වේෆර් සැකසුම් සඳහා උසස් SiC කැන්ටිලිවර් පැඩලය

කෙටි විස්තරය:

vet-china විසින් දියත් කරන ලද වේෆර් සැකසුම් සඳහා වන උසස් SiC කැන්ටිලිවර් පැඩලය, වේෆර් සැකසුම් කාර්යක්ෂමතාව සහ නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා අධි තාක්‍ෂණික SiC ද්‍රව්‍ය භාවිතා කරයි. Vet-china හි කැන්ටිලිවර් පැඩලය විශිෂ්ට තාප ප්‍රතිරෝධයක් සහ විඛාදන ප්‍රතිරෝධයකින් සමන්විත වන අතර, කටුක නිෂ්පාදන පරිසරයන් තුළ ස්ථාවර වේෆර් හැසිරවීමේ කාර්ය සාධනය සහතික කරයි, එය නිෂ්පාදන අස්වැන්න වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා කදිම තේරීමක් කරයි.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න PDF ලෙස බාගන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

උසස්SiC කැන්ටිලිවර් පැඩලයvet-china විසින් නිර්මාණය කරන ලද වේෆර් සැකසුම් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා විශිෂ්ට විසඳුමක් සපයයි. මෙම කැන්ටිලිවර් පැඩලය SiC (සිලිකන් කාබයිඩ්) ද්‍රව්‍යයෙන් සාදා ඇති අතර එහි ඉහළ දෘඪතාව සහ තාප ප්‍රතිරෝධය ඉහළ උෂ්ණත්ව හා විඛාදන පරිසරවල විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් පවත්වා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි. කැන්ටිලිවර් පැඩලයේ සැලසුම මඟින් සැකසීමේදී වේෆර් විශ්වාසදායක ලෙස සහාය වීමට ඉඩ සලසයි, ඛණ්ඩනය වීමේ හා හානිවීමේ අවදානම අඩු කරයි.

SiC කැන්ටිලිවර් පැඩලයඔක්සිකරණ උදුන, විසරණ උදුන සහ ඇනීලිං උදුන වැනි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල භාවිතා වන විශේෂිත සංරචකයක් වන අතර, ප්‍රධාන භාවිතය වන්නේ ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්‍රියාවලීන්හිදී වේෆර් පැටවීම සහ බෑම, ආධාරක සහ ප්‍රවාහනය සඳහා ය.

පොදු ව්‍යුහයන්වලසික්cප්‍රති-ලීවර්pඑකතු කරන්න: කැන්ටිලිවර් ව්‍යුහයක්, එක් කෙළවරක සවි කර ඇති අතර අනෙක් කෙළවර නිදහස්ව, සාමාන්‍යයෙන් පැතලි හා පැඩලයක් වැනි මෝස්තරයක් ඇත.

ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා VET බලශක්තිය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් ද්‍රව්‍ය භාවිතා කරයි.

නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් වල භෞතික ගුණාංග
දේපළ	සාමාන්‍ය අගය
වැඩ කරන උෂ්ණත්වය (°C)	1600°C (ඔක්සිජන් සමඟ), 1700°C (පරිසරය අඩු කිරීම)
SiC අන්තර්ගතය	> 99.96%
නොමිලේ Si අන්තර්ගතය	< 0.1%
තොග ඝනත්වය	2.60-2.70 ග්‍රෑම්/සෙ.මී.³
පෙනෙන සිදුරු බව	< 16%
සම්පීඩන ශක්තිය	> 600එම්පීඒ
සීතල නැමීමේ ශක්තිය	80-90 MPa (20°C)
උණුසුම් නැමීමේ ශක්තිය	90-100 MPa (1400°C)
තාප ප්‍රසාරණය @1500°C	4.70 10^-6/°C
තාප සන්නායකතාවය @1200°C	23 වන දිනමීටර්/ප/කි
ප්‍රත්‍යාස්ථතා මාපාංකය	ගිගා පැස්කල් 240
තාප කම්පන ප්‍රතිරෝධය	අතිශයින්ම හොඳයි.