Den avanceredeSiC Cantilever Padletil waferbehandling, skabt af vet-china, tilbyder en fremragende løsning til halvlederfremstilling. Denne cantilever-paddel er lavet af SiC (siliciumcarbid) materiale, og dens høje hårdhed og varmebestandighed gør det muligt at opretholde fremragende ydeevne i miljøer med høj temperatur og korrosive miljøer. Designet af Cantilever-paddelen gør det muligt at understøtte waferen pålideligt under bearbejdning, hvilket reducerer risikoen for fragmentering og beskadigelse.
SiC Cantilever Padleer en specialiseret komponent, der anvendes i udstyr til fremstilling af halvledere, såsom oxidationsovne, diffusionsovne og udglødningsovne. Hovedanvendelsen er til waferpåfyldning og -aflæsning, understøtter og transporterer wafere under højtemperaturprocesser.
Fælles strukturerafSiCcantileverpaddle: En udkragningsstruktur, fast i den ene ende og fri i den anden, har typisk et fladt og padlelignende design.
VET Energy bruger omkrystalliserede siliciumcarbidmaterialer med høj renhed for at garantere kvaliteten.
| Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid | |
| Ejendom | Typisk værdi |
| Arbejdstemperatur (°C) | 1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø) |
| SiC-indhold | > 99,96% |
| Gratis Si-indhold | < 0,1% |
| Rumdensitet | 2,60-2,70 g/cm²3 |
| Tilsyneladende porøsitet | < 16% |
| Kompressionsstyrke | > 600MPa |
| Kold bøjningsstyrke | 80-90 MPa (20°C) |
| Varm bøjningsstyrke | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termisk udvidelse @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Varmeledningsevne @1200°C | 23W/m•K |
| Elasticitetsmodul | 240 GPa |
| Termisk chokmodstand | Ekstremt god |
Fordelene ved VET Energys avancerede SiC Cantilever Paddle til waferbehandling er:
-Høj temperaturstabilitet: Kan bruges i miljøer over 1600°C;
-Lav termisk udvidelseskoefficient: opretholder dimensionsstabilitet og reducerer risikoen for waferforvridning;
-Høj renhed: lavere risiko for metalkontaminering;
-Kemisk inertitet: korrosionsbestandig, egnet til forskellige gasmiljøer;
-Høj styrke og hårdhed: Slidstærk, lang levetid;
-God varmeledningsevne: hjælper med ensartet waferopvarmning.
-
C/C-kompositter (CFCS) med fremragende friktionsevne...
-
Bærbar 1000w 24v brintbrændselscelle brændselscelle...
-
Kina Producent SiC Coated Grafit MOCVD Ep...
-
Gasdiffusionslaget i en elektrolytisk celle er...
-
100w brændselscellestak 12v brintdrevet brændstof...
-
Højstyrke glaskulstofdigel til højtempo...



