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Pala a sbalzo in SiC avanzata per a trasfurmazione di wafer

Pala a sbalzo in SiC avanzata per a trasfurmazione di wafer Immagine presentata
  • Pala a sbalzo in SiC avanzata per a trasfurmazione di wafer
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Descrizzione corta:

A pala a sbalzo SiC avanzata per a trasfurmazione di wafer lanciata da vet-china utilizza materiali SiC d'alta tecnulugia per migliurà l'efficienza è a precisione di a trasfurmazione di wafer. A pala a sbalzo di Vet-china presenta una eccellente resistenza à u calore è à a corrosione, assicurendu prestazioni stabili di manipulazione di wafer in ambienti di fabricazione difficili, ciò chì a rende una scelta ideale per migliurà u rendimentu di a produzzione.


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L'AvanzatuPala a sbalzo in SiCPer a trasfurmazione di wafer creata da vet-china furnisce una suluzione eccellente per a fabricazione di semiconduttori. Questa pala cantilever hè fatta di materiale SiC (carburo di siliciu), è a so alta durezza è resistenza à u calore li permettenu di mantene prestazioni eccellenti in ambienti à alta temperatura è currusivi. U disignu di a pala cantilever permette à u wafer di esse supportatu in modu affidabile durante a trasfurmazione, riducendu u risicu di frammentazione è danni.

Pala a sbalzo in SiChè un cumpunente specializatu utilizatu in l'apparecchiature di fabricazione di semiconduttori cum'è u fornu d'ossidazione, u fornu di diffusione è u fornu di ricottura, l'usu principale hè per u caricamentu è u scaricamentu di wafer, supporta è trasporta wafer durante i prucessi à alta temperatura.

Strutture cumunidiSiCcantileverpaddle: Una struttura à cantilever, fissa à una estremità è libera à l'altra, hà tipicamente un disignu pianu è simile à una pagaia.

VET Energy usa materiali di carburo di siliciu ricristallizatu di alta purezza per guarantisce a qualità.

Proprietà fisiche di u carburu di siliciu ricristallizatu

Pruprietà

Valore Tipicu

Temperatura di travagliu (°C)

1600°C (cù ossigenu), 1700°C (ambiente riducente)

cuntenutu di SiC

> 99,96%

Cuntenutu Si gratuitu

< 0,1%

Densità apparente

2,60-2,70 g/cm3

Porosità apparente

< 16%

Forza di compressione

> 600MPa

Resistenza à a flessione à fretu

80-90 MPa (20°C)

Resistenza à a flessione à caldu

90-100 MPa (1400°C)

Espansione termica @1500°C

4.70 10-6/°C

Cunduttività termica @1200°C

23 anniW/m•K

Modulu elasticu

240 GPa

Resistenza à i shock termichi

Estremamente bonu

I vantaghji di a pala a sbalzo in SiC avanzata di VET Energy per a trasfurmazione di wafer sò:

-Stabilità à alta temperatura: utilizabile in ambienti sopra i 1600 °C;

-Coefficiente di dilatazione termica bassu: mantene a stabilità dimensionale, riducendu u risicu di deformazione di u wafer;

-Alta purezza: risicu più bassu di contaminazione di metalli;

-Inerzia chimica: resistente à a currusione, adatta per diversi ambienti gaseosi;

-Alta resistenza è durezza: Resistente à l'usura, longa vita di serviziu;

-Bona cunduttività termica: aiuta à u riscaldamentu uniforme di e cialde.

Pala a sbalzo10
Pala a sbalzo16
研发团队2
生产设备1
公司客户1
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