אַוואַנסירטע SiC קאַנטילעווער פּאַדל פֿאַר וואַפער פּראַסעסינג

דער פארגעשריטענערסיק קאַנטילעווער פּאַדלפאר וועיפער פראצעסירונג באשאפן דורך וועט-טשינע גיט אן אויסגעצייכנטע לייזונג פאר האלב-קאנדוקטאר פאבריקאציע. די קאנטילעווער פאדל איז געמאכט פון SiC (סיליקאן קארבייד) מאטעריאל, און איר הויכע הארטקייט און היץ קעגנשטאנד ערמעגליכן איר צו האלטן אויסגעצייכנטע פערפארמאנס אין הויכע טעמפעראטור און קאראזיווע סביבות. דער דיזיין פון די קאנטילעווער פאדל ערמעגליכט די וועיפער צו זיין פארלעסליך געשטיצט בעת פראצעסירונג, רעדוצירנדיג דעם ריזיקע פון ​​פראגמענטאציע און שאדן.

סיק קאַנטילעווער פּאַדלאיז אַ ספּעציאַליזירטע קאָמפּאָנענט געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע עקוויפּמענט אַזאַ ווי אַקסאַדיישאַן אויוון, דיפוזשאַן אויוון, און אַנילינג אויוון, די הויפּט נוצן איז פֿאַר וועיפער לאָודינג און אַנלאָודינג, שטיצט און טראַנספּאָרט וועיפערס בעשאַס הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסאַז.

געוויינטלעכע סטרוקטורןפוןסיקcאַנטילעווערpצוגעבן: אַ קאַנטילעווער סטרוקטור, פאַרפעסטיקט אין איין עק און פריי אין די אנדערע, האט טיפּיש אַ פלאַך און פּאַדל-ווי פּלאַן.

וועט ענערגיע ניצט הויך ריינקייט רעקריסטאַליזירטע סיליקאָן קאַרבייד מאַטעריאַלן צו גאַראַנטירן די קוואַליטעט.