Geavanceerde SiC Cantilever Paddle voor Waferverwerking

Korte beschrijving:

De geavanceerde SiC Cantilever Paddle voor waferverwerking, gelanceerd door vet-china, maakt gebruik van hightech SiC-materialen om de efficiëntie en precisie van waferverwerking te verbeteren. De cantilever paddle van Vet-china biedt uitstekende hitte- en corrosiebestendigheid, wat zorgt voor stabiele waferverwerking in zware productieomgevingen. Dit maakt het een ideale keuze voor het verbeteren van de productieopbrengst.


Productdetails

Productlabels

De geavanceerdeSiC Cantilever PeddelDe door vet-china ontwikkelde cantilever paddle voor waferverwerking biedt een uitstekende oplossing voor de productie van halfgeleiders. Deze cantilever paddle is gemaakt van SiC (siliciumcarbide) en dankzij de hoge hardheid en hittebestendigheid blijft hij uitstekend presteren in omgevingen met hoge temperaturen en corrosie. Het ontwerp van de cantilever paddle zorgt ervoor dat de wafer betrouwbaar wordt ondersteund tijdens de verwerking, waardoor het risico op fragmentatie en beschadiging wordt verminderd.

SiC Cantilever Peddelis een gespecialiseerd onderdeel dat wordt gebruikt in apparatuur voor de productie van halfgeleiders, zoals oxidatieovens, diffusie-ovens en gloeiovens. Het wordt vooral gebruikt voor het laden en lossen van wafers, en voor het ondersteunen en transporteren van wafers tijdens processen met hoge temperaturen.

Veel voorkomende structurenvanSiCcantileverpverwar: een cantileverconstructie, die aan het ene uiteinde vastzit en aan het andere uiteinde vrij is, heeft doorgaans een plat en peddelvormig ontwerp.

VET Energy gebruikt zeer zuivere, gerekristalliseerde siliciumcarbidematerialen om de kwaliteit te garanderen.

Fysische eigenschappen van gerekristalliseerd siliciumcarbide

Eigendom

Typische waarde

Werktemperatuur (°C)

1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving)

SiC-gehalte

> 99,96%

Gratis Si-inhoud

< 0,1%

Bulkdichtheid

2,60-2,70 g/cm3

Schijnbare porositeit

< 16%

Druksterkte

> 600MPa

Koude buigsterkte

80-90 MPa (20°C)

Warme buigsterkte

90-100 MPa (1400°C)

Thermische uitzetting bij 1500°C

4.70 10-6/°C

Thermische geleidbaarheid @1200°C

23W/m•K

Elastische modulus

240 GPa

Thermische schokbestendigheid

Uiterst goed

De voordelen van de geavanceerde SiC Cantilever Paddle van VET Energy voor waferverwerking zijn:

-Hoge temperatuurstabiliteit: bruikbaar in omgevingen boven 1600°C;

-Lage thermische uitzettingscoëfficiënt: behoudt de maatvastheid, waardoor het risico op kromtrekken van de wafer wordt verminderd;

-Hoge zuiverheid: lager risico op metaalverontreiniging;

-Chemische inertheid: corrosiebestendig, geschikt voor verschillende gasomgevingen;

-Hoge sterkte en hardheid: slijtvast, lange levensduur;

-Goede thermische geleidbaarheid: zorgt voor gelijkmatige verwarming van de wafer.

Cantilever peddel10
Cantilever peddel16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Vorig:
  • Volgende:

  • WhatsApp Online Chat!