ਐਡਵਾਂਸਡSiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲਵੈਟ-ਚਾਈਨਾ ਦੁਆਰਾ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ ਫਾਰ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਇੱਕ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਹੱਲ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ SiC (ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ) ਸਮੱਗਰੀ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ ਅਤੇ ਗਰਮੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਇਸਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਖਰਾਬ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਦੇ ਯੋਗ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਦਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਢੰਗ ਨਾਲ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਟੁਕੜੇ ਹੋਣ ਅਤੇ ਨੁਕਸਾਨ ਦਾ ਜੋਖਮ ਘੱਟ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
SiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲਇਹ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੈ ਜੋ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਉਪਕਰਣਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਆਕਸੀਕਰਨ ਭੱਠੀ, ਪ੍ਰਸਾਰ ਭੱਠੀ, ਅਤੇ ਐਨੀਲਿੰਗ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਮੁੱਖ ਵਰਤੋਂ ਵੇਫਰ ਲੋਡਿੰਗ ਅਤੇ ਅਨਲੋਡਿੰਗ ਲਈ ਹੈ, ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਅਤੇ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਆਮ ਬਣਤਰਦੇਸੀ.ਆਈ.ਸੀ.cਐਂਟੀਲੀਵਰpਲੱਤ ਮਾਰਨਾ: ਇੱਕ ਕੰਟੀਲੀਵਰ ਢਾਂਚਾ, ਇੱਕ ਸਿਰੇ 'ਤੇ ਸਥਿਰ ਅਤੇ ਦੂਜੇ ਸਿਰੇ ਤੋਂ ਖਾਲੀ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਸਮਤਲ ਅਤੇ ਪੈਡਲ ਵਰਗਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਰੱਖਦਾ ਹੈ।
VET ਐਨਰਜੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੀ ਗਰੰਟੀ ਲਈ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਰੀਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਜ਼ਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੀ ਹੈ।
| ਰੀਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਜ਼ਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦੇ ਭੌਤਿਕ ਗੁਣ | |
| ਜਾਇਦਾਦ | ਆਮ ਮੁੱਲ |
| ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ (°C) | 1600°C (ਆਕਸੀਜਨ ਦੇ ਨਾਲ), 1700°C (ਵਾਤਾਵਰਣ ਘਟਾਉਣ ਵਾਲਾ) |
| SiC ਸਮੱਗਰੀ | > 99.96% |
| ਮੁਫ਼ਤ Si ਸਮੱਗਰੀ | < 0.1% |
| ਥੋਕ ਘਣਤਾ | 2.60-2.70 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.3 |
| ਸਪੱਸ਼ਟ ਪੋਰੋਸਿਟੀ | < 16% |
| ਸੰਕੁਚਨ ਤਾਕਤ | > 600ਐਮਪੀਏ |
| ਠੰਡੇ ਝੁਕਣ ਦੀ ਤਾਕਤ | 80-90 ਐਮਪੀਏ (20 ਡਿਗਰੀ ਸੈਲਸੀਅਸ) |
| ਗਰਮ ਝੁਕਣ ਦੀ ਤਾਕਤ | 90-100 MPa (1400°C) |
| ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ @ 1500°C | 4.70 10-6/°C |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ @1200°C | 23ਪੱਛਮ/ਮੀ•ਕੇ |
| ਲਚਕੀਲਾ ਮਾਡਿਊਲਸ | 240 ਜੀਪੀਏ |
| ਥਰਮਲ ਸਦਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ | ਬਹੁਤ ਵਧੀਆ |
ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਲਈ VET ਐਨਰਜੀ ਦੇ ਐਡਵਾਂਸਡ SiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ:
-ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ: 1600°C ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਵਰਤੋਂ ਯੋਗ;
-ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਗੁਣਾਂਕ: ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ, ਵੇਫਰ ਵਾਰਪੇਜ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ;
-ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ: ਧਾਤ ਦੇ ਦੂਸ਼ਿਤ ਹੋਣ ਦਾ ਘੱਟ ਜੋਖਮ;
-ਰਸਾਇਣਕ ਜੜਤਾ: ਖੋਰ-ਰੋਧਕ, ਵੱਖ-ਵੱਖ ਗੈਸ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ;
-ਉੱਚ ਤਾਕਤ ਅਤੇ ਕਠੋਰਤਾ: ਪਹਿਨਣ-ਰੋਧਕ, ਲੰਬੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ;
-ਚੰਗੀ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ: ਇਕਸਾਰ ਵੇਫਰ ਗਰਮ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦਾ ਹੈ।
