उन्नतSiC क्यान्टिलिभर प्याडलvet-china द्वारा सिर्जना गरिएको for Wafer Processing ले अर्धचालक निर्माणको लागि उत्कृष्ट समाधान प्रदान गर्दछ। यो क्यान्टिलिभर प्याडल SiC (सिलिकन कार्बाइड) सामग्रीबाट बनेको छ, र यसको उच्च कठोरता र ताप प्रतिरोधले यसलाई उच्च तापक्रम र संक्षारक वातावरणमा उत्कृष्ट प्रदर्शन कायम राख्न सक्षम बनाउँछ। क्यान्टिलिभर प्याडलको डिजाइनले वेफरलाई प्रशोधनको क्रममा भरपर्दो रूपमा समर्थन गर्न अनुमति दिन्छ, जसले गर्दा खण्डीकरण र क्षतिको जोखिम कम हुन्छ।
SiC क्यान्टिलिभर प्याडलअक्सिडेशन फर्नेस, डिफ्यूजन फर्नेस, र एनिलिङ फर्नेस जस्ता अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा प्रयोग हुने एक विशेष घटक हो, यसको मुख्य प्रयोग वेफर लोडिङ र अनलोडिङको लागि हो, उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूमा वेफरहरूलाई समर्थन र ढुवानी गर्दछ।
साझा संरचनाहरूकोSiCLanguagecएन्टिलिभरpअड्डी मार्नु: एउटा छेउमा स्थिर र अर्को छेउमा खाली क्यान्टिलिभर संरचना, सामान्यतया समतल र प्याडल जस्तो डिजाइन हुन्छ।
VET इनर्जीले गुणस्तरको ग्यारेन्टी गर्न उच्च शुद्धता पुन: क्रिस्टलाइज्ड सिलिकन कार्बाइड सामग्री प्रयोग गर्दछ।
| पुन: स्थापना गरिएको सिलिकन कार्बाइडको भौतिक गुणहरू | |
| सम्पत्ति | सामान्य मान |
| काम गर्ने तापक्रम (°C) | १६००°C (अक्सिजन सहित), १७००°C (वातावरण घटाउने) |
| SiC सामग्री | > ९९.९६% |
| नि:शुल्क Si सामग्री | < ०.१% |
| थोक घनत्व | २.६०-२.७० ग्राम/सेमी3 |
| स्पष्ट छिद्रता | < १६% |
| सङ्कुचन शक्ति | > ६००MPa |
| चिसो झुकाउने शक्ति | ८०-९० एमपीए (२० डिग्री सेल्सियस) |
| तातो झुकाउने शक्ति | ९०-१०० एमपीए (१४०० डिग्री सेल्सियस) |
| तापीय विस्तार @ १५००°C | ४.७० १०-6/° सेल्सियस |
| तापीय चालकता @१२००°C | २३प/मि.•के. |
| इलास्टिक मोड्युलस | २४० जिपीए |
| थर्मल झट्का प्रतिरोध | अत्यन्तै राम्रो |
वेफर प्रशोधनका लागि VET इनर्जीको उन्नत SiC क्यान्टिलिभर प्याडलका फाइदाहरू यस प्रकार छन्:
-उच्च तापक्रम स्थिरता: १६०० डिग्री सेल्सियस भन्दा माथिको वातावरणमा प्रयोग गर्न मिल्ने;
- कम थर्मल विस्तार गुणांक: आयामी स्थिरता कायम राख्छ, वेफर वारपेज जोखिम कम गर्छ;
-उच्च शुद्धता: धातु प्रदूषणको कम जोखिम;
-रासायनिक जडत्व: जंग प्रतिरोधी, विभिन्न ग्यास वातावरणको लागि उपयुक्त;
-उच्च शक्ति र कठोरता: पहिरन प्रतिरोधी, लामो सेवा जीवन;
- राम्रो तापीय चालकता: एकरूप वेफर तताउन मद्दत गर्दछ।
