Geavanceerde SiC-cantileverpeddel voor waferverwerking

De geavanceerdeSiC-cantileverpeddelDe door Vet-China ontwikkelde cantilever paddle voor waferverwerking biedt een uitstekende oplossing voor de halfgeleiderindustrie. Deze paddle is gemaakt van SiC (siliciumcarbide) en dankzij de hoge hardheid en hittebestendigheid presteert hij uitstekend in omgevingen met hoge temperaturen en corrosieve omstandigheden. Het ontwerp van de cantilever paddle zorgt ervoor dat de wafer tijdens de verwerking betrouwbaar wordt ondersteund, waardoor het risico op fragmentatie en beschadiging wordt verminderd.

SiC-cantileverpeddelHet is een gespecialiseerd onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderproductieapparatuur zoals oxidatieovens, diffusieovens en gloeiovens. Het wordt voornamelijk gebruikt voor het laden en lossen van wafers, en voor het ondersteunen en transporteren ervan tijdens processen bij hoge temperaturen.

Gemeenschappelijke structurenvanSiCcantileverpverward: Een vrijdragende constructie, aan het ene uiteinde vast en aan het andere uiteinde vrij, heeft doorgaans een plat en peddelvormig ontwerp.

VET Energy gebruikt zeer zuiver, gerecrystalliseerd siliciumcarbide om de kwaliteit te garanderen.