3,21 g/cm³

硬度 / Teu karasa

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Grain

2 ~ 10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas Panas

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kakuatan Flexural

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃

导热系数 / Konduktivitas Termal

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy nyaéta produsén asli produk grafit sareng silikon karbida khusus kalayan rupa-rupa lapisan sapertos lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon glassy, ​​lapisan karbon pirolitik, jsb., tiasa nyayogikeun rupa-rupa suku cadang khusus pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik.

Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

Kami terus-terusan ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung canggih, sareng parantos ngadamel téknologi anu dipatenkeun sacara éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung pageuh sareng kirang rentan leupas.

Wilujeng sumping ka pabrik kami, hayu urang diskusi salajengna!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Saméméhna:
  • Teras:

  • Obrolan Online WhatsApp!