Nâng caoMái chèo SiC dạng đòn bẩySản phẩm giá đỡ wafer do vet-china sản xuất cung cấp giải pháp tuyệt vời cho sản xuất chất bán dẫn. Giá đỡ này được làm từ vật liệu SiC (silicon carbide), độ cứng cao và khả năng chịu nhiệt giúp nó duy trì hiệu suất tuyệt vời trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn. Thiết kế của giá đỡ cho phép wafer được nâng đỡ chắc chắn trong quá trình xử lý, giảm nguy cơ vỡ và hư hỏng.
Mái chèo SiC dạng đòn bẩyĐây là một linh kiện chuyên dụng được sử dụng trong các thiết bị sản xuất chất bán dẫn như lò oxy hóa, lò khuếch tán và lò ủ, công dụng chính là để nạp và dỡ wafer, hỗ trợ và vận chuyển wafer trong các quy trình nhiệt độ cao.
Cấu trúc phổ biếncủaSiCcchống đòn bẩypung hư: Cấu trúc dạng dầm консоль, được cố định ở một đầu và tự do ở đầu kia, thường có thiết kế phẳng và giống như mái chèo.
VET Energy sử dụng vật liệu silicon carbide tái kết tinh có độ tinh khiết cao để đảm bảo chất lượng.
| Tính chất vật lý của cacbua silic tái kết tinh | |
| Tài sản | Giá trị điển hình |
| Nhiệt độ hoạt động (°C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
| Hàm lượng SiC | > 99,96% |
| Nội dung Si miễn phí | < 0,1% |
| Mật độ khối | 2,60-2,70 g/cm³3 |
| Độ xốp biểu kiến | < 16% |
| Độ bền nén | > 600MPa |
| Độ bền uốn nguội | 80-90 MPa (20°C) |
| Độ bền uốn nóng | 90-100 MPa (1400°C) |
| Sự giãn nở nhiệt ở 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Độ dẫn nhiệt ở 1200°C | 23W/m•K |
| Mô đun đàn hồi | 240 GPa |
| Khả năng chống sốc nhiệt | Cực kỳ tốt |
Ưu điểm của cần gạt SiC tiên tiến của VET Energy dành cho quá trình gia công wafer là:
- Độ ổn định nhiệt cao: có thể sử dụng trong môi trường trên 1600°C;
- Hệ số giãn nở nhiệt thấp: duy trì độ ổn định kích thước, giảm nguy cơ cong vênh tấm bán dẫn;
- Độ tinh khiết cao: nguy cơ nhiễm kim loại thấp hơn;
- Tính trơ về mặt hóa học: chống ăn mòn, phù hợp với nhiều môi trường khí khác nhau;
- Độ bền và độ cứng cao: Chống mài mòn, tuổi thọ cao;
- Khả năng dẫn nhiệt tốt: giúp làm nóng đều tấm bán dẫn.
-
Nhà máy cung cấp tấm dẫn điện có điện trở thấp...
-
Vòng than chì có độ tinh khiết cao, áp suất đẳng tĩnh...
-
Lớp khuếch tán khí trên titan phủ bạch kim...
-
Pin nhiên liệu hydro PEM tuổi thọ cao, màng điện cực...
-
Vòng đệm graphite dùng trong ô tô, bơm chân không tùy chỉnh...
-
Ống lót ổ trục bằng than chì carbon, loại than chì bền...



