උසස්SiC කැන්ටිලිවර් පැඩලයvet-china විසින් නිර්මාණය කරන ලද වේෆර් සැකසුම් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා විශිෂ්ට විසඳුමක් සපයයි. මෙම කැන්ටිලිවර් පැඩලය SiC (සිලිකන් කාබයිඩ්) ද්රව්යයෙන් සාදා ඇති අතර එහි ඉහළ දෘඪතාව සහ තාප ප්රතිරෝධය ඉහළ උෂ්ණත්ව හා විඛාදන පරිසරවල විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් පවත්වා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි. කැන්ටිලිවර් පැඩලයේ සැලසුම මඟින් සැකසීමේදී වේෆර් විශ්වාසදායක ලෙස සහාය වීමට ඉඩ සලසයි, ඛණ්ඩනය වීමේ හා හානිවීමේ අවදානම අඩු කරයි.
SiC කැන්ටිලිවර් පැඩලයඔක්සිකරණ උදුන, විසරණ උදුන සහ ඇනීලිං උදුන වැනි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල භාවිතා වන විශේෂිත සංරචකයක් වන අතර, ප්රධාන භාවිතය වන්නේ ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්රියාවලීන්හිදී වේෆර් පැටවීම සහ බෑම, ආධාරක සහ ප්රවාහනය සඳහා ය.
පොදු ව්යුහයන්වලසික්cප්රති-ලීවර්pඑකතු කරන්න: කැන්ටිලිවර් ව්යුහයක්, එක් කෙළවරක සවි කර ඇති අතර අනෙක් කෙළවර නිදහස්ව, සාමාන්යයෙන් පැතලි හා පැඩලයක් වැනි මෝස්තරයක් ඇත.
ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා VET බලශක්තිය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් ද්රව්ය භාවිතා කරයි.
| නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් වල භෞතික ගුණාංග | |
| දේපළ | සාමාන්ය අගය |
| වැඩ කරන උෂ්ණත්වය (°C) | 1600°C (ඔක්සිජන් සමඟ), 1700°C (පරිසරය අඩු කිරීම) |
| SiC අන්තර්ගතය | > 99.96% |
| නොමිලේ Si අන්තර්ගතය | < 0.1% |
| තොග ඝනත්වය | 2.60-2.70 ග්රෑම්/සෙ.මී.3 |
| පෙනෙන සිදුරු බව | < 16% |
| සම්පීඩන ශක්තිය | > 600එම්පීඒ |
| සීතල නැමීමේ ශක්තිය | 80-90 MPa (20°C) |
| උණුසුම් නැමීමේ ශක්තිය | 90-100 MPa (1400°C) |
| තාප ප්රසාරණය @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| තාප සන්නායකතාවය @1200°C | 23 වන දිනමීටර්/ප/කි |
| ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය | ගිගා පැස්කල් 240 |
| තාප කම්පන ප්රතිරෝධය | අතිශයින්ම හොඳයි. |
වේෆර් සැකසුම් සඳහා VET Energy හි උසස් SiC කැන්ටිලිවර් පැඩලයේ වාසි වන්නේ:
-ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව: 1600°C ට වැඩි පරිසරවල භාවිතා කළ හැකිය;
- අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකය: මාන ස්ථායිතාව පවත්වා ගනිමින්, වේෆර් යුධ පිටු අවදානම අඩු කරයි;
-ඉහළ සංශුද්ධතාවය: ලෝහ දූෂණය වීමේ අඩු අවදානම;
- රසායනික නිෂ්ක්රීයතාව: විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන, විවිධ වායු පරිසරයන්ට සුදුසු ය;
-ඉහළ ශක්තිය සහ දෘඪතාව: ඇඳුම්-ප්රතිරෝධී, දිගු සේවා කාලය;
-හොඳ තාප සන්නායකතාවය: ඒකාකාර වේෆර් උණුසුම සඳහා උපකාරී වේ.
