SiC Coating/Coated Graphite Substrate/Tray para sa Semiconductor

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor para sa Epitaxial Growth ay isang produktong may mataas na pagganap na idinisenyo upang magbigay ng pare-pareho at maaasahang pagganap sa mahabang panahon. Mayroon itong napakagandang resistensya sa init at thermal uniformity, mataas na kadalisayan, at resistensya sa erosyon, kaya ito ang perpektong solusyon para sa mga aplikasyon sa pagproseso ng wafer.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

SiC coating/coated ng Graphite susceptor para sa Semiconductor

AngSiC Coated Graphite Substrateay isang lubos na matibay at mahusay na solusyon na idinisenyo upang matugunan ang mahigpit na mga pangangailangan ng industriya ng pagproseso ng semiconductor. Nagtatampok ng isang patong ng mataas na kadalisayanpatong na silicon carbide (SiC), ang substrate na ito ay naghahatid ng pambihirang thermal stability, oxidation resistance, at matagal na buhay ng serbisyo, kaya mainam ito para sa mga aplikasyon sa mga prosesong MOCVD, mga graphite wafer carrier, at iba pang mga kapaligirang may mataas na temperatura.

Mga Tampok:
· Napakahusay na Paglaban sa Thermal Shock
· Napakahusay na Pisikal na Paglaban sa Pagkabigla
· Napakahusay na Paglaban sa Kemikal
· Napakataas na Kadalisayan
· Availability sa Complex na Hugis
·Magagamit sa ilalim ng Oxidizing Atmosphere

Aplikasyon：

Mga Tampok at Kalamangan ng Produkto:

1. Superior na Thermal Resistance:Na may mataas na kadalisayanPatong na SiC, ang substrate ay nakakayanan ang matinding temperatura, na tinitiyak ang pare-parehong pagganap sa mga mahihirap na kapaligiran tulad ng epitaxy at paggawa ng semiconductor.

2. Pinahusay na Katatagan:Ang mga bahaging graphite na pinahiran ng SiC ay idinisenyo upang labanan ang kemikal na kalawang at oksihenasyon, na nagpapataas ng habang-buhay ng substrate kumpara sa mga karaniwang substrate na graphite.

3. Grapitang Pinahiran ng Vitreous:Ang natatanging istrukturang vitreous ngPatong na SiCnagbibigay ng mahusay na katigasan ng ibabaw, na nagpapaliit sa pagkasira at pagkasira habang pinoproseso sa mataas na temperatura.

4. Mataas na Kadalisayan na SiC Coating:Tinitiyak ng aming substrate ang kaunting kontaminasyon sa mga sensitibong proseso ng semiconductor, na nag-aalok ng pagiging maaasahan para sa mga industriya na nangangailangan ng mahigpit na kadalisayan ng materyal.

5. Malawak na Aplikasyon sa Merkado:AngSusceptor ng grapayt na pinahiran ng SiCPatuloy na lumalaki ang merkado habang tumataas ang demand para sa mga advanced na produktong pinahiran ng SiC sa pagmamanupaktura ng semiconductor, na nagpoposisyon sa substrate na ito bilang isang pangunahing manlalaro sa parehong merkado ng graphite wafer carrier at sa merkado ng silicon carbide coated graphite trays.

Karaniwang mga Katangian ng Materyal na Base Graphite:

Tila Densidad:	1.85 g/cm3
Resistivity ng Elektrisidad:	11 μΩm
Lakas ng Pagbaluktot:	49 MPa (500kgf/cm2)
Katigasan ng Baybayin:	58
Abo:	<5ppm
Konduktibidad ng Termal:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Mga pangunahing katangiang pisikal ng CVD SiCpatong
性质 / Ari-arian	典型数值 / Karaniwang Halaga
晶体结构 / Istraktura ng Kristal	FCC β phase 多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katigasan	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Grain SiZe	2~10μm
纯度 / Kadalisayan ng Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura ng Sublimation	2700℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-punto
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt liko, 1300℃
导热系数 / Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ang VET Energy ay ang tunay na tagagawa ng mga pasadyang produktong graphite at silicon carbide na may iba't ibang patong tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp., at maaaring magtustos ng iba't ibang pasadyang piyesa para sa industriya ng semiconductor at photovoltaic.

Ang aming teknikal na pangkat ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, at maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.

Patuloy kaming bumubuo ng mga advanced na proseso upang makapagbigay ng mas advanced na mga materyales, at nakabuo ng isang eksklusibong patentadong teknolohiya, na maaaring gawing mas mahigpit at hindi gaanong madaling matanggal ang pagkakadikit sa pagitan ng patong at ng substrate.

Malugod naming tinatanggap ang pagbisita sa aming pabrika, magkaroon tayo ng karagdagang talakayan!