Paletta a sbalzo in SiC avanzata per la lavorazione dei wafer

Immagine in evidenza della pala a sbalzo in SiC avanzata per la lavorazione dei wafer

Breve descrizione:

La pala a sbalzo in SiC avanzata per la lavorazione dei wafer, lanciata da vet-china, utilizza materiali SiC ad alta tecnologia per migliorare l'efficienza e la precisione della lavorazione dei wafer. La pala a sbalzo di Vet-china offre un'eccellente resistenza al calore e alla corrosione, garantendo prestazioni stabili nella movimentazione dei wafer in ambienti di produzione difficili, rendendola la scelta ideale per migliorare la resa produttiva.

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L'avanzatoPagaia a sbalzo in SiCper la lavorazione dei wafer, creata da vet-china, offre un'eccellente soluzione per la produzione di semiconduttori. Questa pala a sbalzo è realizzata in SiC (carburo di silicio) e la sua elevata durezza e resistenza al calore le consentono di mantenere prestazioni eccellenti in ambienti ad alta temperatura e corrosivi. Il design della pala a sbalzo consente di supportare il wafer in modo affidabile durante la lavorazione, riducendo il rischio di frammentazione e danneggiamento.

Pagaia a sbalzo in SiCè un componente specializzato utilizzato nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori quali forni di ossidazione, forni di diffusione e forni di ricottura; il suo utilizzo principale è il carico e lo scarico dei wafer, supporta e trasporta i wafer durante i processi ad alta temperatura.

Strutture comuniDiSiCcantilevapcamminare: Una struttura a sbalzo, fissata a un'estremità e libera all'altra, ha in genere una struttura piatta e simile a una pagaia.

VET Energy utilizza materiali in carburo di silicio ricristallizzato ad elevata purezza per garantire la qualità.

Proprietà fisiche del carburo di silicio ricristallizzato
Proprietà	Valore tipico
Temperatura di lavoro (°C)	1600°C (con ossigeno), 1700°C (ambiente riducente)
Contenuto di SiC	> 99,96%
Contenuto gratuito Si	< 0,1%
Densità apparente	2,60-2,70 g/cm³
Porosità apparente	< 16%
Resistenza alla compressione	> 600MPa
Resistenza alla flessione a freddo	80-90 MPa (20°C)
Resistenza alla flessione a caldo	90-100 MPa (1400°C)
Espansione termica a 1500°C	4.70 10^-6/°C
Conduttività termica a 1200°C	23W/m•K
Modulo elastico	240 GPa
Resistenza agli shock termici	Estremamente buono