SiC премаз/обложена графитна подлога/посуда за полупроводнике

Кратак опис:

VET Energy SiC обложени графитни сусцептор за епитаксијални раст је високо ефикасни производ дизајниран да пружи конзистентне и поуздане перформансе током дужег периода. Има изузетно добру отпорност на топлоту и термичку уједначеност, високу чистоћу и отпорност на ерозију, што га чини савршеним решењем за примене у обради плочица.

Пошаљите нам имејл Преузми као PDF

Детаљи производа

Ознаке производа

SiC премаз/премаза графитног сусцептора за полупроводнике

TheГрафитна подлога обложена SiC-омје изузетно издржљиво и ефикасно решење дизајнирано да задовољи ригорозне захтеве индустрије обраде полупроводника. Садржи слој високе чистоћепремаз од силицијум карбида (SiC), ова подлога пружа изузетну термичку стабилност, отпорност на оксидацију и продужени век трајања, што је чини идеалном за примену у MOCVD процесима, носачима графитних плочица и другим окружењима са високим температурама.

Карактеристике:
· Одлична отпорност на термички удар
· Одлична отпорност на физичке ударце
· Одлична хемијска отпорност
· Супер висока чистоћа
· Доступност у сложеном облику
· Може се користити у оксидативној атмосфери

Примена：

Карактеристике и предности производа:

1. Супериорна термичка отпорност:Са високом чистоћомSiC премаз, подлога издржава екстремне температуре, обезбеђујући конзистентне перформансе у захтевним окружењима као што су епитаксија и израда полупроводника.

2. Побољшана издржљивост:Графитне компоненте обложене SiC-ом су дизајниране да буду отпорне на хемијску корозију и оксидацију, повећавајући век трајања подлоге у поређењу са стандардним графитним подлогама.

3. Графит са стакластим премазом:Јединствена стакласта структураSiC премазпружа одличну површинску тврдоћу, минимизирајући хабање током обраде на високим температурама.

4. SiC премаз високе чистоће:Наша подлога обезбеђује минималну контаминацију у осетљивим полупроводничким процесима, нудећи поузданост за индустрије које захтевају строгу чистоћу материјала.

5. Широка примена на тржишту:TheГрафитни сусцептор обложен SiC-омТржиште наставља да расте како се повећава потражња за напредним производима са SiC премазом у производњи полупроводника, позиционирајући ову подлогу као кључног играча и на тржишту носача графитних плочица и на тржишту графитних лежишта обложених силицијум карбидом.

Типична својства основног графитног материјала:

Привидна густина:	1,85 г/цм3
Електрична отпорност:	11 μΩm
Флексурна чврстоћа:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Тврдоћа по Шору:	58
Пепео:	<5 ппм
Топлотна проводљивост:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

КВБ SiC薄膜基本物理性能 Основна физичка својства CVD SiC-апремаз
性质 / Проперти	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза 多晶,主要为（111）取向
密度 / Густина	3,21 г/цм³
硬度 / Тврдоћа	2500 维氏硬度 (500г оптерећење)
晶粒大小 / Величина зрна	2~10μm
纯度 / Хемијска чистоћа	99,99995%
热容 / Хеат Цапацити	640 Ј·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимације	2700℃
抗弯强度 / Снага на савијање	415 MPa RT 4-тачкасти
杨氏模量 / Иоунг'с Модулус	430 Gpa, 4pt, 1300℃
导热系数 / Топлотна проводљивост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / термичка експанзија (ЦТЕ)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy је прави произвођач прилагођених графитних и силицијум карбидних производа са различитим премазима као што су SiC премаз, TaC премаз, премаз од стакластог угљеника, пиролитички угљенични премаз итд., може да испоручи разне прилагођене делове за полупроводничку и фотонапонску индустрију.

Наш технички тим долази из водећих домаћих истраживачких институција и може вам пружити професионалнија материјална решења.

Континуирано развијамо напредне процесе како бисмо обезбедили напредније материјале и развили смо ексклузивну патентирану технологију која може учинити везу између премаза и подлоге чвршћом и мање склоном одвајању.

Срдачно вас поздрављамо да посетите нашу фабрику, хајде да даље разговарамо!