Dayung Kantilever SiC Canggih untuk Pemrosesan Wafer

Deskripsi Singkat:

Dayung Kantilever SiC Canggih untuk Pemrosesan Wafer yang diluncurkan oleh vet-china menggunakan material SiC berteknologi tinggi untuk meningkatkan efisiensi dan presisi pemrosesan wafer. Dayung kantilever Vet-china memiliki ketahanan panas dan ketahanan korosi yang sangat baik, memastikan kinerja penanganan wafer yang stabil di lingkungan produksi yang keras, menjadikannya pilihan ideal untuk meningkatkan hasil produksi.


Detail Produk

Label Produk

Yang LanjutDayung Kantilever SiCuntuk Pemrosesan Wafer yang dibuat oleh vet-china memberikan solusi yang sangat baik untuk pembuatan semikonduktor. Dayung kantilever ini terbuat dari bahan SiC (silikon karbida), dan kekerasannya yang tinggi serta ketahanan terhadap panas memungkinkannya mempertahankan kinerja yang sangat baik dalam lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Desain Dayung Kantilever memungkinkan wafer ditopang dengan andal selama pemrosesan, mengurangi risiko fragmentasi dan kerusakan.

Dayung Kantilever SiCadalah komponen khusus yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor seperti tungku oksidasi, tungku difusi, dan tungku anil, penggunaan utamanya adalah untuk pemuatan dan pembongkaran wafer, mendukung dan mengangkut wafer selama proses suhu tinggi.

Struktur umumdariBahan Kimia SiCcanti tuaspbusuk: struktur kantilever, tetap di satu ujung dan bebas di ujung lainnya, biasanya memiliki desain datar dan seperti dayung.

VET Energy menggunakan bahan silikon karbida rekristalisasi kemurnian tinggi untuk menjamin kualitas.

Sifat Fisik Karbida Silikon Rekristalisasi

Milik

Nilai Khas

Suhu kerja (°C)

1600°C (dengan oksigen), 1700°C (lingkungan reduksi)

Kandungan SiC

> 99,96%

Konten Si gratis

< 0,1%

Kepadatan massal

2,60-2,70 gram/cm3

Porositas tampak

< 16%

Kekuatan kompresi

> 600MPa

Kekuatan tekukan dingin

Tekanan 80-90MPa (20°C)

Kekuatan lentur panas

Tekanan 90-100MPa (1400°C)

Ekspansi termal @1500°C

4.70 10-6suhu

Konduktivitas termal @1200°C

23W/m•K

Modulus elastisitas

240 GPa

Tahan terhadap guncangan termal

Sangat bagus

Keunggulan Dayung Kantilever SiC Canggih VET Energy untuk Pemrosesan Wafer adalah:

-Stabilitas suhu tinggi: dapat digunakan pada lingkungan di atas 1600°C;

-Koefisien ekspansi termal rendah: menjaga stabilitas dimensi, mengurangi risiko lengkungan wafer;

-Kemurnian tinggi: risiko kontaminasi logam lebih rendah;

-Inertness kimia: tahan korosi, cocok untuk berbagai lingkungan gas;

-Kekuatan dan kekerasan tinggi: Tahan aus, umur pemakaian panjang;

-Konduktivitas termal yang baik: membantu pemanasan wafer secara seragam.

Dayung Kantilever 10
Dayung Kantilever16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Daring WhatsApp!