Cánh tay đòn SiC tiên tiến để xử lý wafer

Mô tả ngắn gọn:

Cánh khuấy SiC tiên tiến cho quá trình gia công wafer do vet-china ra mắt sử dụng vật liệu SiC công nghệ cao để cải thiện hiệu quả và độ chính xác của quá trình gia công wafer. Cánh khuấy của Vet-china có khả năng chịu nhiệt và chống ăn mòn tuyệt vời, đảm bảo hiệu suất xử lý wafer ổn định trong môi trường sản xuất khắc nghiệt, khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng để cải thiện năng suất sản xuất.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Nâng caoMái chèo SiC Cantilevercho Gia công wafer do vet-china tạo ra cung cấp một giải pháp tuyệt vời cho sản xuất chất bán dẫn. Mái chèo dạng cantilever này được làm bằng vật liệu SiC (silicon carbide), độ cứng và khả năng chịu nhiệt cao cho phép nó duy trì hiệu suất tuyệt vời trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn. Thiết kế của Mái chèo dạng cantilever cho phép wafer được hỗ trợ đáng tin cậy trong quá trình gia công, giảm nguy cơ phân mảnh và hư hỏng.

Mái chèo SiC Cantileverlà một thành phần chuyên dụng được sử dụng trong các thiết bị sản xuất chất bán dẫn như lò oxy hóa, lò khuếch tán và lò ủ, công dụng chính là để nạp và tháo wafer, hỗ trợ và vận chuyển wafer trong các quá trình nhiệt độ cao.

Cấu trúc chungcủaSiCcchống sétpung hư: cấu trúc dạng dầm nhô, cố định ở một đầu và thả tự do ở đầu kia, thường có thiết kế phẳng và giống như mái chèo.

VET Energy sử dụng vật liệu silicon carbide kết tinh có độ tinh khiết cao để đảm bảo chất lượng.

Tính chất vật lý của Silicon Carbide kết tinh lại
Tài sản	Giá trị điển hình
Nhiệt độ làm việc (°C)	1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử)
Hàm lượng SiC	> 99,96%
Nội dung Si miễn phí	< 0,1%
Mật độ khối	2,60-2,70g/cm3³
Độ xốp biểu kiến	< 16%
Sức nén	> 600MPa
Độ bền uốn lạnh	80-90MPa (20°C)
Độ bền uốn nóng	90-100MPa (1400°C)
Sự giãn nở vì nhiệt ở 1500°C	4.70 10^-6/°C
Độ dẫn nhiệt @1200°C	23W/m•K
Mô đun đàn hồi	240 GPa
Khả năng chống sốc nhiệt	Cực kỳ tốt