Cần gạt SiC tiên tiến cho quá trình xử lý wafer

Mô tả ngắn gọn:

Cần gạt SiC tiên tiến dành cho xử lý wafer do vet-china ra mắt sử dụng vật liệu SiC công nghệ cao để nâng cao hiệu quả và độ chính xác của quá trình xử lý wafer. Cần gạt của vet-china có khả năng chịu nhiệt và chống ăn mòn tuyệt vời, đảm bảo hiệu suất xử lý wafer ổn định trong môi trường sản xuất khắc nghiệt, trở thành lựa chọn lý tưởng để cải thiện năng suất sản xuất.


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Nâng caoMái chèo SiC dạng đòn bẩySản phẩm giá đỡ wafer do vet-china sản xuất cung cấp giải pháp tuyệt vời cho sản xuất chất bán dẫn. Giá đỡ này được làm từ vật liệu SiC (silicon carbide), độ cứng cao và khả năng chịu nhiệt giúp nó duy trì hiệu suất tuyệt vời trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn. Thiết kế của giá đỡ cho phép wafer được nâng đỡ chắc chắn trong quá trình xử lý, giảm nguy cơ vỡ và hư hỏng.

Mái chèo SiC dạng đòn bẩyĐây là một linh kiện chuyên dụng được sử dụng trong các thiết bị sản xuất chất bán dẫn như lò oxy hóa, lò khuếch tán và lò ủ, công dụng chính là để nạp và dỡ wafer, hỗ trợ và vận chuyển wafer trong các quy trình nhiệt độ cao.

Cấu trúc phổ biếncủaSiCcchống đòn bẩypung hư: Cấu trúc dạng công xôn, được cố định ở một đầu và tự do ở đầu kia, thường có thiết kế phẳng và giống như mái chèo.

VET Energy sử dụng vật liệu silicon carbide tái kết tinh có độ tinh khiết cao để đảm bảo chất lượng.

Tính chất vật lý của cacbua silic tái kết tinh

Tài sản

Giá trị điển hình

Nhiệt độ hoạt động (°C)

1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử)

Hàm lượng SiC

> 99,96%

Nội dung Si miễn phí

< 0,1%

Mật độ khối

2,60-2,70 g/cm³3

Độ xốp biểu kiến

< 16%

Độ bền nén

> 600MPa

Độ bền uốn nguội

80-90 MPa (20°C)

Độ bền uốn nóng

90-100 MPa (1400°C)

Sự giãn nở nhiệt ở 1500°C

4,70 10-6/°C

Độ dẫn nhiệt ở 1200°C

23W/m•K

Mô đun đàn hồi

240 GPa

Khả năng chống sốc nhiệt

Cực kỳ tốt

Ưu điểm của cần gạt SiC tiên tiến của VET Energy dành cho quá trình gia công wafer là:

- Độ ổn định nhiệt cao: có thể sử dụng trong môi trường trên 1600°C;

- Hệ số giãn nở nhiệt thấp: duy trì độ ổn định kích thước, giảm nguy cơ cong vênh tấm bán dẫn;

- Độ tinh khiết cao: nguy cơ nhiễm kim loại thấp hơn;

- Tính trơ về mặt hóa học: chống ăn mòn, phù hợp với nhiều môi trường khí khác nhau;

- Độ bền và độ cứng cao: Chống mài mòn, tuổi thọ cao;

- Khả năng dẫn nhiệt tốt: giúp làm nóng đều tấm bán dẫn.

Mái chèo kiểu đòn bẩy 10
Mái chèo kiểu đòn bẩy 16
生产设备1
公司客户1

  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Trò chuyện trực tuyến qua WhatsApp!