सेमीकंडक्टरसाठी SiC कोटिंग/लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेट/ट्रे

संक्षिप्त वर्णन:

एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी व्हीईटी एनर्जी एसआयसी कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हे एक उच्च-कार्यक्षमता उत्पादन आहे जे दीर्घ कालावधीसाठी सातत्यपूर्ण आणि विश्वासार्ह कामगिरी प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. त्यात अतिशय चांगली उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, इरोशन प्रतिरोधकता आहे, ज्यामुळे ते वेफर प्रोसेसिंग अनुप्रयोगांसाठी परिपूर्ण उपाय बनते.


उत्पादन तपशील

उत्पादन टॅग्ज

सेमीकंडक्टरसाठी ग्रेफाइट ससेप्टरचे SiC कोटिंग/लेपित
 
SiC लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेटहे एक अत्यंत टिकाऊ आणि कार्यक्षम समाधान आहे जे सेमीकंडक्टर प्रक्रिया उद्योगाच्या कठोर मागण्या पूर्ण करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. उच्च-शुद्धतेचा थर असलेलेसिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग, हे सब्सट्रेट अपवादात्मक थर्मल स्थिरता, ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि दीर्घ सेवा आयुष्य प्रदान करते, ज्यामुळे ते MOCVD प्रक्रिया, ग्रेफाइट वेफर वाहक आणि इतर उच्च-तापमान वातावरणात अनुप्रयोगांसाठी आदर्श बनते.

 वैशिष्ट्ये: 
· उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोधकता
· उत्कृष्ट शारीरिक धक्क्याचा प्रतिकार
· उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार
· अत्यंत उच्च शुद्धता
· जटिल आकारात उपलब्धता
·ऑक्सिडायझिंग वातावरणात वापरण्यायोग्य

अर्ज:

३

उत्पादन वैशिष्ट्ये आणि फायदे:

१. उत्कृष्ट थर्मल प्रतिकार:उच्च शुद्धतेसहSiC कोटिंग, सब्सट्रेट अत्यंत तापमानाला तोंड देतो, एपिटॅक्सी आणि सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनसारख्या कठीण वातावरणात सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करतो.

२. वाढलेली टिकाऊपणा:SiC लेपित ग्रेफाइट घटक रासायनिक गंज आणि ऑक्सिडेशनला प्रतिकार करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत, ज्यामुळे मानक ग्रेफाइट सब्सट्रेट्सच्या तुलनेत सब्सट्रेटचे आयुष्य वाढते.

३. काच लेपित ग्रेफाइट:ची अद्वितीय काचेची रचनाSiC कोटिंगउत्कृष्ट पृष्ठभागाची कडकपणा प्रदान करते, उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान झीज कमी करते.

४. उच्च शुद्धता असलेले SiC कोटिंग:आमचा सब्सट्रेट संवेदनशील अर्धसंवाहक प्रक्रियांमध्ये कमीत कमी दूषितता सुनिश्चित करतो, ज्यामुळे कठोर सामग्री शुद्धतेची आवश्यकता असलेल्या उद्योगांना विश्वासार्हता मिळते.

५. विस्तृत बाजारपेठ अनुप्रयोग:SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरसेमीकंडक्टर उत्पादनात प्रगत SiC लेपित उत्पादनांची मागणी वाढत असताना बाजारपेठ वाढतच आहे, ज्यामुळे ग्रेफाइट वेफर कॅरियर मार्केट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ट्रे मार्केट या दोन्हीमध्ये या सब्सट्रेटला एक प्रमुख खेळाडू म्हणून स्थान मिळाले आहे.

बेस ग्रेफाइट मटेरियलचे विशिष्ट गुणधर्म:

स्पष्ट घनता: १.८५ ग्रॅम/सेमी३
विद्युत प्रतिरोधकता: ११ μΩमी
फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ: ४९ एमपीए (५०० किलोफूट/सेमी२)
किनाऱ्याची कडकपणा: 58
राख: <५ पीपीएम
औष्णिक चालकता: ११६ वॅट/मॅकेलेटर (१०० किलोकॅलरी/मॅकेलेटर-℃)

 

सीव्हीडी SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मलेप

性质 / मालमत्ता

典型数值 / ठराविक मूल्य

晶体结构 / क्रिस्टल स्ट्रक्चर

FCC β फेज 多晶,主要为(111)取向

密度 / घनता

३.२१ ग्रॅम/सेमी³

硬度 / कडकपणा

2500 维氏硬度(500g लोड)

晶粒大小 / धान्य आकार

२~१०μm

纯度 / रासायनिक शुद्धता

९९.९९९९५%

热容 / उष्णता क्षमता

६४० ज्यू किलोग्रॅम-1·के-1

升华温度 / उदात्तीकरण तापमान

२७०० ℃

抗弯强度 / फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ

४१५ एमपीए आरटी ४-पॉइंट

杨氏模量 / तरुणांचे मॉड्यूलस

४३० Gpa ४pt बेंड, १३००℃

导热系数 / थर्मल चालकता

३०० वॅट्स · मी-1·के-1

热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (CTE)

४.५×१०-6K-1

१

२

 

 

व्हीईटी एनर्जी ही सानुकूलित ग्रेफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादनांची खरी उत्पादक आहे ज्यामध्ये SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग इत्यादी विविध कोटिंग्ज आहेत, जे सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगासाठी विविध सानुकूलित भाग पुरवू शकतात.

आमची तांत्रिक टीम शीर्ष देशांतर्गत संशोधन संस्थांकडून येते, तुमच्यासाठी अधिक व्यावसायिक साहित्य उपाय प्रदान करू शकते.

आम्ही अधिक प्रगत साहित्य प्रदान करण्यासाठी सतत प्रगत प्रक्रिया विकसित करतो आणि एक विशेष पेटंट तंत्रज्ञान विकसित केले आहे, जे कोटिंग आणि सब्सट्रेटमधील बंधन घट्ट करू शकते आणि वेगळे होण्याची शक्यता कमी करू शकते.

आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी तुमचे हार्दिक स्वागत आहे, चला पुढील चर्चा करूया!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • मागील:
  • पुढे:

  • व्हॉट्सअॅप ऑनलाइन गप्पा!