ଆଡଭାନ୍ସଡ୍SiC କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର୍ ପ୍ୟାଡଲ୍ଭେଟ୍-ଚାଇନା ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ଏହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଏକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଏହି କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର ପ୍ୟାଡେଲଟି SiC (ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍) ସାମଗ୍ରୀରେ ତିଆରି, ଏବଂ ଏହାର ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ଏବଂ ଉତ୍ତାପ ପ୍ରତିରୋଧ ଏହାକୁ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ କ୍ଷୟକାରୀ ପରିବେଶରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବଜାୟ ରଖିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର ପ୍ୟାଡେଲର ଡିଜାଇନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ ୱେଫରକୁ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଭାବରେ ସମର୍ଥନ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ଖଣ୍ଡବିଖଣ୍ଡନ ଏବଂ କ୍ଷତିର ବିପଦକୁ ହ୍ରାସ କରେ।
SiC କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର୍ ପ୍ୟାଡଲ୍ଅକ୍ସିଡେମ୍ଡକ୍ଟର୍ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣ ଯେପରିକି ଅକ୍ସିଡେମ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍, ଡିଫ୍ୟୁଜନ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଏବଂ ଆନିଲିଂ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ରେ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଉପାଦାନ, ଏହାର ମୁଖ୍ୟ ବ୍ୟବହାର ୱାଫର ଲୋଡିଂ ଏବଂ ଅନଲୋଡିଂ ପାଇଁ, ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ୱାଫରକୁ ସମର୍ଥନ ଏବଂ ପରିବହନ ପାଇଁ।
ସାଧାରଣ ଗଠନରସି.ଆଇ.ସି.cବିନ୍ଦୁ ବିନ୍ଦୁpଆଡ଼େଇ ହେବା: ଗୋଟିଏ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ସ୍ଥିର ଏବଂ ଅନ୍ୟ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ମୁକ୍ତ ଏକ କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର ଗଠନ, ସାଧାରଣତଃ ଏକ ସମତଳ ଏବଂ ପ୍ୟାଡେଲ ପରି ଡିଜାଇନ୍ ଥାଏ।
ଗୁଣବତ୍ତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ VET ଏନର୍ଜି ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା ପୁନଃକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇଜଡ୍ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରେ।
| ପୁନଃକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇଜ୍ଡ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡର ଭୌତିକ ଗୁଣ | |
| ସମ୍ପତ୍ତି | ସାଧାରଣ ମୂଲ୍ୟ |
| କାମ କରୁଥିବା ତାପମାତ୍ରା (°C) | ୧୬୦୦°C (ଅମ୍ଳଜାନ ସହିତ), ୧୭୦୦°C (ପରିବେଶ ହ୍ରାସ କରିବା) |
| SiC ବିଷୟବସ୍ତୁ | > ୯୯.୯୬% |
| ମାଗଣା Si ବିଷୟବସ୍ତୁ | < ୦.୧% |
| ବହୁତ ଘନତ୍ୱ | ୨.୬୦-୨.୭୦ ଗ୍ରାମ/ସେମି3 |
| ସ୍ପଷ୍ଟ ଛିଦ୍ରତା | < ୧୬% |
| ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି | > 600ଏମପିଏ |
| ଥଣ୍ଡା ବଙ୍କାଇବା ଶକ୍ତି | 80-90 MPa (20°C) |
| ଗରମ ବଙ୍କାଇବା ଶକ୍ତି | ୯୦-୧୦୦ ଏମ୍ପିଏ (୧୪୦୦ ଡିଗ୍ରୀ ସେଲ୍ସିୟସ୍) |
| ତାପଜ ବିସ୍ତାର @୧୫୦୦°C | ୪.୭୦ ୧୦-6/°ସେ. |
| ତାପଜ ପରିବାହୀତା @୧୨୦୦°C | ୨୩ପଶ୍ଚିମ/ମି•କେଭି |
| ଇଲାଷ୍ଟିକ ମଡ୍ୟୁଲସ୍ | ୨୪୦ ଜିପିଏ |
| ଥର୍ମାଲ୍ ଆଘାତ ପ୍ରତିରୋଧ | ଅତ୍ୟନ୍ତ ଭଲ |
ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ VET ଏନର୍ଜିର ଆଡଭାନ୍ସଡ୍ SiC କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର୍ ପ୍ୟାଡଲର ସୁବିଧାଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି:
-ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା: 1600°C ରୁ ଅଧିକ ପରିବେଶରେ ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ;
-କମ୍ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ: ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖେ, ୱାଫର ୱାରପେଜ୍ ବିପଦ ହ୍ରାସ କରେ;
-ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା: ଧାତୁ ପ୍ରଦୂଷଣର କମ୍ ବିପଦ;
-ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା: କ୍ଷୟ-ପ୍ରତିରୋଧୀ, ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସ ପରିବେଶ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ;
-ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ଏବଂ କଠିନତା: ପିନ୍ଧା-ପ୍ରତିରୋଧୀ, ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ;
-ଉତ୍ତମ ତାପଜ ପରିବାହୀତା: ସମାନ ୱେଫର ଗରମ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।








