PažengęsSiC konsolinis irklas„Vet-china“ sukurtas plokštelių apdirbimo įrenginys siūlo puikų sprendimą puslaidininkių gamybai. Šis konsolinis mentelis pagamintas iš SiC (silicio karbido) medžiagos, o dėl didelio kietumo ir atsparumo karščiui jis išlaiko puikų našumą aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje. Konsolinio mentelio konstrukcija leidžia patikimai paremti plokštelę apdorojimo metu, sumažinant fragmentacijos ir pažeidimo riziką.
SiC konsolinis irklasyra specializuotas komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos įrangoje, tokioje kaip oksidacijos krosnys, difuzijos krosnys ir atkaitinimo krosnys, daugiausia naudojamas plokštelių pakrovimui ir iškrovimui, plokštelių laikymui ir transportavimui aukštos temperatūros procesų metu.
Bendros struktūrosišSiCcantisvirtispsmauglys: Konsolinė konstrukcija, viename gale fiksuota, o kitame laisva, paprastai turi plokščią ir irklą primenančią konstrukciją.
„VET Energy“ naudoja labai grynas rekristalizuotas silicio karbido medžiagas, kad užtikrintų kokybę.
| Rekristalizuoto silicio karbido fizinės savybės | |
| Nekilnojamasis turtas | Tipinė vertė |
| Darbinė temperatūra (°C) | 1600 °C (su deguonimi), 1700 °C (redukcinė aplinka) |
| SiC kiekis | > 99,96 % |
| Nemokamas Si turinys | < 0,1% |
| Tūrinis tankis | 2,60–2,70 g/cm³3 |
| Matomas poringumas | < 16 % |
| Gniuždymo stipris | > 600MPa |
| Šaltojo lenkimo stipris | 80–90 MPa (20 °C) |
| Karštojo lenkimo stipris | 90–100 MPa (1400 °C) |
| Šiluminis plėtimasis esant 1500 °C temperatūrai | 4,70 10-6/°C |
| Šilumos laidumas esant 1200 °C temperatūrai | 23W/m•K |
| Elastinis modulis | 240 GPa |
| Atsparumas terminiam smūgiui | Nepaprastai gerai |
„VET Energy“ pažangaus SiC konsolinio mentelės, skirtos plokštelių apdirbimui, privalumai:
-Aukštos temperatūros stabilumas: galima naudoti aukštesnėje nei 1600 °C aplinkoje;
- Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas: išlaiko matmenų stabilumą, sumažindamas plokštelių deformacijos riziką;
-Didelis grynumas: mažesnė metalo užteršimo rizika;
-Cheminis inertiškumas: atsparus korozijai, tinkamas įvairioms dujų aplinkoms;
- Didelis stiprumas ir kietumas: atsparus dilimui, ilgas tarnavimo laikas;
- Geras šilumos laidumas: padeda tolygiai įkaitinti plokšteles.
-
C/C kompozitai (CFCS) su puikiomis trinties savybėmis...
-
Nešiojamas 1000 W 24 V vandenilio kuro elementų kuro elementų...
-
Kinijos gamintojas SiC dengto grafito MOCVD EP...
-
Elektrolizės elemento dujų difuzijos sluoksnis yra...
-
100 W kuro elementų blokas, 12 V vandeniliu varomas kuro...
-
Didelio stiprumo stiklo anglies tiglis aukštos temperatūros...



