Fortschrittliches SiC-Cantilever-Paddle für die Waferverarbeitung

Kurze Beschreibung:

Das fortschrittliche SiC-Cantilever-Paddle für die Waferverarbeitung von Vet-China nutzt hochtechnologische SiC-Materialien, um die Effizienz und Präzision der Waferverarbeitung zu verbessern. Das Cantilever-Paddle von Vet-China zeichnet sich durch hervorragende Hitze- und Korrosionsbeständigkeit aus und gewährleistet so eine stabile Waferhandhabung in rauen Produktionsumgebungen. Damit ist es die ideale Wahl zur Verbesserung der Produktionsausbeute.

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Der FortgeschritteneSiC-Cantilever-PaddelDas von vet-china entwickelte Cantilever-Paddle für die Waferverarbeitung bietet eine hervorragende Lösung für die Halbleiterfertigung. Dieses Cantilever-Paddle besteht aus SiC (Siliziumkarbid) und bietet dank seiner hohen Härte und Hitzebeständigkeit auch bei hohen Temperaturen und in korrosiven Umgebungen eine hervorragende Leistung. Das Design des Cantilever-Paddles ermöglicht eine zuverlässige Unterstützung des Wafers während der Verarbeitung und reduziert so das Risiko von Fragmentierung und Beschädigung.

SiC-Cantilever-Paddelist eine spezielle Komponente, die in Geräten zur Herstellung von Halbleitern wie Oxidationsöfen, Diffusionsöfen und Glühöfen verwendet wird. Die Hauptverwendung liegt im Be- und Entladen von Wafern sowie in der Unterstützung und dem Transport von Wafern während Hochtemperaturprozessen.

Gemeinsame StrukturenvonSiCcAnti-Verlustpverderben: Eine Auslegerstruktur, die an einem Ende befestigt und am anderen frei ist, hat typischerweise ein flaches und paddelartiges Design.

VET Energy verwendet hochreine rekristallisierte Siliziumkarbidmaterialien, um die Qualität zu gewährleisten.

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid
Eigentum	Typischer Wert
Arbeitstemperatur (°C)	1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)
SiC-Gehalt	> 99,96 %
Kostenloser Si-Inhalt	< 0,1 %
Schüttdichte	2,60–2,70 g/cm³
Scheinbare Porosität	< 16 %
Druckfestigkeit	> 600MPa
Kaltbiegefestigkeit	80-90 MPa (20°C)
Warmbiegefestigkeit	90-100 MPa (1400°C)
Wärmeausdehnung bei 1500 °C	4,70 10^-6/°C
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C	23W/m²K
Elastizitätsmodul	240 GPa
Thermoschockbeständigkeit	Sehr gut