Avanceret SiC Cantilever Paddle til waferbehandling

Kort beskrivelse:

Den avancerede SiC Cantilever Paddle til waferforarbejdning, lanceret af vet-china, bruger højteknologiske SiC-materialer til at forbedre effektiviteten og præcisionen af ​​waferforarbejdning. Vet-Chinas cantilever paddle har fremragende varmebestandighed og korrosionsbestandighed, hvilket sikrer stabil waferhåndtering i barske produktionsmiljøer, hvilket gør den til et ideelt valg til at forbedre produktionsudbyttet.


Produktdetaljer

Produktmærker

Den avanceredeSiC Cantilever Padletil waferbehandling, skabt af vet-china, tilbyder en fremragende løsning til halvlederfremstilling. Denne cantilever-paddel er lavet af SiC (siliciumcarbid) materiale, og dens høje hårdhed og varmebestandighed gør det muligt at opretholde fremragende ydeevne i miljøer med høj temperatur og korrosive miljøer. Designet af Cantilever-paddelen gør det muligt at understøtte waferen pålideligt under bearbejdning, hvilket reducerer risikoen for fragmentering og beskadigelse.

SiC Cantilever Padleer en specialiseret komponent, der anvendes i udstyr til fremstilling af halvledere, såsom oxidationsovne, diffusionsovne og udglødningsovne. Hovedanvendelsen er til waferpåfyldning og -aflæsning, understøtter og transporterer wafere under højtemperaturprocesser.

Fælles strukturerafSiCcantileverpaddle: En udkragningsstruktur, fast i den ene ende og fri i den anden, har typisk et fladt og padlelignende design.

VET Energy bruger omkrystalliserede siliciumcarbidmaterialer med høj renhed for at garantere kvaliteten.

Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid

Ejendom

Typisk værdi

Arbejdstemperatur (°C)

1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø)

SiC-indhold

> 99,96%

Gratis Si-indhold

< 0,1%

Rumdensitet

2,60-2,70 g/cm²3

Tilsyneladende porøsitet

< 16%

Kompressionsstyrke

> 600MPa

Kold bøjningsstyrke

80-90 MPa (20°C)

Varm bøjningsstyrke

90-100 MPa (1400°C)

Termisk udvidelse @1500°C

4,70 10-6/°C

Varmeledningsevne @1200°C

23W/m•K

Elasticitetsmodul

240 GPa

Termisk chokmodstand

Ekstremt god

Fordelene ved VET Energys avancerede SiC Cantilever Paddle til waferbehandling er:

-Høj temperaturstabilitet: Kan bruges i miljøer over 1600°C;

-Lav termisk udvidelseskoefficient: opretholder dimensionsstabilitet og reducerer risikoen for waferforvridning;

-Høj renhed: lavere risiko for metalkontaminering;

-Kemisk inertitet: korrosionsbestandig, egnet til forskellige gasmiljøer;

-Høj styrke og hårdhed: Slidstærk, lang levetid;

-God varmeledningsevne: hjælper med ensartet waferopvarmning.

Cantilever-paddel10
Cantilever-paddel16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp onlinechat!