Pelapis SiC/Substrat/Nampan Grafit Berlapis untuk Semikonduktor

Deskripsi Singkat:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi yang sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.


Detail Produk

Label Produk

Pelapisan SiC/pelapisan susceptor Grafit untuk Semikonduktor
 
ItuSubstrat Grafit Berlapis SiCadalah solusi yang sangat tahan lama dan efisien yang dirancang untuk memenuhi tuntutan ketat industri pemrosesan semikonduktor. Menampilkan lapisan kemurnian tinggipelapis silikon karbida (SiC), substrat ini memberikan stabilitas termal yang luar biasa, ketahanan terhadap oksidasi, dan masa pakai yang lama, sehingga ideal untuk aplikasi dalam proses MOCVD, pembawa wafer grafit, dan lingkungan suhu tinggi lainnya.

 Fitur: 
· Tahan Guncangan Termal yang Sangat Baik
· Ketahanan Fisik yang Sangat Baik terhadap Guncangan
· Ketahanan Kimia yang Sangat Baik
· Kemurnian Super Tinggi
· Ketersediaan dalam Bentuk Kompleks
·Dapat digunakan dalam suasana pengoksidasi

Aplikasi:

3

Fitur dan Keunggulan Produk:

1. Tahan Panas yang Unggul:Dengan kemurnian tinggiPelapisan SiC, substrat tersebut tahan terhadap suhu ekstrem, memastikan kinerja yang konsisten dalam lingkungan yang menuntut seperti epitaksi dan fabrikasi semikonduktor.

2. Daya Tahan yang Ditingkatkan:Komponen grafit berlapis SiC dirancang untuk menahan korosi dan oksidasi kimia, meningkatkan umur substrat dibandingkan dengan substrat grafit standar.

3. Grafit berlapis kaca:Struktur vitreous yang unik dariPelapisan SiCmemberikan kekerasan permukaan yang sangat baik, meminimalkan keausan selama pemrosesan suhu tinggi.

4. Lapisan SiC Kemurnian Tinggi:Substrat kami memastikan kontaminasi minimal dalam proses semikonduktor yang sensitif, menawarkan keandalan untuk industri yang memerlukan kemurnian material yang ketat.

5. Aplikasi Pasar yang Luas:ItuSuseptor grafit berlapis SiCPasar terus tumbuh karena permintaan untuk produk berlapis SiC canggih dalam manufaktur semikonduktor meningkat, memposisikan substrat ini sebagai pemain kunci di pasar pembawa wafer grafit dan pasar baki grafit berlapis silikon karbida.

Sifat Khas Material Dasar Grafit:

Kepadatan Tampak: 1,85 gram/cm3
Resistivitas Listrik: 11 mikron
Kekuatan Lentur: Tekanan 49MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan Pantai: 58
Abu: <5ppm
Konduktivitas Termal: 116 W/mK (100 kkal/mjam-℃)

 

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dasar CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC 多晶,主要为(111)取向

密度 / Kepadatan

3,21 gram/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(beban 500g)

晶粒大小 / Ukuran Butir

Ukuran 2~10 mikrometer

纯度 / Kemurnian Kimia

99,99995%

热容 / Kapasitas Panas

640 J kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4 titik

杨氏模量 / Modulus Muda

430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃

导热系数 / Konduktivitas Termal

Daya 300Wm-1·K-1

Ekspansi Termal (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy adalah produsen nyata produk grafit dan silikon karbida yang disesuaikan dengan berbagai lapisan seperti lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, dll., dapat memasok berbagai suku cadang yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat menyediakan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami terus mengembangkan proses canggih untuk menyediakan material yang lebih canggih, dan telah menemukan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat lebih kuat dan tidak mudah terkelupas.

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Daring WhatsApp!