L'avancéPagaie cantilever SiCConçue par vet-china pour le traitement des plaquettes, cette palette cantilever offre une excellente solution pour la fabrication de semi-conducteurs. Fabriquée en carbure de silicium (SiC), sa dureté et sa résistance thermique élevées lui permettent de maintenir d'excellentes performances dans des environnements à haute température et corrosifs. Sa conception assure un maintien fiable de la plaquette pendant le traitement, réduisant ainsi les risques de fragmentation et de dommages.
Pagaie cantilever SiCest un composant spécialisé utilisé dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs tels que le four d'oxydation, le four de diffusion et le four de recuit, l'utilisation principale est le chargement et le déchargement des plaquettes, prend en charge et transporte les plaquettes pendant les processus à haute température.
Structures communesdeSiCcanti-levierpbrouiller: une structure en porte-à-faux, fixée à une extrémité et libre à l'autre, a généralement une conception plate et en forme de pagaie.
VET Energy utilise des matériaux en carbure de silicium recristallisé de haute pureté pour garantir la qualité.
| Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé | |
| Propriété | Valeur typique |
| Température de fonctionnement (°C) | 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur) |
| Teneur en SiC | > 99,96% |
| Contenu Si gratuit | < 0,1% |
| Densité apparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porosité apparente | < 16% |
| Résistance à la compression | > 600MPa |
| Résistance à la flexion à froid | 80-90 MPa (20°C) |
| Résistance à la flexion à chaud | 90-100 MPa (1400°C) |
| Dilatation thermique à 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Conductivité thermique à 1200 °C | 23W/m•K |
| Module d'élasticité | 240 GPa |
| Résistance aux chocs thermiques | Extrêmement bon |
Les avantages de la palette cantilever SiC avancée de VET Energy pour le traitement des plaquettes sont les suivants :
-Stabilité à haute température : utilisable dans des environnements supérieurs à 1600°C ;
-Faible coefficient de dilatation thermique : maintient la stabilité dimensionnelle, réduisant le risque de déformation des plaquettes ;
-Haute pureté : risque moindre de contamination métallique ;
- Inertie chimique : résistant à la corrosion, adapté à divers environnements gazeux ;
-Haute résistance et dureté : résistant à l'usure, longue durée de vie ;
-Bonne conductivité thermique : aide au chauffage uniforme des plaquettes.
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