ધ એડવાન્સ્ડSiC કેન્ટીલીવર પેડલવેટ-ચાઇના દ્વારા બનાવેલ ફોર વેફર પ્રોસેસિંગ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન માટે ઉત્તમ ઉકેલ પૂરો પાડે છે. આ કેન્ટીલીવર પેડલ SiC (સિલિકોન કાર્બાઇડ) સામગ્રીથી બનેલું છે, અને તેની ઉચ્ચ કઠિનતા અને ગરમી પ્રતિકાર તેને ઉચ્ચ તાપમાન અને કાટ લાગતા વાતાવરણમાં ઉત્તમ કામગીરી જાળવી રાખવા સક્ષમ બનાવે છે. કેન્ટીલીવર પેડલની ડિઝાઇન વેફરને પ્રક્રિયા દરમિયાન વિશ્વસનીય રીતે ટેકો આપવાની મંજૂરી આપે છે, જેનાથી ફ્રેગમેન્ટેશન અને નુકસાનનું જોખમ ઓછું થાય છે.
SiC કેન્ટીલીવર પેડલઓક્સિડેશન ફર્નેસ, ડિફ્યુઝન ફર્નેસ અને એનિલિંગ ફર્નેસ જેવા સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં વપરાતો એક વિશિષ્ટ ઘટક છે, જેનો મુખ્ય ઉપયોગ વેફર લોડિંગ અને અનલોડિંગ માટે થાય છે, ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન વેફરને ટેકો આપે છે અને પરિવહન કરે છે.
સામાન્ય રચનાઓનાસી.આઈ.સી.cએન્ટિલિવરpવ્યસન કરવું: એક કેન્ટીલીવર સ્ટ્રક્ચર, એક છેડે નિશ્ચિત અને બીજા છેડે મુક્ત, સામાન્ય રીતે સપાટ અને ચપ્પુ જેવી ડિઝાઇન ધરાવે છે.
ગુણવત્તાની ખાતરી આપવા માટે VET એનર્જી ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા રિક્રિસ્ટલાઇઝ્ડ સિલિકોન કાર્બાઇડ સામગ્રીનો ઉપયોગ કરે છે.
| રિક્રિસ્ટલાઈઝ્ડ સિલિકોન કાર્બાઈડના ભૌતિક ગુણધર્મો | |
| મિલકત | લાક્ષણિક મૂલ્ય |
| કાર્યકારી તાપમાન (°C) | ૧૬૦૦°C (ઓક્સિજન સાથે), ૧૭૦૦°C (ઘટાડતું વાતાવરણ) |
| SiC સામગ્રી | > ૯૯.૯૬% |
| મફત Si સામગ્રી | < ૦.૧% |
| જથ્થાબંધ ઘનતા | ૨.૬૦-૨.૭૦ ગ્રામ/સેમી3 |
| દેખીતી છિદ્રાળુતા | < ૧૬% |
| સંકોચન શક્તિ | > ૬૦૦એમપીએ |
| ઠંડા બેન્ડિંગ તાકાત | ૮૦-૯૦ એમપીએ (૨૦° સે) |
| ગરમ બેન્ડિંગ તાકાત | ૯૦-૧૦૦ એમપીએ (૧૪૦૦° સે) |
| થર્મલ વિસ્તરણ @ ૧૫૦૦°C | ૪.૭૦ ૧૦-6/°C |
| થર્મલ વાહકતા @ ૧૨૦૦°C | ૨૩પશ્ચિમ/મી•કે |
| સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ | ૨૪૦ જીપીએ |
| થર્મલ શોક પ્રતિકાર | ખૂબ જ સારું |
વેફર પ્રોસેસિંગ માટે VET એનર્જીના એડવાન્સ્ડ SiC કેન્ટીલીવર પેડલના ફાયદા છે:
-ઉચ્ચ તાપમાન સ્થિરતા: 1600°C થી ઉપરના વાતાવરણમાં ઉપયોગી;
-ઓછો થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક: પરિમાણીય સ્થિરતા જાળવી રાખે છે, વેફર વોરપેજ જોખમ ઘટાડે છે;
-ઉચ્ચ શુદ્ધતા: ધાતુના દૂષણનું ઓછું જોખમ;
-રાસાયણિક જડતા: કાટ-પ્રતિરોધક, વિવિધ ગેસ વાતાવરણ માટે યોગ્ય;
-ઉચ્ચ શક્તિ અને કઠિનતા: વસ્ત્રો-પ્રતિરોધક, લાંબી સેવા જીવન;
- સારી થર્મલ વાહકતા: વેફરને એકસમાન ગરમી આપવામાં મદદ કરે છે.









