Advanced SiC Cantilever Paddle para sa Pagproseso ng Wafer

Maikling Paglalarawan:

Ang Advanced SiC Cantilever Paddle para sa Wafer Processing na inilunsad ng vet-china ay gumagamit ng mga high-tech na materyales na SiC upang mapabuti ang kahusayan at katumpakan ng pagproseso ng wafer. Ang cantilever paddle ng Vet-china ay nagtatampok ng mahusay na resistensya sa init at kalawang, na tinitiyak ang matatag na pagganap sa paghawak ng wafer sa malupit na mga kapaligiran sa pagmamanupaktura, na ginagawa itong isang mainam na pagpipilian para sa pagpapabuti ng ani ng produksyon.


Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ang AdvancedSiC Cantilever PaddleAng Wafer Processing na nilikha ng vet-china ay nagbibigay ng isang mahusay na solusyon para sa paggawa ng semiconductor. Ang cantilever paddle na ito ay gawa sa materyal na SiC (silicon carbide), at ang mataas na tigas at resistensya sa init nito ay nagbibigay-daan dito upang mapanatili ang mahusay na pagganap sa mataas na temperatura at mga kapaligirang kinakaing unti-unti. Ang disenyo ng Cantilever Paddle ay nagbibigay-daan sa wafer na maaasahang masuportahan habang pinoproseso, na binabawasan ang panganib ng pagkapira-piraso at pinsala.

SiC Cantilever Paddleay isang espesyalisadong bahagi na ginagamit sa mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor tulad ng oxidation furnace, diffusion furnace, at annealing furnace, ang pangunahing gamit ay para sa pagkarga at pagdiskarga ng mga wafer, pagsuporta at pagdadala ng mga wafer sa mga prosesong may mataas na temperatura.

Mga karaniwang istrukturangSiCcantileverpaddle: Ang isang istrukturang cantilever, na nakapirmi sa isang dulo at malaya sa kabila, ay karaniwang may patag at parang sagwan na disenyo.

Gumagamit ang VET Energy ng mga materyales na recrystallized silicon carbide na may mataas na kadalisayan upang garantiyahan ang kalidad.

Mga Pisikal na Katangian ng Recrystallized Silicon Carbide

Ari-arian

Karaniwang Halaga

Temperatura ng pagtatrabaho (°C)

1600°C (may oksiheno), 1700°C (nakakabawas na kapaligiran)

Nilalaman ng SiC

> 99.96%

Libreng nilalaman ng Si

< 0.1%

Densidad ng bulk

2.60-2.70 g/cm3

Tila porosidad

< 16%

Lakas ng kompresyon

> 600MPa

Lakas ng malamig na pagbaluktot

80-90 MPa (20°C)

Lakas ng mainit na baluktot

90-100 MPa (1400°C)

Pagpapalawak ng init sa 1500°C

4.70 10-6/°C

Konduktibidad ng init @1200°C

23W/m•K

Elastic modulus

240 GPa

Paglaban sa thermal shock

Napakahusay

Ang mga bentahe ng Advanced SiC Cantilever Paddle ng VET Energy para sa Pagproseso ng Wafer ay:

-Mataas na katatagan ng temperatura: magagamit sa mga kapaligirang higit sa 1600°C;

-Mababang koepisyent ng thermal expansion: nagpapanatili ng dimensional stability, binabawasan ang panganib ng wafer warpage;

-Mataas na kadalisayan: mas mababang panganib ng kontaminasyon ng metal;

-Kemikal na inertness: lumalaban sa kalawang, angkop para sa iba't ibang kapaligirang gas;

-Mataas na lakas at katigasan: Hindi tinatablan ng pagsusuot, mahabang buhay ng serbisyo;

-Mahusay na thermal conductivity: nakakatulong sa pantay na pag-init ng wafer.

Cantilever Paddle10
Cantilever Paddle16
生产设备1
公司客户1

  • Nakaraan:
  • Susunod:

  • Online na Pakikipag-chat sa WhatsApp!