SiC premaz/obložena grafitna podloga/posuda za poluprovodnike

Kratak opis:

VET Energy SiC obloženi grafitni susceptor za epitaksijalni rast je visokoučinkovit proizvod dizajniran da pruži konzistentne i pouzdane performanse tokom dužeg perioda. Ima super dobru otpornost na toplinu i toplinsku ujednačenost, visoku čistoću i otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjene u obradi pločica.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

SiC premaz/premaz od grafitnog susceptora za poluprovodnike

TheGrafitna podloga obložena SiC-omje izuzetno izdržljivo i efikasno rješenje dizajnirano da zadovolji rigorozne zahtjeve industrije obrade poluprovodnika. Sadrži sloj visoke čistoćepremaz od silicijum karbida (SiC), ovaj supstrat pruža izuzetnu termičku stabilnost, otpornost na oksidaciju i produženi vijek trajanja, što ga čini idealnim za primjenu u MOCVD procesima, nosačima grafitnih pločica i drugim okruženjima s visokim temperaturama.

Karakteristike:
· Odlična otpornost na termalne udare
· Odlična otpornost na fizičke udarce
· Odlična hemijska otpornost
· Super visoka čistoća
· Dostupnost u složenom obliku
· Može se koristiti u oksidirajućoj atmosferi

Primjena：

Karakteristike i prednosti proizvoda:

1. Vrhunska termička otpornost:Sa visokom čistoćomSiC premaz, podloga podnosi ekstremne temperature, osiguravajući konzistentne performanse u zahtjevnim okruženjima kao što su epitaksija i izrada poluprovodnika.

2. Poboljšana izdržljivost:Grafitne komponente obložene SiC-om dizajnirane su da budu otporne na hemijsku koroziju i oksidaciju, povećavajući vijek trajanja podloge u poređenju sa standardnim grafitnim podlogama.

3. Grafit obložen staklastim slojem:Jedinstvena staklasta strukturaSiC premazpruža odličnu površinsku tvrdoću, minimizirajući habanje tokom obrade na visokim temperaturama.

4. Visokočisti SiC premaz:Naš supstrat osigurava minimalnu kontaminaciju u osjetljivim poluprovodničkim procesima, nudeći pouzdanost za industrije koje zahtijevaju strogu čistoću materijala.

5. Široka tržišna primjena:TheGrafitni susceptor obložen SiC-omTržište nastavlja rasti kako se povećava potražnja za naprednim proizvodima obloženim SiC-om u proizvodnji poluprovodnika, pozicionirajući ovaj supstrat kao ključnog igrača i na tržištu nosača grafitnih pločica i na tržištu grafitnih nosača obloženih silicijum-karbidom.

Tipična svojstva osnovnog grafitnog materijala:

Prividna gustoća:	1,85 g/cm3
Električna otpornost:	11 μΩm
Fleksibilna čvrstoća:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdoća po Shoreu:	58
Pepeo:	<5 ppm
Toplotna provodljivost:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizička svojstva CVD SiC-apremaz
性质 / Property	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Crystal Structure	FCC β faza 多晶,主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度 (500g opterećenje)
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10μm
纯度 / Hemijska čistoća	99,99995%
热容 / Heat Capacity	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-tačkasti
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa savijanje od 4pt, 1300℃
导热系数 / Toplotna provodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / toplinska ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je pravi proizvođač prilagođenih grafitnih i silicijum-karbidnih proizvoda s različitim premazima poput SiC premaza, TaC premaza, premaza od staklastog ugljika, pirolitičkog ugljičnog premaza itd., te može isporučiti razne prilagođene dijelove za poluprovodničku i fotonaponsku industriju.

Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Neprestano razvijamo napredne procese kako bismo obezbijedili još naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu fabriku, hajde da dalje razgovaramo!