Yarıiletkenler için SiC Kaplama/Kaplamalı Grafit Altlık/Tepsi

Kısa Açıklama:

VET Energy SiC Kaplı Grafit Epitelyal Büyüme Destekleyici, uzun bir süre boyunca tutarlı ve güvenilir performans sağlamak üzere tasarlanmış yüksek performanslı bir üründür. Süper iyi ısı direnci ve termal homojenlik, yüksek saflık ve aşınma direnci özelliklerine sahip olması, onu wafer işleme uygulamaları için mükemmel bir çözüm haline getirir.


Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Yarıiletkenler için SiC kaplama/grafit suseptörün kaplanması
 
OSiC Kaplı Grafit Alt TabakaYarı iletken işleme endüstrisinin zorlu taleplerini karşılamak üzere tasarlanmış, son derece dayanıklı ve verimli bir çözümdür. Yüksek saflıkta bir katmana sahiptir.silisyum karbür (SiC) kaplamaBu alt tabaka, olağanüstü termal kararlılık, oksidasyon direnci ve uzun kullanım ömrü sunarak MOCVD işlemleri, grafit gofret taşıyıcıları ve diğer yüksek sıcaklık ortamlarındaki uygulamalar için idealdir.

 Özellikler: 
• Mükemmel Isı Şoku Direnci
• Mükemmel Fiziksel Şok Direnci
• Mükemmel Kimyasal Direnç
• Süper Yüksek Saflık
• Karmaşık Şekillerde Mevcuttur
•Oksitleyici atmosfer altında kullanılabilir

Başvuru:

3

Ürün Özellikleri ve Avantajları:

1. Üstün Isı Direnci:Yüksek saflıktaSiC kaplamaBu alt tabaka aşırı sıcaklıklara dayanıklıdır ve epitaksi ve yarı iletken üretimi gibi zorlu ortamlarda tutarlı performans sağlar.

2. Geliştirilmiş Dayanıklılık:SiC kaplı grafit bileşenler, kimyasal korozyona ve oksidasyona karşı direnç gösterecek şekilde tasarlanmıştır ve bu da standart grafit alt tabakalara kıyasla alt tabakanın ömrünü uzatır.

3. Cam Kaplı Grafit:Eşsiz camsı yapısıSiC kaplamaMükemmel yüzey sertliği sağlayarak yüksek sıcaklıkta işlem sırasında aşınmayı ve yıpranmayı en aza indirir.

4. Yüksek Saflıkta SiC Kaplama:Alt tabakamız, hassas yarı iletken işlemlerinde minimum kirlenmeyi sağlayarak, malzeme saflığı konusunda katı gereksinimler duyan sektörler için güvenilirlik sunar.

5. Geniş Pazar Uygulaması:OSiC kaplı grafit suseptörYarı iletken üretiminde gelişmiş SiC kaplı ürünlere olan talebin artmasıyla pazar büyümeye devam ediyor ve bu durum, bu alt tabakayı hem grafit gofret taşıyıcı pazarında hem de silisyum karbür kaplı grafit tepsi pazarında önemli bir oyuncu konumuna getiriyor.

Temel Grafit Malzemenin Tipik Özellikleri:

Görünür Yoğunluk: 1,85 g/cm³
Elektriksel Direnç: 11 μΩm
Eğilme Mukavemeti: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore Sertliği: 58
Kül: <5ppm
Isı İletkenliği: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri

CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama

性质 / Mülkiyet

典型数值 / Tipik Değer

晶体结构 / Kristal Yapı

FCC β fazı 多晶,主要为(111)取向

Veriler / Yoğunluk

3,21 g/cm³

Sertlik / Sertlik

2500 kg yük (500g yük)

晶粒大小 / Tahıl Boyutu

2~10 μm

Kitap / Kimyasal Saflık

99.99995%

热容 / Isı Kapasitesi

640 J·kg-1K-1

升华温度 / Süblimleşme Sıcaklığı

2700℃

抗弯强度 / Eğilme Dayanımı

415 MPa RT 4 noktalı

杨氏模量 / Young Modülü

430 Gpa 4 noktalı büküm, 1300℃

Genel Bilgiler / Isıl İletkenlik

300W·m-1K-1

Genel Bilgiler / Termal Genleşme (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy, SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. gibi farklı kaplamalara sahip özelleştirilmiş grafit ve silisyum karbür ürünlerinin gerçek üreticisidir ve yarı iletken ve fotovoltaik endüstrisi için çeşitli özelleştirilmiş parçalar tedarik edebilir.

Teknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmektedir ve size daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.

Sürekli olarak daha gelişmiş malzemeler sağlamak için ileri süreçler geliştiriyoruz ve kaplama ile alt tabaka arasındaki bağı daha sıkı ve ayrılmaya daha az eğilimli hale getirebilen özel, patentli bir teknoloji geliştirdik.

Fabrikamızı ziyaret etmenizden memnuniyet duyarız, daha detaylı görüşelim!

kitap

 

公司客户

 

 


  • Öncesi:
  • Sonraki:

  • WhatsApp Çevrimiçi Sohbet!