सेमीकंडक्टरसाठी एसआयसी कोटिंग/कोटेड ग्राफाईट सबस्ट्रेट/ट्रे

संक्षिप्त वर्णन:

एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी व्हीईटी एनर्जी एसआयसी कोटेड ग्राफाइट ससेप्टर हे एक उच्च-कार्यक्षम उत्पादन आहे, जे दीर्घ कालावधीसाठी सातत्यपूर्ण आणि विश्वसनीय कार्यप्रदर्शन देण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. यात उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकसमानता, उच्च शुद्धता, झीज प्रतिरोधकता आहे, ज्यामुळे ते वेफर प्रोसेसिंग ॲप्लिकेशन्ससाठी एक परिपूर्ण उपाय ठरते.


उत्पादनाचा तपशील

उत्पादन टॅग

सेमीकंडक्टरसाठी ग्राफाईट ससेप्टरचे SiC कोटिंग/कोटेड
 
एसआयसी लेपित ग्रॅफाइट सब्सट्रेटसेमीकंडक्टर प्रक्रिया उद्योगाच्या कठोर मागण्या पूर्ण करण्यासाठी डिझाइन केलेले हे एक अत्यंत टिकाऊ आणि कार्यक्षम समाधान आहे. यात उच्च-शुद्धतेच्या थराचा समावेश आहे.सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपनहे सबस्ट्रेट उत्कृष्ट औष्णिक स्थिरता, ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि दीर्घ सेवा आयुष्य प्रदान करते, ज्यामुळे ते MOCVD प्रक्रिया, ग्राफाइट वेफर कॅरियर्स आणि इतर उच्च-तापमान वातावरणातील अनुप्रयोगांसाठी आदर्श ठरते.

 वैशिष्ट्ये: 
· उत्कृष्ट औष्णिक धक्का प्रतिरोधकता
· उत्कृष्ट शारीरिक धक्का प्रतिकारशक्ती
· उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकारशक्ती
· अति उच्च शुद्धता
· जटिल आकारात उपलब्धता
ऑक्सिडीकारक वातावरणात वापरण्यायोग्य

अर्ज:

३

उत्पादनाची वैशिष्ट्ये आणि फायदे:

१. उत्कृष्ट औष्णिक प्रतिकारशक्ती:उच्च शुद्धतेसहSiC कोटिंगसबस्ट्रेट अत्यंत तापमानाला तोंड देतो, ज्यामुळे एपिटॅक्सी आणि सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनसारख्या आव्हानात्मक वातावरणात सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित होते.

२. वाढीव टिकाऊपणा:एसआयसी (SiC) लेपित ग्रॅफाइट घटक हे रासायनिक क्षरण आणि ऑक्सिडेशनला प्रतिकार करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत, ज्यामुळे मानक ग्रॅफाइट सबस्ट्रेटच्या तुलनेत सबस्ट्रेटचे आयुष्यमान वाढते.

३. काचेचा लेप असलेले ग्रॅफाइट:ची अद्वितीय काचेसारखी रचनाSiC कोटिंगउत्कृष्ट पृष्ठभागीय कठीणपणा प्रदान करते, ज्यामुळे उच्च तापमानाच्या प्रक्रियेदरम्यान होणारी झीज कमी होते.

४. उच्च शुद्धतेचे एसआयसी कोटिंग:आमचे सबस्ट्रेट संवेदनशील सेमीकंडक्टर प्रक्रियांमध्ये कमीत कमी प्रदूषण सुनिश्चित करते, ज्यामुळे सामग्रीच्या शुद्धतेची कठोर आवश्यकता असलेल्या उद्योगांना विश्वसनीयता मिळते.

५. व्यापक बाजारपेठ अनुप्रयोग:एसआयसी लेपित ग्रॅफाइट ससेप्टरसेमीकंडक्टर उत्पादनात प्रगत SiC लेपित उत्पादनांची मागणी वाढत असल्याने बाजारपेठ वाढतच आहे, ज्यामुळे हे सबस्ट्रेट ग्राफाइट वेफर कॅरियर बाजारपेठ आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्राफाइट ट्रे बाजारपेठ या दोन्हीमध्ये एक प्रमुख भूमिका बजावत आहे.

मूळ ग्रॅफाइट पदार्थाचे वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म:

भासमान घनता: १.८५ ग्रॅम/सेमी³
विद्युत रोधकता: ११ μΩm
वाकण्याची ताकद: ४९ एमपीए (५०० केजीएफ/सेमी²)
किनाऱ्याची कठीणता: 58
राख: <५ पीपीएम
औष्णिक वाहकता: ११६ वॅट/मीटर केल्विन (१०० किलोकॅलरी/मीटर तास-℃)

 

सीव्हीडी SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मकोटिंग

性质 / मालमत्ता

典型数值 / ठराविक मूल्य

晶体结构 / क्रिस्टल स्ट्रक्चर

FCC β फेज 多晶,主要为(111)取向

密度 / घनता

३.२१ ग्रॅम/सेमी³

硬度 / कडकपणा

2500 维氏硬度(500g लोड)

晶粒大小 / धान्य आकार

२~१० मायक्रॉन

纯度 / रासायनिक शुद्धता

९९.९९९९५%

热容 / उष्णता क्षमता

६४० जूल·किलो-1·के-1

升华温度 / उदात्तीकरण तापमान

२७००℃

抗弯强度 / फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ

४१५ एमपीए आरटी ४-पॉइंट

杨氏模量 / तरुणांचे मॉड्यूलस

४३० जीपीए ४-पॉइंट बेंड, १३००℃

导热系数 / थर्मल चालकता

३०० वॅट·मीटर-1·के-1

热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (CTE)

४.५×१०-6K-1

१

२

 

 

व्हीईटी एनर्जी ही एसआयसी कोटिंग, टीएसी कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग इत्यादींसारख्या विविध कोटिंग्जसह सानुकूलित ग्राफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादनांची खरी उत्पादक असून, सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगासाठी विविध सानुकूलित भागांचा पुरवठा करू शकते.

आमची तांत्रिक टीम देशातील नामांकित संशोधन संस्थांमधून आलेली असून, ती तुम्हाला अधिक व्यावसायिक सामग्रीचे उपाय देऊ शकते.

आम्ही अधिक प्रगत सामग्री पुरवण्यासाठी प्रगत प्रक्रिया सातत्याने विकसित करतो आणि एक विशेष पेटंट केलेले तंत्रज्ञान विकसित केले आहे, जे कोटिंग आणि सब्सट्रेटमधील बंधन अधिक घट्ट आणि सुटण्याची शक्यता कमी करते.

आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी तुमचे मनःपूर्वक स्वागत आहे, चला पुढील चर्चा करूया!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • मागील:
  • पुढील:

  • व्हॉट्सॲपवर ऑनलाइन चॅट!