Mipako ya SiC/Substrate ya Grafiti Iliyopakwa/Treyi kwa Semiconductor

Maelezo Mafupi:

Kifaa cha Grafiti chenye Upako wa VET Energy SiC kwa Ukuaji wa Epitaxial ni bidhaa yenye utendaji wa hali ya juu iliyoundwa ili kutoa utendaji thabiti na wa kuaminika kwa muda mrefu. Ina upinzani mzuri wa joto na usawa wa joto, usafi wa hali ya juu, upinzani wa mmomonyoko, na kuifanya kuwa suluhisho bora kwa matumizi ya usindikaji wa wafer.


Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Mipako/mipako ya SiC ya susceptor ya Grafiti kwa Semiconductor
 
YaSehemu ya Grafiti Iliyofunikwa na SiCni suluhisho la kudumu na lenye ufanisi mkubwa lililoundwa ili kukidhi mahitaji magumu ya tasnia ya usindikaji wa nusu-semiconductor. Lina safu ya usafi wa hali ya juumipako ya kabidi ya silikoni (SiC), substrate hii hutoa uthabiti wa kipekee wa joto, upinzani wa oksidi, na maisha marefu ya huduma, na kuifanya iwe bora kwa matumizi katika michakato ya MOCVD, wabebaji wa grafiti, na mazingira mengine ya halijoto ya juu.

 Vipengele: 
· Upinzani Bora wa Mshtuko wa Joto
· Upinzani Bora wa Mshtuko wa Kimwili
· Upinzani Bora wa Kemikali
· Usafi wa Juu Sana
· Upatikanaji katika Umbo Changamano
·Inatumika chini ya Anga Inayooksidisha

Maombi:

3

Vipengele na Faida za Bidhaa:

1. Upinzani Bora wa Joto:Kwa usafi wa hali ya juuMipako ya SiC, substrate hustahimili halijoto kali, na kuhakikisha utendaji thabiti katika mazingira magumu kama vile utengenezaji wa epitaksi na semiconductor.

2. Uimara Ulioimarishwa:Vipengele vya grafiti vilivyofunikwa na SiC vimeundwa kupinga kutu na oksidi ya kemikali, na kuongeza muda wa matumizi ya substrate ikilinganishwa na substrates za kawaida za grafiti.

3. Grafiti Iliyofunikwa na Vitreous:Muundo wa kipekee wa vitreous waMipako ya SiChutoa ugumu bora wa uso, kupunguza uchakavu wakati wa usindikaji wa halijoto ya juu.

4. Mipako ya SiC ya Usafi wa Juu:Sehemu yetu ya chini ya ardhi huhakikisha uchafuzi mdogo katika michakato nyeti ya nusu-semiconductor, na kutoa uaminifu kwa viwanda vinavyohitaji usafi mkali wa nyenzo.

5. Maombi ya Soko Kubwa:YaKifaa cha grafiti kilichofunikwa na SiCSoko linaendelea kukua huku mahitaji ya bidhaa za hali ya juu zilizofunikwa na SiC katika utengenezaji wa nusu-semiconductor yakiongezeka, na kuiweka sehemu hii kama mchezaji muhimu katika soko la wafer wa grafiti na soko la trei za grafiti zilizofunikwa na silicon carbide.

Sifa za Kawaida za Nyenzo ya Msingi ya Grafiti:

Uzito Unaoonekana: 1.85 g/cm3
Upinzani wa Umeme: 11 μΩm
Nguvu ya Kunyumbulika: MPa 49 (500kgf/cm2)
Ugumu wa Pwani: 58
Majivu: <5ppm
Uendeshaji wa joto: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifa za kimsingi za kimwili za CVD SiCmipako

性质 / Mali

典型数值 / Thamani ya Kawaida

晶体结构 / Muundo wa Kioo

FCC β awamu 多晶,主要為(111)取向)

密度 / Msongamano

3.21 g/cm³

硬度 / Ugumu

2500 维氏硬度 (mzigo wa 500g)

晶粒大小 / Grain SiZe

2 ~ 10μm

纯度 / Usafi wa Kemikali

99.99995%

热容 / Uwezo wa Joto

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Halijoto ya Usablimishaji

2700℃

抗弯强度 / Nguvu ya Flexural

415 MPa RT pointi 4

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt mkunjo, 1300℃

导热系数 / Uendeshaji wa joto

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Upanuzi wa Joto(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy ndiyo mtengenezaji halisi wa bidhaa za grafiti na kabidi ya silikoni zilizobinafsishwa zenye mipako tofauti kama vile mipako ya SiC, mipako ya TaC, mipako ya kaboni ya kioo, mipako ya kaboni ya pyrolytic, n.k., inaweza kutoa sehemu mbalimbali zilizobinafsishwa kwa tasnia ya semiconductor na photovoltaic.

Timu yetu ya kiufundi inatoka katika taasisi bora za utafiti wa ndani, inaweza kutoa suluhisho zaidi za nyenzo za kitaalamu kwa ajili yako.

Tunaendelea kutengeneza michakato ya hali ya juu ili kutoa vifaa vya hali ya juu zaidi, na tumetengeneza teknolojia ya kipekee yenye hati miliki, ambayo inaweza kufanya uhusiano kati ya mipako na sehemu ya chini ya ardhi kuwa mgumu na usioweza kutengana sana.

Karibu kwa uchangamfu kutembelea kiwanda chetu, tufanye majadiliano zaidi!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Iliyotangulia:
  • Inayofuata:

  • Gumzo la Mtandaoni la WhatsApp!