Tingkat LanjutDayung Kantilever SiCAlat bantu pemrosesan wafer yang dibuat oleh vet-china memberikan solusi yang sangat baik untuk manufaktur semikonduktor. Paddle cantilever ini terbuat dari material SiC (silikon karbida), dan kekerasan serta ketahanan panasnya yang tinggi memungkinkan alat ini mempertahankan kinerja yang sangat baik dalam lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Desain Cantilever Paddle memungkinkan wafer untuk ditopang dengan andal selama pemrosesan, mengurangi risiko fragmentasi dan kerusakan.
Dayung Kantilever SiCadalah komponen khusus yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor seperti tungku oksidasi, tungku difusi, dan tungku anil, penggunaan utamanya adalah untuk memuat dan membongkar wafer, menopang dan mengangkut wafer selama proses suhu tinggi.
Struktur umumdariSiCctuas antipbusuk: Struktur kantilever, yang terfiksasi di satu ujung dan bebas di ujung lainnya, biasanya memiliki desain datar dan seperti dayung.
VET Energy menggunakan bahan silikon karbida rekristalisasi dengan kemurnian tinggi untuk menjamin kualitasnya.
| Sifat Fisik Silikon Karbida yang Mengalami Rekristalisasi | |
| Milik | Nilai Khas |
| Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (lingkungan pereduksi) |
| Kandungan SiC | > 99,96% |
| Konten Si gratis | < 0,1% |
| Kepadatan curah | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porositas tampak | < 16% |
| Kekuatan tekan | > 600MPa |
| Kekuatan lentur dingin | 80-90 MPa (20°C) |
| Kekuatan tekukan panas | 90-100 MPa (1400°C) |
| Ekspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Konduktivitas termal @1200°C | 23W/m•K |
| Modulus elastis | 240 GPa |
| Ketahanan terhadap guncangan termal | Sangat bagus |
Keunggulan Advanced SiC Cantilever Paddle dari VET Energy untuk Pemrosesan Wafer adalah:
-Stabilitas suhu tinggi: dapat digunakan di lingkungan dengan suhu di atas 1600°C;
-Koefisien ekspansi termal rendah: menjaga stabilitas dimensi, mengurangi risiko lengkungan wafer;
-Kemurnian tinggi: risiko kontaminasi logam lebih rendah;
-Ketahanan kimia: tahan korosi, cocok untuk berbagai lingkungan gas;
-Kekuatan dan kekerasan tinggi: Tahan aus, masa pakai lama;
-Konduktivitas termal yang baik: membantu pemanasan wafer secara merata.
-
Pasokan pabrik grafit konduktif berresistansi rendah...
-
Cincin grafit kemurnian tinggi dengan tekanan isostatik...
-
Lapisan difusi gas titanium berlapis platinum...
-
Membran Sel Bahan Bakar Hidrogen Pem Berumur Panjang...
-
Cincin segel grafit otomotif, pompa vakum khusus...
-
Selongsong bantalan grafit karbon, grafit tahan lama...