Yarıiletken için SiC Kaplama/Kaplamalı Grafit Alt Tabaka/Tepsi

Kısa Açıklama:

VET Energy SiC Kaplamalı Grafit Susceptor Epitaksiyel Büyüme, uzun bir süre boyunca tutarlı ve güvenilir performans sağlamak için tasarlanmış yüksek performanslı bir üründür. Süper iyi ısı direnci ve termal homojenliğe, yüksek saflığa, aşınma direncine sahiptir ve bu da onu gofret işleme uygulamaları için mükemmel bir çözüm haline getirir.


Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Yarıiletken için Grafit Süspansiyonun SiC Kaplaması/Kaplanması
 
TheSiC Kaplamalı Grafit Alt Tabakayarı iletken işleme endüstrisinin zorlu taleplerini karşılamak üzere tasarlanmış son derece dayanıklı ve verimli bir çözümdür. Yüksek saflıkta bir katmana sahiptirsilisyum karbür (SiC) kaplamaBu alt tabaka, olağanüstü termal kararlılık, oksidasyon direnci ve uzun hizmet ömrü sunarak MOCVD prosesleri, grafit gofret taşıyıcıları ve diğer yüksek sıcaklık ortamlarındaki uygulamalar için idealdir.

 Özellikler: 
· Mükemmel Termal Şok Direnci
· Mükemmel Fiziksel Şok Direnci
· Mükemmel Kimyasal Direnç
· Süper Yüksek Saflık
· Karmaşık Şekilde Kullanılabilirlik
·Oksitleyici Atmosferde Kullanılabilir

Başvuru:

3

Ürün Özellikleri ve Avantajları:

1. Üstün Isıl Direnç:Yüksek saflıktaSiC kaplamaAlt tabaka aşırı sıcaklıklara dayanıklıdır ve epitaksi ve yarı iletken üretimi gibi zorlu ortamlarda tutarlı performans sağlar.

2. Gelişmiş Dayanıklılık:SiC kaplamalı grafit bileşenler, kimyasal korozyona ve oksidasyona karşı direnç gösterecek şekilde tasarlanmıştır ve standart grafit alt tabakalara kıyasla alt tabakanın kullanım ömrünü artırır.

3. Cam Kaplamalı Grafit:Benzersiz camsı yapıSiC kaplamaYüksek sıcaklıktaki işleme sırasında aşınma ve yıpranmayı en aza indirerek mükemmel yüzey sertliği sağlar.

4. Yüksek Saflıkta SiC Kaplama:Alt tabakamız hassas yarı iletken proseslerinde minimum kontaminasyon sağlayarak, sıkı malzeme saflığı gerektiren endüstriler için güvenilirlik sunar.

5. Geniş Pazar Uygulaması:TheSiC kaplamalı grafit suseptörYarı iletken üretiminde gelişmiş SiC kaplamalı ürünlere olan talep arttıkça pazar büyümeye devam ediyor ve bu alt tabakayı hem grafit gofret taşıyıcı pazarında hem de silisyum karbür kaplamalı grafit tepsiler pazarında önemli bir oyuncu konumuna getiriyor.

Baz Grafit Malzemenin Tipik Özellikleri:

Görünür Yoğunluk: 1,85 gr/cm3
Elektriksel Direnç: 11 mikron
Eğilme Dayanımı: 49 MPa (500kgf/cm2)
Kıyı Sertliği: 58
Kül: <5ppm
Isıl İletkenlik: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri

CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama

性质 / Mülkiyet

典型数值 / Tipik Değer

晶体结构 / Kristal Yapı

FCC β fazı 多晶,主要为(111)取向

Veriler / Yoğunluk

3,21 gr/cm³

Sertlik / Sertlik

2500 kg yük (500g yük)

晶粒大小 / Tahıl Boyutu

2~10μm

Kitap / Kimyasal Saflık

%99,99995

热容 / Isı Kapasitesi

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Süblimleşme Sıcaklığı

2700℃

抗弯强度 / Eğilme Dayanımı

415 MPa RT 4 nokta

杨氏模量 / Young Modülü

430 Gpa 4pt dirsek, 1300℃

Genel Bilgiler / Isıl İletkenlik

300W·m-1·K-1

Genel Bilgiler / Termal Genleşme (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy, SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. gibi farklı kaplamalara sahip özelleştirilmiş grafit ve silisyum karbür ürünlerinin gerçek üreticisidir ve yarı iletken ve fotovoltaik endüstrisi için çeşitli özelleştirilmiş parçalar tedarik edebilir.

Yurtiçindeki en iyi araştırma kurumlarından gelen teknik ekibimiz, sizlere daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.

Daha gelişmiş malzemeler sunmak için sürekli olarak gelişmiş prosesler geliştiriyoruz ve kaplama ile alt tabaka arasındaki bağı daha sıkı hale getirebilen ve ayrılmaya daha az eğilimli hale getirebilen özel, patentli bir teknoloji geliştirdik.

Fabrikamızı ziyaret etmenizi içtenlikle bekliyoruz, daha detaylı konuşalım!

研发团队

 

bir şey

 

公司客户

 


  • Öncesi:
  • Sonraki:

  • WhatsApp Online Sohbet!