Fa'asolo SiC Cantilever Fa'atekonolosi mo le Fa'agasologa o Wafer

Fa'amatalaga Pupuu:

O le Advanced SiC Cantilever Paddle mo le Fa'agasologa o Wafer na fa'alauiloa e le vet-china e fa'aogaina mea fa'atekonolosi SiC maualuga e fa'aleleia atili ai le lelei ma le sa'o o le fa'agasologa o le wafer. O le cantilever paddle a le Vet-china e matua'i tete'e atu i le vevela ma le 'ele, ma fa'amautinoa ai le mautu o le fa'atinoga o le taulimaina o le wafer i siosiomaga faigata o gaosiga, ma avea ai ma filifiliga lelei mo le fa'aleleia atili o le fua o le gaosiga.


Fa'amatalaga o le oloa

Fa'ailoga o Oloa

O le MaualugaSiC Cantilever Foemo le Fa'agasologa o le Wafer na faia e le vet-china e maua ai se fofo sili ona lelei mo le gaosiga o semiconductor. O lenei pa'u cantilever e faia i le mea SiC (silicon carbide), ma o lona malosi maualuga ma le tete'e atu i le vevela e mafai ai ona fa'atumauina le fa'atinoga sili ona lelei i le vevela maualuga ma siosiomaga 'ele'ele. O le mamanu o le Pa'u Cantilever e mafai ai ona lagolagoina lelei le wafer i le taimi o le fa'agasologa, ma fa'aitiitia ai le lamatiaga o le malepe ma le fa'aleagaina.

SiC Cantilever Foeo se vaega fa'apitoa e fa'aaogaina i masini gaosi semiconductor e pei o le ogaumu fa'a'oksizenina, ogaumu fa'asalalau, ma le ogaumu fa'amafanafana, o le fa'aoga autu o le utaina ma le la'uina o wafer, lagolago ma felauaiga wafers i taimi o fa'agasologa vevela maualuga.

Fausaga masanioSiCcantileverpaddle: O se fausaga cantilever, e fa'amau i le tasi pito ma saoloto i le isi pito, e masani ona i ai se mamanu mafolafola ma e pei o se foe.

E fa'aaogā e le VET Energy mea silicon carbide ua toe fa'amama ma maualuga le mama e fa'amautinoa ai le tulaga lelei.

Uiga faaletino o le Recrystallized Silicon Carbide

Meatotino

Tau Masani

Vevela o le galuega (°C)

1600°C (faatasi ai ma le okesene), 1700°C (siosiomaga fa'aitiitia)

Anotusi o le SiC

> 99.96%

Mataupu Si e leai se totogi

< 0.1%

Mafiafia tele

2.60-2.70 kalama/senitimita3

Porosity foliga vaaia

< 16%

Malosiaga o le fa'apipi'i

> 600MPa

Malosiaga o le punou malulu

80-90 MPa (20°C)

Malosiaga o le punou vevela

90-100 MPa (1400°C)

Fa'alauteleina o le vevela @1500°C

4.70 10-6/°C

Fa'avevela i le 1200°C

23W/m•K

Modulus fa'alelei

240 GPa

Tete'e atu i le te'i vevela

Lelei tele

O fa'amanuiaga o le VET Energy's Advanced SiC Cantilever Paddle mo le Fa'agasologa o Wafer e fa'apea:

-Maumau i le vevela maualuga: e mafai ona fa'aaogaina i siosiomaga e sili atu i le 1600°C;

-Fa'aitiitia le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela: tausia le mautu o le fua, fa'aitiitia ai le lamatiaga o le fe'avea'i o le wafer;

-Mama maualuga: maualalo le lamatiaga o le faaleagaina o u'amea;

-Le gaoioi fa'akemikolo: tete'e atu i le 'ele, talafeagai mo siosiomaga kesi eseese;

-Malosi ma ma'a'a maualuga: E tete'e i le ofuina, umi le ola tautua;

-Fa'avevela lelei: fesoasoani i le fa'avevela tutusa o le wafer.

Fa'asolo Cantilever10
Fa'asolo Cantilever16
生产设备1
公司客户1

  • Muamua:
  • Sosoo ai:

  • Talanoaga i luga ole Initaneti WhatsApp!