De geavanceerdeSiC Cantilever PeddelDe door vet-china ontwikkelde cantilever paddle voor waferverwerking biedt een uitstekende oplossing voor de productie van halfgeleiders. Deze cantilever paddle is gemaakt van SiC (siliciumcarbide) en dankzij de hoge hardheid en hittebestendigheid blijft hij uitstekend presteren in omgevingen met hoge temperaturen en corrosie. Het ontwerp van de cantilever paddle zorgt ervoor dat de wafer betrouwbaar wordt ondersteund tijdens de verwerking, waardoor het risico op fragmentatie en beschadiging wordt verminderd.
SiC Cantilever Peddelis een gespecialiseerd onderdeel dat wordt gebruikt in apparatuur voor de productie van halfgeleiders, zoals oxidatieovens, diffusie-ovens en gloeiovens. Het wordt vooral gebruikt voor het laden en lossen van wafers, en voor het ondersteunen en transporteren van wafers tijdens processen met hoge temperaturen.
Veel voorkomende structurenvanSiCcantileverpverwar: een cantileverconstructie, die aan het ene uiteinde vastzit en aan het andere uiteinde vrij is, heeft doorgaans een plat en peddelvormig ontwerp.
VET Energy gebruikt zeer zuivere, gerekristalliseerde siliciumcarbidematerialen om de kwaliteit te garanderen.
| Fysische eigenschappen van gerekristalliseerd siliciumcarbide | |
| Eigendom | Typische waarde |
| Werktemperatuur (°C) | 1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving) |
| SiC-gehalte | > 99,96% |
| Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
| Bulkdichtheid | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Schijnbare porositeit | < 16% |
| Druksterkte | > 600MPa |
| Koude buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
| Warme buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
| Thermische uitzetting bij 1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Thermische geleidbaarheid @1200°C | 23W/m•K |
| Elastische modulus | 240 GPa |
| Thermische schokbestendigheid | Uiterst goed |
De voordelen van de geavanceerde SiC Cantilever Paddle van VET Energy voor waferverwerking zijn:
-Hoge temperatuurstabiliteit: bruikbaar in omgevingen boven 1600°C;
-Lage thermische uitzettingscoëfficiënt: behoudt de maatvastheid, waardoor het risico op kromtrekken van de wafer wordt verminderd;
-Hoge zuiverheid: lager risico op metaalverontreiniging;
-Chemische inertheid: corrosiebestendig, geschikt voor verschillende gasomgevingen;
-Hoge sterkte en hardheid: slijtvast, lange levensduur;
-Goede thermische geleidbaarheid: zorgt voor gelijkmatige verwarming van de wafer.
-
C/C-composieten (CFCS) met uitstekende wrijvingseigenschappen.
-
Draagbare 1000W 24V waterstofbrandstofcel...
-
Chinese fabrikant SiC gecoat grafiet MOCVD Ep...
-
De gasdiffusielaag van de elektrolytische cel is...
-
100W brandstofcelstapel 12V waterstofaangedreven brandstof ...
-
Kroes van hoogwaardig glaskoolstof voor hoge...



