Paddle Cantilever SiC Ardleibhéil le haghaidh Próiseáil Vaiféir

Cur Síos Achomair:

Úsáideann an Paddle Cantilever SiC Advanced Advanced for Wafer Processing, arna sheoladh ag vet-china, ábhair SiC ardteicneolaíochta chun éifeachtúlacht agus cruinneas próiseála vaiféir a fheabhsú. Tá friotaíocht teasa agus friotaíocht creimeadh den scoth ag paddle cantilever Vet-china, rud a chinntíonn feidhmíocht chobhsaí láimhseála vaiféir i dtimpeallachtaí déantúsaíochta crua, rud a fhágann gur rogha iontach é chun toradh táirgthe a fheabhsú.

Seol ríomhphost chugainn Íoslódáil mar PDF

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

An tArd-ChumannPadal Cantilever SiCSoláthraíonn an Paddle Cantilever le haghaidh Próiseáil Vaiféir, cruthaithe ag vet-china, réiteach den scoth do mhonarú leathsheoltóirí. Tá an paddle cantilever seo déanta as ábhar SiC (cairbíd sileacain), agus cuireann a chruas ard agus a fhriotaíocht teasa ar a chumas feidhmíocht den scoth a choinneáil i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneacha. Ligeann dearadh an Paddle Cantilever don vaiféir a bheith tacaithe go hiontaofa le linn próiseála, rud a laghdaíonn an riosca ilroinnte agus damáiste.

Padal Cantilever SiCIs comhpháirt speisialaithe í a úsáidtear i dtrealamh déantúsaíochta leathsheoltóra amhail foirnéis ocsaídiúcháin, foirnéis idirleata, agus foirnéis annála, is é an phríomhúsáid ná luchtú agus díluchtú vaiféir, tacaíonn sí le vaiféir agus iompraíonn sí iad le linn próiseas ardteochta.

Struchtúir choitiantadeSiCcfrith-luamhánpaddle: De ghnáth bíonn dearadh cothrom agus cosúil le padla ag struchtúr cantilever, atá socraithe ag ceann amháin agus saor ag an gceann eile.

Úsáideann VET Energy ábhair charbaíd sileacain athchriostalaithe ardíonachta chun an caighdeán a ráthú.

Airíonna fisiceacha Carbíde Sileacain Athchriostalaithe
Maoin	Luach Tipiciúil
Teocht oibre (°C)	1600°C (le hocsaigin), 1700°C (timpeallacht laghdaitheach)
Ábhar SiC	> 99.96%
Ábhar Si saor in aisce	< 0.1%
Dlús toirte	2.60-2.70 g/cm³
Poiréiseacht dealraitheach	< 16%
Neart comhbhrúite	> 600MPa
Neart lúbtha fuar	80-90 MPa (20°C)
Neart lúbtha te	90-100 MPa (1400°C)
Leathnú teirmeach @1500°C	4.70 10^-6/°C
Seoltacht theirmeach @1200°C	23W/m•K
Modúl leaisteach	240 GPa
Friotaíocht turraing theirmeach	Thar a bheith maith