ది అడ్వాన్స్డ్SiC కాంటిలివర్ పాడిల్వెట్-చైనా రూపొందించిన వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం ఉద్దేశించిన ఈ పరికరం సెమీకండక్టర్ తయారీకి ఒక అద్భుతమైన పరిష్కారాన్ని అందిస్తుంది. SiC (సిలికాన్ కార్బైడ్) పదార్థంతో తయారు చేయబడిన ఈ కాంటిలివర్ ప్యాడిల్, దాని అధిక కాఠిన్యం మరియు ఉష్ణ నిరోధకత కారణంగా అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు క్షయకారక వాతావరణాలలో కూడా అద్భుతమైన పనితీరును కనబరుస్తుంది. ఈ కాంటిలివర్ ప్యాడిల్ యొక్క రూపకల్పన, ప్రాసెసింగ్ సమయంలో వేఫర్కు నమ్మకమైన మద్దతును అందిస్తుంది, తద్వారా అది ముక్కలైపోవడం మరియు దెబ్బతినే ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.
SiC కాంటిలివర్ పాడిల్ఇది ఆక్సీకరణ కొలిమి, వ్యాపన కొలిమి మరియు అనీలింగ్ కొలిమి వంటి సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలలో ఉపయోగించే ఒక ప్రత్యేక భాగం, దీని ప్రధాన ఉపయోగం వేఫర్లను లోడ్ చేయడం మరియు అన్లోడ్ చేయడం, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల సమయంలో వేఫర్లకు మద్దతు ఇవ్వడం మరియు రవాణా చేయడం.
సాధారణ నిర్మాణాలుయొక్కSiCcయాంటిలివర్pగారడీ: ఒక చివర స్థిరంగా ఉండి, మరో చివర స్వేచ్ఛగా ఉండే కాంటిలివర్ నిర్మాణం, సాధారణంగా చదునైన మరియు తెడ్డు వంటి ఆకృతిని కలిగి ఉంటుంది.
VET ఎనర్జీ నాణ్యతకు హామీ ఇవ్వడానికి అధిక స్వచ్ఛత గల పునఃస్ఫటికీకరించిన సిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థాలను ఉపయోగిస్తుంది.
| పునఃస్ఫటికీకరించిన సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క భౌతిక లక్షణాలు | |
| ఆస్తి | సాధారణ విలువ |
| పనిచేసే ఉష్ణోగ్రత (°C) | 1600°C (ఆక్సిజన్తో), 1700°C (క్షయకరణ వాతావరణం) |
| SiC కంటెంట్ | > 99.96% |
| ఉచిత Si కంటెంట్ | < 0.1% |
| స్థూల సాంద్రత | 2.60-2.70 గ్రా/సెం.మీ3 |
| స్పష్టమైన సచ్ఛిద్రత | < 16% |
| సంపీడన బలం | 600 కంటే ఎక్కువఎంపిఎ |
| కోల్డ్ బెండింగ్ బలం | 80-90 MPa (20°C) |
| వేడి వంపు బలం | 90-100 MPa (1400°C) |
| 1500°C వద్ద ఉష్ణ వ్యాకోచం | 4.70 10-6/°C |
| 1200°C వద్ద ఉష్ణ వాహకత | 23W/m•K |
| స్థితిస్థాపక గుణకం | 240 GPa |
| ఉష్ణ షాక్ నిరోధకత | చాలా బాగుంది |
వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం VET ఎనర్జీ యొక్క అధునాతన SiC కాంటిలివర్ పాడిల్ యొక్క ప్రయోజనాలు:
-అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం: 1600°C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రత ఉన్న వాతావరణంలో ఉపయోగించవచ్చు;
-తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం: పరిమాణ స్థిరత్వాన్ని కాపాడుతుంది, వేఫర్ వంగిపోయే ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది;
-అధిక స్వచ్ఛత: లోహ కాలుష్యం ప్రమాదం తక్కువ;
-రసాయనికంగా జడత్వం: తుప్పు నిరోధకత, వివిధ వాయు వాతావరణాలకు అనుకూలం;
-అధిక బలం మరియు దృఢత్వం: అరుగుదలను తట్టుకుంటుంది, సుదీర్ఘ సేవా జీవితం;
-మంచి ఉష్ణ వాహకత: వేఫర్ను ఏకరీతిగా వేడి చేయడానికి సహాయపడుతుంది.
-
ఫ్యాక్టరీ సరఫరా చేసే తక్కువ నిరోధకత గల వాహక గ్రాఫిక్స్...
-
అధిక స్వచ్ఛత గల గ్రాఫైట్ రింగ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెజర్ గ్రా...
-
వాయు వ్యాప్తి పొర ప్లాటినం పూత పూసిన టైటానియం Fe...
-
దీర్ఘకాలిక పెమ్ హైడ్రోజన్ ఫ్యూయల్ సెల్ మెంబ్రేన్ ఎలక్ట్రానిక్స్...
-
ఆటోమోటివ్ గ్రాఫైట్ సీల్ రింగ్ కస్టమ్ వాక్యూమ్ పంప్...
-
కార్బన్ గ్రాఫైట్ బేరింగ్ స్లీవ్ మన్నికైన గ్రాఫైట్...



