સેમિકન્ડક્ટર માટે SiC કોટિંગ/કોટેડ ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટ/ટ્રે

ટૂંકું વર્ણન:

VET એનર્જી SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર ફોર એપિટેક્સિયલ ગ્રોથ એ એક ઉચ્ચ-પ્રદર્શન ઉત્પાદન છે જે લાંબા સમય સુધી સુસંગત અને વિશ્વસનીય કામગીરી પ્રદાન કરવા માટે રચાયેલ છે. તેમાં ખૂબ જ સારી ગરમી પ્રતિકાર અને થર્મલ એકરૂપતા, ઉચ્ચ શુદ્ધતા, ધોવાણ પ્રતિકાર છે, જે તેને વેફર પ્રોસેસિંગ એપ્લિકેશનો માટે સંપૂર્ણ ઉકેલ બનાવે છે.


ઉત્પાદન વિગતો

ઉત્પાદન ટૅગ્સ

સેમિકન્ડક્ટર માટે ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટરનું SiC કોટિંગ/કોટેડ
 
SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટસેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગ ઉદ્યોગની કઠોર માંગણીઓને પૂર્ણ કરવા માટે રચાયેલ એક અત્યંત ટકાઉ અને કાર્યક્ષમ ઉકેલ છે. ઉચ્ચ શુદ્ધતાના સ્તર સાથેસિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) કોટિંગ, આ સબસ્ટ્રેટ અસાધારણ થર્મલ સ્થિરતા, ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર અને લાંબી સેવા જીવન પ્રદાન કરે છે, જે તેને MOCVD પ્રક્રિયાઓ, ગ્રેફાઇટ વેફર કેરિયર્સ અને અન્ય ઉચ્ચ-તાપમાન વાતાવરણમાં એપ્લિકેશન માટે આદર્શ બનાવે છે.

 વિશેષતા: 
· ઉત્તમ થર્મલ શોક પ્રતિકાર
· ઉત્તમ શારીરિક આઘાત પ્રતિકાર
· ઉત્તમ રાસાયણિક પ્રતિકાર
· અતિ ઉચ્ચ શુદ્ધતા
· જટિલ આકારમાં ઉપલબ્ધતા
· ઓક્સિડાઇઝિંગ વાતાવરણ હેઠળ વાપરી શકાય તેવું

અરજી:

૩

ઉત્પાદનની વિશેષતાઓ અને ફાયદા:

1. સુપિરિયર થર્મલ રેઝિસ્ટન્સ:ઉચ્ચ શુદ્ધતા સાથેSiC કોટિંગ, સબસ્ટ્રેટ અતિશય તાપમાનનો સામનો કરે છે, એપિટાક્સી અને સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન જેવા મુશ્કેલ વાતાવરણમાં સતત કામગીરી સુનિશ્ચિત કરે છે.

2. વધેલી ટકાઉપણું:SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ ઘટકો રાસાયણિક કાટ અને ઓક્સિડેશનનો પ્રતિકાર કરવા માટે રચાયેલ છે, જે પ્રમાણભૂત ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટની તુલનામાં સબસ્ટ્રેટનું આયુષ્ય વધારે છે.

૩. કાચ કોટેડ ગ્રેફાઇટ:ની અનોખી કાચની રચનાSiC કોટિંગઉચ્ચ-તાપમાન પ્રક્રિયા દરમિયાન ઘસારો ઓછો કરીને, ઉત્તમ સપાટી કઠિનતા પ્રદાન કરે છે.

4. ઉચ્ચ શુદ્ધતા SiC કોટિંગ:અમારા સબસ્ટ્રેટ સંવેદનશીલ સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓમાં ન્યૂનતમ દૂષણ સુનિશ્ચિત કરે છે, જે કડક સામગ્રી શુદ્ધતાની જરૂર હોય તેવા ઉદ્યોગો માટે વિશ્વસનીયતા પ્રદાન કરે છે.

5. વ્યાપક બજાર એપ્લિકેશન:SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટરસેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં અદ્યતન SiC કોટેડ ઉત્પાદનોની માંગ વધતાં બજાર સતત વધતું રહે છે, જે આ સબસ્ટ્રેટને ગ્રેફાઇટ વેફર કેરિયર માર્કેટ અને સિલિકોન કાર્બાઇડ કોટેડ ગ્રેફાઇટ ટ્રે માર્કેટ બંનેમાં મુખ્ય ખેલાડી તરીકે સ્થાન આપે છે.

બેઝ ગ્રેફાઇટ મટિરિયલના લાક્ષણિક ગુણધર્મો:

દેખીતી ઘનતા: ૧.૮૫ ગ્રામ/સેમી૩
વિદ્યુત પ્રતિકારકતા: ૧૧ μΩમી
ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ: ૪૯ MPa (૫૦૦ કિગ્રા/સેમી૨)
કિનારાની કઠિનતા: 58
રાખ: <5 પીપીએમ
થર્મલ વાહકતા: ૧૧૬ વોટ/એમકે (૧૦૦ કેસીએલ/એમએચઆર-℃)

 

સીવીડી SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC ના મૂળભૂત ભૌતિક ગુણધર્મોઆવરણ

性质 / મિલકત

典型数值 / લાક્ષણિક મૂલ્ય

晶体结构 / ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર

FCC β તબક્કો 多晶,主要为(111)取向

密度 / ઘનતા

૩.૨૧ ગ્રામ/સેમી³

硬度 / કઠિનતા

2500 维氏硬度(500g લોડ)

晶粒大小 / અનાજનું કદ

૨~૧૦μm

纯度 / રાસાયણિક શુદ્ધતા

૯૯.૯૯૯૯૫%

热容 / ગરમી ક્ષમતા

૬૪૦ જે·કિલો-1·કે-1

升华温度 / સબલાઈમેશન તાપમાન

૨૭૦૦ ℃

抗弯强度 / ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ

૪૧૫ MPa RT ૪-પોઇન્ટ

杨氏模量 / યંગનું મોડ્યુલસ

૪૩૦ જીપીએ ૪ પોઇન્ટ બેન્ડ, ૧૩૦૦℃

导热系数 / થર્મલ વાહકતા

૩૦૦ વોટ · મી-1·કે-1

热膨胀系数 / થર્મલ વિસ્તરણ (CTE)

૪.૫×૧૦-6K-1

૧

૨

 

 

VET એનર્જી એ કસ્ટમાઇઝ્ડ ગ્રેફાઇટ અને સિલિકોન કાર્બાઇડ ઉત્પાદનોનું વાસ્તવિક ઉત્પાદક છે જેમાં SiC કોટિંગ, TaC કોટિંગ, ગ્લાસી કાર્બન કોટિંગ, પાયરોલિટીક કાર્બન કોટિંગ, વગેરે જેવા વિવિધ કોટિંગ છે, જે સેમિકન્ડક્ટર અને ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગ માટે વિવિધ કસ્ટમાઇઝ્ડ ભાગો સપ્લાય કરી શકે છે.

અમારી ટેકનિકલ ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, જે તમારા માટે વધુ વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પ્રદાન કરી શકે છે.

અમે વધુ અદ્યતન સામગ્રી પૂરી પાડવા માટે સતત અદ્યતન પ્રક્રિયાઓ વિકસાવીએ છીએ, અને એક વિશિષ્ટ પેટન્ટ ટેકનોલોજી પર કામ કર્યું છે, જે કોટિંગ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેના બંધનને વધુ કડક બનાવી શકે છે અને અલગ થવાની સંભાવના ઓછી કરી શકે છે.

અમારા ફેક્ટરીની મુલાકાત લેવા માટે આપનું હાર્દિક સ્વાગત છે, ચાલો વધુ ચર્ચા કરીએ!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • પાછલું:
  • આગળ:

  • વોટ્સએપ ઓનલાઈન ચેટ!