ترقي يافتهسي سي ڪينٽيليور پيڊلويٽ-چائنا پاران تيار ڪيل ويفر پروسيسنگ لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ هڪ بهترين حل فراهم ڪري ٿو. هي ڪينٽيليور پيڊل SiC (سلڪون ڪاربائيڊ) مواد مان ٺهيل آهي، ۽ ان جي اعليٰ سختي ۽ گرمي مزاحمت ان کي اعليٰ درجه حرارت ۽ corrosive ماحول ۾ بهترين ڪارڪردگي برقرار رکڻ جي قابل بڻائي ٿي. ڪينٽيليور پيڊل جي ڊيزائن ويفر کي پروسيسنگ دوران قابل اعتماد طور تي سپورٽ ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿي، ٽڪراءَ ۽ نقصان جي خطري کي گهٽائي ٿي.
سي سي ڪينٽيليور پيڊلهڪ خاص جزو آهي جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ واري سامان جهڙوڪ آڪسائيڊشن فرنس، ڊفيوژن فرنس، ۽ اينيلنگ فرنس ۾ استعمال ٿيندو آهي، مکيه استعمال ويفر لوڊ ڪرڻ ۽ ان لوڊ ڪرڻ لاءِ آهي، تيز گرمي پد جي عملن دوران ويفرز کي سپورٽ ۽ ٽرانسپورٽ ڪندو آهي.
عام جوڙجڪجوسي سيcاينٽيليورpگهڙڻ: هڪ ڪينٽيليور ڍانچي، هڪ ڇيڙي تي لڳل ۽ ٻئي ڇيڙي تي آزاد، عام طور تي هڪ فليٽ ۽ پيڊل جهڙو ڊزائن هوندو آهي.
وي اي ٽي انرجي معيار جي ضمانت لاءِ اعليٰ پاڪائي سان ٻيهر ڪرسٽل ٿيل سلڪون ڪاربائيڊ مواد استعمال ڪري ٿي.
| ٻيهر ڪرسٽل ٿيل سلڪون ڪاربائيڊ جون جسماني خاصيتون | |
| ملڪيت | عام قدر |
| ڪم ڪندڙ گرمي پد (°C) | 1600°C (آڪسيجن سان)، 1700°C (گهٽائيندڙ ماحول) |
| سي سي مواد | > 99.96٪ |
| مفت سي مواد | < 0.1٪ |
| گھڻي کثافت | 2.60-2.70 گرام/سينٽي ميٽر3 |
| ظاهري سوراخ | < 16٪ |
| دٻاءُ جي طاقت | > 600ايم پي اي |
| ٿڌي موڙيندڙ طاقت | 80-90 ايم پي اي (20 ° سي) |
| گرم موڙيندڙ طاقت | 90-100 ايم پي اي (1400 ° سي) |
| حرارتي توسيع @ 1500°C | 4.70 10-6/°سي |
| حرارتي چالکائي @ 1200 ° سي | 23اوچائي/ميٽر•ڪلو |
| لچڪدار ماڊيولس | 240 جي پي اي |
| حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت | انتهائي سٺو |
ويفر پروسيسنگ لاءِ وي اي ٽي انرجي جي ايڊوانسڊ ايس آءِ سي ڪينٽيليور پيڊل جا فائدا آهن:
-اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام: 1600 ° C کان مٿي ماحول ۾ استعمال لائق؛
- گھٽ حرارتي توسيع جو ڪوئفيشينٽ: طول و عرض جي استحڪام کي برقرار رکي ٿو، ويفر وار پيج جي خطري کي گھٽائي ٿو؛
-اعليٰ پاڪائي: ڌاتو جي آلودگي جو گهٽ خطرو؛
-ڪيميائي جڙت: سنکنرن جي مزاحمتي، مختلف گئس ماحول لاءِ موزون؛
-اعلي طاقت ۽ سختي: لباس جي مزاحمتي، ڊگهي خدمت زندگي؛
- سٺي حرارتي چالکائي: ويفر کي هڪجهڙائي سان گرم ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿي.
