SiC קאָוטינג/קאָוטאַד גראַפיט סאַבסטראַט/טאַץ פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר

קורצע באַשרייַבונג:

VET ענערגיע SiC באדעקטע גראַפיט סאַסעפּטאָר פֿאַר עפּיטאַקסיאַל גראָוט איז אַ הויך-פאָרשטעלונג פּראָדוקט דיזיינד צו צושטעלן קאָנסיסטענט און פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג איבער אַ פאַרלענגערט צייט. עס האט סופּער גוט היץ קעגנשטעל און טערמאַל יונאַפאָרמאַטי, הויך ריינקייט, עראָוזשאַן קעגנשטעל, מאכן עס די גאנץ לייזונג פֿאַר וועיפער פּראַסעסינג אַפּלאַקיישאַנז.


פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

SiC קאָוטינג/קאָוטאַד פון גראַפיט סאַסעפּטאָר פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר
 
דיSiC באדעקטע גראַפיט סאַבסטראַטאיז אַ העכסט דויערהאפטיקע און עפעקטיווע לייזונג דיזיינד צו טרעפן די שטרענגע פארלאנגען פון דער האַלב-קאָנדוקטאָר פּראַסעסינג אינדוסטריע. מיט אַ שיכט פון הויך-ריינקייטסיליקאָן קאַרבייד (SiC) קאָוטינג, דעם סאַבסטראַט גיט אויסערגעוויינלעכע טערמישע פעסטקייט, אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל, און פּראַלאָנגד דינסט לעבן, מאכן עס ידעאַל פֿאַר אַפּלאַקיישאַנז אין MOCVD פּראַסעסאַז, גראַפיט וואַפער טרעגער, און אנדערע הויך-טעמפּעראַטור ינווייראַנמאַנץ.

 פֿעיִקייטן: 
· אויסגעצייכנט טערמישע קלאַפּ קעגנשטעל
· אויסגעצייכנטע פיזישע שאָק קעגנשטעל
· אויסגעצייכנטע כעמישער קעגנשטעל
· סופּער הויך ריינקייט
· פאַראַנען אין קאָמפּלעקס פאָרעם
·ניצלעך אונטער אָקסידירנדיקער אַטמאָספֿערע

אַפּליקאַציע:

3

פּראָדוקט פֿעיִקייטן און אַדוואַנטאַגעס:

1. העכערע טערמישע קעגנשטעל:מיט אַ הויך-ריינקייטSiC קאָוטינג, דער סאַבסטראַט קען אויסהאַלטן עקסטרעמע טעמפּעראַטורן, וואָס זיכערט קאָנסיסטענט פאָרשטעלונג אין פאָדערנדיקע סביבות ווי עפּיטאַקסי און האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע.

2. פֿאַרבעסערטע האַרטקייט:די SiC באדעקטע גראַפיט קאָמפּאָנענטן זענען דיזיינד צו אַנטקעגנשטעלנ זיך כעמישע קעראָוזשאַן און אַקסאַדיישאַן, וואָס פאַרלענגערט די לעבן פון די סאַבסטראַט קאַמפּערד צו נאָרמאַל גראַפיט סאַבסטראַטן.

3. וויטריאַס קאָוטאַד גראַפיט:די אייגנארטיגע גלאַז-סטרוקטור פון דיSiC קאָוטינגגיט אויסגעצייכנטע ייבערפלאַך כאַרדנאַס, מינאַמייזינג טראָגן און טרער בעשאַס הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסינג.

4. הויך ריינקייט SiC קאָוטינג:אונדזער סאַבסטראַט גאַראַנטירט מינימאַל קאַנטאַמאַניישאַן אין סענסיטיווע האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעסן, וואָס אָפפערס פאַרלאָזלעכקייט פֿאַר ינדאַסטריז וואָס דאַרפן שטרענגע מאַטעריאַל ריינקייט.

5. ברייט מאַרק אַפּלאַקיישאַן:דיSiC באדעקטע גראַפיט סאַסעפּטאָרדער מאַרק פאָרזעצט צו וואַקסן ווי די פאָדערונג פֿאַר אַוואַנסירטע SiC קאָוטאַד פּראָדוקטן אין האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג ינקריסיז, פּאַזישאַנינג דעם סאַבסטראַט ווי אַ שליסל שפּילער אין ביידע די גראַפיט וועיפער טרעגער מאַרק און די סיליקאָן קאַרבייד קאָוטאַד גראַפיט טאַץ מאַרק.

טיפּישע אייגנשאַפטן פון באַזע גראַפיט מאַטעריאַל:

אויסזעענדיקע געדיכטקייט: 1.85 ג/קמ3
עלעקטרישע קעגנשטעל: 11 מיקראָמאָם
בייגונג שטאַרקייט: 49 MPa (500kgf/cm²)
ברעג כאַרדנאַס: 58
אש: <5ppm
טערמישע קאַנדאַקטיוויטי: 116 וואט/מיליקאַלאָריע (100 קאַלאָריעס/מ״ר-℃)

 

קאַרדיאָוואַסקולאַרע קרענק (CVD) SiC薄膜基本物理性能

גרונטלעכע פיזישע אייגנשאפטן פון CVD SiCבאַדעקונג

性质 / פאַרמאָג

典型数值 / טיפּיש ווערט

晶体结构 / קריסטאַל סטרוקטור

FCC β פאַסע 多晶,主要为(111)取向

密度 / געדיכטקייַט

3.21 ג/קמ³

硬度 / כאַרדנאַס

2500 维氏硬度(500ג מאַסע)

晶粒大小 / קערל גרייס

2~10μm

纯度 / כעמישער ריינקייַט

99.99995%

热容 / היץ קאַפּאַסיטי

640 דזש·ק״ג-1·ק-1

升华温度 / סובלימאַטיאָן טעמפּעראַטור

2700℃

抗弯强度 / פלעקסוראַל סטרענגטה

415 MPa RT 4-פונקט

杨氏模量 / יונג ס מאָדולע

430 Gpa 4pt בייגן, 1300℃

导热系数 / טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי

300 וואט·מ-1·ק-1

热膨胀系数 / טערמאַל יקספּאַנשאַן (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

וועט ענערגיע איז דער עכטער פאבריקאנט פון ספעציעלע גראפיט און סיליקאן קארבייד פראדוקטן מיט פארשידענע קאוטינגס ווי SiC קאוטינג, TaC קאוטינג, גלאזי קארבאן קאוטינג, פּיראליטישע קארבאן קאוטינג, א.א.וו., און קען צושטעלן פארשידענע ספעציעלע טיילן פאר די האלב-קאנדוקטאר און פאטאוואטאליק אינדוסטריע.

אונדזער טעכנישער מאַנשאַפֿט קומט פֿון די שפּיץ דינער פֿאָרשונג אינסטיטוציעס, און קען צושטעלן מער פּראָפֿעסיאָנעלע מאַטעריאַל לייזונגען פֿאַר אײַך.

מיר אַנטוויקלען קעסיידער אַוואַנסירטע פּראָצעסן צו צושטעלן מער אַוואַנסירטע מאַטעריאַלן, און האָבן אויסגעאַרבעט אַן עקסקלוסיווע פּאַטענטירטע טעכנאָלאָגיע, וואָס קען מאַכן די פֿאַרבינדונג צווישן דער קאָוטינג און דעם סאַבסטראַט פעסטער און ווייניקער פּראָנע צו אָפּטרעכענונג.

וואַרעם באַגריסן איר צו באַזוכן אונדזער פאַבריק, לאָמיר האָבן ווייטערדיקע דיסקוסיע!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • פריערדיג:
  • ווייטער:

  • וואַטסאַפּ אָנליין שמועס!