SiC povlak/potažený grafitový substrát/zásobník pro polovodiče

SiC povlak/potažený grafitový substrát/zásobník pro polovodič - obrázek

Stručný popis:

Grafitový susceptor VET Energy s povlakem SiC pro epitaxní růst je vysoce výkonný produkt navržený pro zajištění konzistentního a spolehlivého výkonu po delší dobu. Má vynikající tepelnou odolnost a tepelnou rovnoměrnost, vysokou čistotu a odolnost proti erozi, což z něj činí perfektní řešení pro aplikace zpracování destiček.

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detaily produktu

Štítky produktů

SiC povlak/povlak grafitového susceptoru pro polovodiče

Ten/Ta/ToGrafitový substrát s povlakem SiCje vysoce odolné a efektivní řešení navržené tak, aby splňovalo přísné požadavky průmyslu zpracování polovodičů. Díky vrstvě vysoce čistépovlak z karbidu křemíku (SiC)Tento substrát poskytuje výjimečnou tepelnou stabilitu, odolnost proti oxidaci a prodlouženou životnost, což ho činí ideálním pro aplikace v procesech MOCVD, nosičích grafitových destiček a dalších prostředích s vysokými teplotami.

Vlastnosti:
· Vynikající odolnost proti tepelným šokům
· Vynikající odolnost proti fyzickým nárazům
· Vynikající chemická odolnost
· Super vysoká čistota
· Dostupnost ve složitém tvaru
·Použitelné v oxidační atmosféře

Aplikace:

Vlastnosti a výhody produktu:

1. Vynikající tepelná odolnost:S vysokou čistotouSiC povlakSubstrát odolává extrémním teplotám, což zajišťuje konzistentní výkon v náročných prostředích, jako je epitaxe a výroba polovodičů.

2. Zvýšená odolnost:Grafitové komponenty s povlakem SiC jsou navrženy tak, aby odolávaly chemické korozi a oxidaci, což ve srovnání se standardními grafitovými substráty prodlužuje životnost substrátu.

3. Grafit s povrchovou úpravou ze skelného vlákna:Unikátní sklovitá strukturaSiC povlakposkytuje vynikající tvrdost povrchu a minimalizuje opotřebení během zpracování za vysokých teplot.

4. Vysoce čistý SiC povlak:Náš substrát zajišťuje minimální kontaminaci v citlivých polovodičových procesech a nabízí spolehlivost pro průmyslová odvětví, která vyžadují přísnou čistotu materiálu.

5. Široké uplatnění na trhu:Ten/Ta/ToGrafitový susceptor s povlakem SiCTrh nadále roste s rostoucí poptávkou po pokročilých produktech s povlakem SiC v polovodičové výrobě, což staví tento substrát do role klíčového hráče jak na trhu nosičů grafitových destiček, tak na trhu grafitových misek s povlakem z karbidu křemíku.

Typické vlastnosti základního grafitového materiálu:

Zdánlivá hustota:	1,85 g/cm3
Elektrický odpor:	11 μΩm
Pevnost v ohybu:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdost Shore:	58
Popel:	<5 ppm
Tepelná vodivost:	116 W/mK (100 kcal/mh℃)

Kardiovaskulární onemocnění (CVD) SiC薄膜基本物理性能 Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak
性质 / Nemovitost	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Krystalová struktura	FCC β fáze 多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdost	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Velikost zrna	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimace	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4bodový
杨氏模量 / Youngův modul	430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃
导热系数 / Tepelná vodivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Společnost VET Energy je skutečným výrobcem zakázkových grafitových a karbidových produktů s různými povlaky, jako je SiC povlak, TaC povlak, skelný uhlík povlak, pyrolytický uhlík povlak atd., a může dodávat různé zakázkové díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl.

Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může vám poskytnout profesionálnější materiálová řešení.

Neustále vyvíjíme pokročilé procesy, abychom mohli poskytovat ještě pokročilejší materiály, a vyvinuli jsme exkluzivní patentovanou technologii, která umožňuje pevnější spojení mezi povlakem a podkladem a snižuje jeho náchylnost k odlupování.

Srdečně vás vítáme k návštěvě naší továrny, pojďme si dále promluvit!