Den avanceradeSiC-konsolpaddelför waferbearbetning, skapad av vet-china, erbjuder en utmärkt lösning för halvledartillverkning. Denna cantilever-paddel är tillverkad av SiC (kiselkarbid)-material, och dess höga hårdhet och värmebeständighet gör att den kan bibehålla utmärkta prestanda i höga temperaturer och korrosiva miljöer. Designen på den cantilever-paddlen gör att wafern kan stödjas på ett tillförlitligt sätt under bearbetningen, vilket minskar risken för fragmentering och skador.
SiC-konsolpaddelär en specialiserad komponent som används i utrustning för halvledartillverkning, såsom oxidationsugnar, diffusionsugnar och glödgningsugnar. Den huvudsakliga användningen är för waferlastning och lossning, samt stöd och transport av wafers under högtemperaturprocesser.
Vanliga struktureravSiccantileverpaddle: En utkragande struktur, fast i ena änden och fri i den andra, har vanligtvis en platt och paddelliknande design.
VET Energy använder högrenhet av omkristalliserat kiselkarbid för att garantera kvaliteten.
| Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
| Egendom | Typiskt värde |
| Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
| SiC-innehåll | > 99,96 % |
| Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
| Skrymdensitet | 2,60–2,70 g/cm²3 |
| Skenbar porositet | < 16 % |
| Kompressionshållfasthet | > 600MPa |
| Kall böjhållfasthet | 80–90 MPa (20 °C) |
| Varm böjhållfasthet | 90–100 MPa (1400 °C) |
| Termisk expansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Värmeledningsförmåga vid 1200°C | 23W/m•K |
| Elasticitetsmodul | 240 GPa |
| Termisk chockbeständighet | Extremt bra |
Fördelarna med VET Energys avancerade SiC-konsolpaddel för waferbearbetning är:
-Hög temperaturstabilitet: användbar i miljöer över 1600°C;
-Låg värmeutvidgningskoefficient: bibehåller dimensionsstabilitet och minskar risken för waferförvrängning;
-Hög renhet: lägre risk för metallkontaminering;
-Kemisk inertitet: korrosionsbeständig, lämplig för olika gasmiljöer;
-Hög hållfasthet och hårdhet: Slitstark, lång livslängd;
-God värmeledningsförmåga: hjälper till med jämn uppvärmning av skivorna.
