SiC ծածկույթ/պատված գրաֆիտային հիմք/սկուտեղ կիսահաղորդիչների համար

Կարճ նկարագրություն՝

VET Energy SiC ծածկույթով գրաֆիտային ընկալիչը էպիտաքսիալ աճի համար բարձր արդյունավետությամբ արտադրանք է, որը նախագծված է երկար ժամանակահատվածում կայուն և հուսալի աշխատանք ապահովելու համար: Այն ունի գերլավ ջերմակայունություն և ջերմային միատարրություն, բարձր մաքրություն, էրոզիայի դիմադրություն, ինչը այն դարձնում է վաֆլիների մշակման կիրառությունների համար կատարյալ լուծում:


Ապրանքի մանրամասներ

Ապրանքի պիտակներ

Կիսահաղորդչային գրաֆիտային ընկալիչի SiC ծածկույթ/ծածկույթ
 
TheSiC ծածկույթով գրաֆիտային հիմքբարձր դիմացկուն և արդյունավետ լուծում է, որը նախատեսված է կիսահաղորդչային վերամշակման արդյունաբերության խիստ պահանջները բավարարելու համար: Այն առանձնանում է բարձր մաքրության շերտով:սիլիցիումի կարբիդի (SiC) ծածկույթ, այս հիմքը ապահովում է բացառիկ ջերմային կայունություն, օքսիդացման դիմադրություն և երկարատև ծառայության ժամկետ, ինչը այն իդեալական է դարձնում MOCVD պրոցեսներում, գրաֆիտային վաֆլի կրիչներում և այլ բարձր ջերմաստիճանային միջավայրերում կիրառությունների համար։

 Հատկանիշներ՝ 
· Գերազանց ջերմային հարվածային դիմադրություն
· Գերազանց ֆիզիկական հարվածային դիմադրություն
· Գերազանց քիմիական դիմադրություն
· Գերբարձր մաքրություն
· Հասանելիություն բարդ ձևով
· Օգտագործելի է օքսիդացնող մթնոլորտում

Կիրառում.

3

Արտադրանքի առանձնահատկությունները և առավելությունները.

1. Գերազանց ջերմային դիմադրություն:Բարձր մաքրությամբSiC ծածկույթ, հիմքը դիմադրում է ծայրահեղ ջերմաստիճաններին՝ ապահովելով կայուն աշխատանք պահանջկոտ միջավայրերում, ինչպիսիք են էպիտաքսիան և կիսահաղորդչային արտադրությունը։

2. Բարելավված դիմացկունություն:SiC ծածկույթով գրաֆիտային բաղադրիչները նախագծված են քիմիական կոռոզիային և օքսիդացմանը դիմակայելու համար, ինչը մեծացնում է հիմքի կյանքի տևողությունը՝ համեմատած ստանդարտ գրաֆիտային հիմքերի հետ։

3. Ապակենման պատված գրաֆիտ:Ապակենման մարմնի եզակի կառուցվածքըSiC ծածկույթապահովում է գերազանց մակերեսային կարծրություն, նվազագույնի հասցնելով մաշվածությունը բարձր ջերմաստիճանային մշակման ընթացքում։

4. Բարձր մաքրության SiC ծածկույթ:Մեր հիմքը ապահովում է նվազագույն աղտոտում զգայուն կիսահաղորդչային գործընթացներում՝ ապահովելով հուսալիություն այն ոլորտների համար, որոնք պահանջում են խիստ նյութական մաքրություն։

5. Լայն շուկայական կիրառություն:TheSiC պատված գրաֆիտային ընկալիչՇուկան շարունակում է աճել, քանի որ կիսահաղորդչային արտադրության մեջ առաջադեմ SiC ծածկույթով արտադրանքի պահանջարկն աճում է, ինչը այս հիմքը դիրքավորում է որպես հիմնական խաղացող ինչպես գրաֆիտային վաֆլի կրիչների, այնպես էլ սիլիցիումի կարբիդով ծածկույթով գրաֆիտային սկուտեղների շուկայում։

Հիմնական գրաֆիտային նյութի բնորոշ հատկությունները.

Ակնհայտ խտություն՝ 1.85 գ/սմ3
Էլեկտրական դիմադրություն՝ 11 մկՕմ
Ճկման ուժը. 49 ՄՊա (500 կգ/սմ2)
Ափամերձ կարծրություն՝ 58
Մոխիր: <5 ppm
Ջերմահաղորդականություն՝ 116 Վտ/մԿ (100 կկալ/մժ-℃)

 

Սրտանոթային հիվանդություն SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC-ի հիմնական ֆիզիկական հատկություններըծածկույթ

性质 / Սեփականություն

典型数值 / Typical Value

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β փուլ 多晶,主要为(111)取向

密度 / Խտություն

3.21 գ/սմ³

硬度 / Կարծրություն

2500 գրամ (500 գ բեռ)

晶粒大小 / Grain SiZe

2~10 մկմ

纯度 / Քիմիական մաքրություն

99.99995%

热容 / Ջերմային հզորություն

640 Ջ·կգ-1·Կ-1

升华温度 / Sublimation Temperature

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 ՄՊա RT 4-կետանոց

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt ծռում, 1300℃

导热系数 / Ջերմային հաղորդունակություն

300 Վտ·մ-1·Կ-1

热膨胀系数 / Ջերմային ընդլայնում (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy-ն գրաֆիտի և սիլիցիումի կարբիդային արտադրանքի իրական արտադրող է, որն ունի տարբեր ծածկույթներ, ինչպիսիք են SiC ծածկույթը, TaC ծածկույթը, ապակեածխածնային ծածկույթը, պիրոլիտիկ ածխածնային ծածկույթը և այլն, և կարող է մատակարարել տարբեր պատվերով պատրաստված մասեր կիսահաղորդչային և ֆոտովոլտային արդյունաբերության համար։

Մեր տեխնիկական թիմը գալիս է առաջատար տեղական հետազոտական ​​​​հաստատություններից, կարող է ձեզ համար ապահովել ավելի պրոֆեսիոնալ նյութական լուծումներ:

Մենք անընդհատ մշակում ենք առաջադեմ գործընթացներ՝ ավելի առաջադեմ նյութեր ապահովելու համար, և մշակել ենք բացառիկ արտոնագրված տեխնոլոգիա, որը կարող է ծածկույթի և հիմքի միջև կապը դարձնել ավելի ամուր և պակաս հակված լինել անջատմանը։

Ջերմորեն ողջունում ենք ձեզ այցելել մեր գործարան, եկեք հետագա քննարկում ունենանք։

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Նախորդը՝
  • Հաջորդը՝

  • WhatsApp-ի առցանց զրուցարան!