پرمختللید سي سي کانټیلیور پیډلد ویفر پروسس کولو لپاره چې د ویټ-چینا لخوا رامینځته شوی د سیمیکمډکټر تولید لپاره غوره حل چمتو کوي. دا کینټیلیور پیډل د SiC (سیلیکون کاربایډ) موادو څخه جوړ شوی، او د هغې لوړ سختۍ او تودوخې مقاومت دا توان ورکوي چې په لوړه تودوخه او زنګ وهونکي چاپیریال کې غوره فعالیت وساتي. د کینټیلیور پیډل ډیزاین ویفر ته اجازه ورکوي چې د پروسس پرمهال په باوري ډول ملاتړ شي، د ټوټې کیدو او زیان خطر کموي.
د سي سي کانټیلیور پیډلیو ځانګړی جز دی چې د سیمیکمډکټر تولید تجهیزاتو لکه اکسیډیشن فرنس، ډیفیوژن فرنس، او انیلینګ فرنس کې کارول کیږي، اصلي کارول یې د ویفر بارولو او پورته کولو لپاره دي، د لوړ تودوخې پروسو په جریان کې د ویفرونو ملاتړ او لیږد کوي.
عام جوړښتونهدسي سيcد انټيليورpپه زور سره: د کانټیلیور جوړښت، چې په یوه پای کې ټینګ او په بل پای کې آزاد وي، معمولا یو فلیټ او د پیډل په څیر ډیزاین لري.
د VET انرژي د کیفیت تضمین لپاره د لوړ پاکوالي بیا کریسټال شوي سیلیکون کاربایډ موادو څخه کار اخلي.
| د بیا کریسټال شوي سیلیکون کاربایډ فزیکي ځانګړتیاوې | |
| ملکیت | عادي ارزښت |
| د کار کولو تودوخه (°C) | ۱۶۰۰ درجو سانتي ګراد (د اکسیجن سره)، ۱۷۰۰ درجو سانتي ګراد (د چاپیریال کمولو لپاره) |
| د سي سي منځپانګه | > ۹۹.۹۶٪ |
| وړیا Si منځپانګه | < ۰.۱٪ |
| د حجم کثافت | ۲.۶۰-۲.۷۰ ګرامه/سانتي متره3 |
| ظاهري سوروالی | < ۱۶٪ |
| د کمپریشن ځواک | > ۶۰۰MPa |
| د سړې خمېدو قوت | ۸۰-۹۰ MPa (۲۰ درجې سانتي ګراد) |
| د ګرمې قاتېدو قوت | ۹۰-۱۰۰ MPa (۱۴۰۰ درجې سانتي ګراد) |
| د حرارتي غځولو @ ۱۵۰۰ درجو سانتي ګراد | ۴.۷۰ ۱۰-6/°C |
| د حرارتي چالکتیا @ ۱۲۰۰ درجو سانتي ګراد | ۲۳واټ/ملی متره•کلومیټری |
| لچک لرونکی ماډول | ۲۴۰ جي پي اې |
| د حرارتي شاک مقاومت | ډېر ښه |
د ویفر پروسس کولو لپاره د VET انرژۍ پرمختللي SiC کینټیلیور پیډل ګټې دا دي:
- د تودوخې لوړ ثبات: د 1600 درجو څخه پورته چاپیریال کې د کارولو وړ؛
- د تودوخې د پراختیا ټیټ ضریب: ابعادي ثبات ساتي، د ویفر د جنګ پاڼې خطر کموي؛
- لوړ پاکوالی: د فلزاتو د ککړتیا کم خطر؛
- کیمیاوي غیر فعالتیا: د زنګ په وړاندې مقاومت لرونکی، د مختلفو ګاز چاپیریالونو لپاره مناسب؛
- لوړ ځواک او سختۍ: د اغوستلو په وړاندې مقاومت لرونکی، اوږد خدمت ژوند؛
- ښه حرارتي چالکتیا: د ویفر په یوشان تودوخې کې مرسته کوي.
