SiC húðun/húðað grafít undirlag/bakki fyrir hálfleiðara

Stutt lýsing:

VET Energy SiC húðaður grafítþolinn fyrir epitaxialvöxt er afkastamikil vara sem er hönnuð til að veita samræmda og áreiðanlega afköst yfir langan tíma. Hann hefur einstaklega góða hitaþol og hitajafnvægi, mikla hreinleika og rofþol, sem gerir hann að fullkomnu lausninni fyrir skífuvinnslu.


Vöruupplýsingar

Vörumerki

SiC húðun/húðun á grafítviðnámi fyrir hálfleiðara
 
HinnSiC húðað grafít undirlager mjög endingargóð og skilvirk lausn sem er hönnuð til að uppfylla strangar kröfur hálfleiðaraiðnaðarins. Með lagi af mjög hreinu efnikísillkarbíð (SiC) húðunÞetta undirlag býður upp á einstakan hitastöðugleika, oxunarþol og langan endingartíma, sem gerir það tilvalið fyrir notkun í MOCVD ferlum, grafítskífuflutningsaðilum og öðru umhverfi með háum hita.

 Eiginleikar: 
· Frábær hitaáfallsþol
· Frábær höggþol
· Frábær efnaþol
· Mjög mikil hreinleiki
· Fáanlegt í flóknu formi
· Notanlegt í oxandi andrúmslofti

Umsókn:

3

Vörueiginleikar og kostir:

1. Yfirburða hitaþol:Með mikilli hreinleikaSiC húðun, undirlagið þolir mikinn hita og tryggir stöðuga frammistöðu í krefjandi umhverfi eins og epitaxíu og hálfleiðaraframleiðslu.

2. Aukin endingartími:SiC-húðuðu grafíthlutirnir eru hannaðir til að standast efnafræðilega tæringu og oxun, sem eykur líftíma undirlagsins samanborið við hefðbundin grafítundirlag.

3. Glerhúðað grafít:Einstök glærbyggingSiC húðunveitir framúrskarandi yfirborðshörku, sem lágmarkar slit við háhitavinnslu.

4. Háhrein SiC húðun:Undirlag okkar tryggir lágmarks mengun í viðkvæmum hálfleiðaraferlum og býður upp á áreiðanleika fyrir iðnað sem krefst strangrar hreinleika efnisins.

5. Víðtæk markaðsumsókn:HinnSiC húðaður grafítviðnámsnemiMarkaðurinn heldur áfram að vaxa þar sem eftirspurn eftir háþróuðum SiC-húðuðum vörum í hálfleiðaraframleiðslu eykst, sem setur þetta undirlag í lykilhlutverk bæði á markaði fyrir grafítskífur og markaði fyrir kísillkarbíðhúðaða grafítbakka.

Dæmigert einkenni grunngrafítsefnis:

Sýnileg þéttleiki: 1,85 g/cm3
Rafviðnám: 11 μΩm
Sveigjanleiki: 49 MPa (500 kgf/cm²)
Strandhörku: 58
Aska: <5 ppm
Varmaleiðni: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

Hjarta- og æðasjúkdómur SiC薄膜基本物理性能

Helstu eðliseiginleikar CVD SiChúðun

性质 / Eign

典型数值 / Dæmigert gildi

晶体结构 / Kristallsbygging

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Þéttleiki

3,21 g/cm³

硬度 / hörku

2500 维氏硬度(500g álag)

晶粒大小 / Kornastærð

2~10μm

纯度 / Chemical Purity

99,99995%

热容 / hitageta

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimation Hiti

2700 ℃

抗弯强度 / Beygjustyrkur

415 MPa RT 4 punkta

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt beygja, 1300℃

导热系数 / Varmaleiðni

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / hitauppstreymi (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy er framleiðandi sérsniðinna grafít- og kísilkarbíðvara með mismunandi húðunum eins og SiC-húðun, TaC-húðun, gljáandi kolefnishúðun, brennslu- og hitaleiðandi kolefnishúðun o.s.frv., og getur útvegað ýmsa sérsniðna hluti fyrir hálfleiðara- og sólarorkuiðnaðinn.

Tækniteymi okkar kemur frá fremstu innlendum rannsóknarstofnunum og getur veitt þér faglegri efnislausnir.

Við þróum stöðugt háþróaðar aðferðir til að bjóða upp á fullkomnari efni og höfum þróað einkarétt einkaleyfisvarða tækni sem getur gert tenginguna milli húðunarinnar og undirlagsins þéttari og síður líkleg til að losna.

Verið hjartanlega velkomin í heimsókn í verksmiðjuna okkar, við skulum ræða þetta nánar!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Fyrri:
  • Næst:

  • WhatsApp spjall á netinu!